一种防污装置及真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防污装置及真空镀膜机。


背景技术：

2.随着真空镀膜等真空处理方法的应用领域逐步扩大，在工件上连续进行真空镀膜的需求日益增多。
3.现有技术中能够连续镀膜的真空镀膜机，工件腔室按一定顺序将工件暴露在多个工位的镀膜源作用区域，实现多个镀膜源对工件腔室内工件夹具上的工件连续镀膜。当工件连续镀膜的同时，工件夹具与工件腔室内的防污板表面也会附着同等厚度的薄膜，工件与工件夹具通过工件腔室旋转或者平移至搬送工位可快速搬出并清洁，但工件腔室内的防污板与工件腔室通常通过紧固件连接，无法快速搬出更换清洁。一般需要在维护保养时再进行更换清洁。
4.工件腔室内防污板表面附着的薄膜伴随持续不断的工件连续镀膜而引发如下问题：一、工件腔室旋转或者平移至搬送工位，其较高频率的破真空容易引发工件腔室内防污板表面附着的薄膜因温度变化、环境压力变化造成应力增大而导致膜层崩裂；二、工件腔室内防污板表面附着的薄膜，伴随持续不断的工件连续镀膜，厚度不断增加，容易在镀膜过程中因膜层过厚而崩裂。问题一导致的膜层崩裂会引发洁净的工件二次污染，问题二导致的膜层崩裂会引发工件膜层的缺陷。不管是工件的二次污染还是工件膜层的缺陷都严重影响真空镀膜机批量生产的良率及稳定性。如缩短工件腔室的防污板的清洁保养周期，也可提升装置批量生产稳定性，但会提高运营成本。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提出一种防污装置及真空镀膜机，能够改善防污板上的膜层崩裂，提高真空镀膜机批量生产的良率及稳定性，降低成本。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.一种防污装置，用于真空镀膜机，所述真空镀膜机包括工件腔室，所述防污装置设置于所述工件腔室内，所述防污装置包括：
8.防污板，与所述工件腔室的内壁对应设置，用于防止所述工件腔室的内壁附着薄膜；
9.安装夹具，所述防污板与所述安装夹具固定连接，所述工件腔室内设置有限位部，所述安装夹具与所述限位部配合，所述限位部能使所述安装夹具仅沿预设方向移动。
10.作为防污装置的一个可选方案，所述安装夹具包括首尾连接的多个连接板，多个所述连接板围设成框架结构，所述防污板通过紧固件固设于所述框架结构的内侧。
11.作为防污装置的一个可选方案，多个所述连接板中，至少其中两个相对设置的所述连接板的一侧均设置有第一连接部。
12.作为防污装置的一个可选方案，所述连接板和所述防污板上均设置有避让口。
13.一种真空镀膜机，包括工件腔室，所述工件腔室内设置有多个工件夹具和多个如以上任一方案所述的防污装置，所述工件夹具用于固定待镀膜工件，多个所述工件夹具和多个所述防污装置一一对应设置。
14.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述工件腔室内设置有限位件，所述限位部设置于所述限位件上。
15.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述工件腔室内还设置有工件夹具安装座，所述安装夹具为所述工件夹具，所述防污板设置于所述工件夹具的外侧，所述限位部设置于所述工件夹具安装座上。
16.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述真空镀膜机还包括升降模组，所述升降模组设置于所述工件腔室的上方，能与所述安装夹具连接，以将所述安装夹具取出或放入所述工件腔室内。
17.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述真空镀膜机还包括第一连接件，所述第一连接件固定于所述升降模组上，所述第一连接件与所述安装夹具配合，在所述升降模组的带动下，能将所述安装夹具取出或放入所述工件腔室内。
18.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述第一连接件与所述安装夹具为磁吸连接。
19.作为真空镀膜机的一个可选方案，所述第一连接件设置为夹爪，所述安装夹具设置有被夹持部，所述夹爪通过夹持所述被夹持部与所述安装夹具连接。
20.本实用新型的有益效果：
21.本实用新型提供的防污装置，设置于工件腔室内，包括防污板和安装夹具，防污板固定于安装夹具内，安装夹具与工件腔室内的限位部配合，限位部使得安装夹具仅能沿预设方向移动，在需要更换防污板时，能沿预设方向将工件腔室内的安装夹具取出，然后将防污板从安装夹具上拆除，以更换防污板。本实用新型提供的防污装置，无需缩短真空镀膜机的清洁保养周期，也能改善防污板上的膜层崩裂以及由膜层崩裂导致的工件腔室的污染。
22.本实用新型提供的真空镀膜机，应用上述的防污装置，不仅能改善防污板的膜层崩裂以及由膜层崩裂导致的工件腔室的污染，而且提高了真空镀膜机批量生产的良率及稳定性，降低了真空镀膜机的运营成本。
附图说明
23.图1是本实用新型实施例一提供的真空镀膜机手动搬送安装夹具的结构示意图；
24.图2是本实用新型实施例一提供的安装夹具的主视图；
25.图3是本实用新型实施例一提供的安装夹具的俯视图；
26.图4是本实用新型实施例一提供的安装夹具的侧视图；
27.图5是本实用新型实施例一提供的真空镀膜机通过搬送机构搬送安装夹具时，气缸驱动支架下降时的状态示意图；
28.图6是本实用新型实施例一提供的真空镀膜机通过搬送机构搬送安装夹具时，气缸驱动支架上升时提起安装夹具的状态示意图；
29.图7是本实用新型实施例二提供的防污板设置于工件夹具外侧的结构示意图。
30.图中：
31.1、防污板；2、安装夹具；3、升降模组；4、第一连接件；5、工件夹具；6、工件夹具安装
座；7、第二连接件；8、旋转马达；9、限位件；
32.21、第一连接部；22、避让口；31、气缸；32、支架；33、交换臂；51、第二连接部。
具体实施方式
33.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
34.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
36.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
37.实施例一：
38.如图1-图4所示，本实施例提供了一种应用于真空镀膜机的防污装置，真空镀膜机包括工件腔室，防污装置设置于工件腔室内，防污装置包括防污板1和安装夹具2，防污板1与工件腔室的内壁对应设置，用于防止工件腔室的内壁附着薄膜；防污板1与安装夹具2固定连接，工件腔室内设置有限位部，安装夹具2与限位部配合，限位部能使安装夹具2仅能沿预设方向移动。
39.防污板1固定于安装夹具2内，安装夹具2与工件腔室内的限位部配合，限位部使得安装夹具2在工件腔室内仅能沿预设方向移动，在需要更换防污板1时，能沿预设方向将工件腔室内的安装夹具2取出，然后将防污板1从安装夹具2上拆除，以更换防污板1。本实施例提供的防污装置，无需缩短真空镀膜机的清洁保养周期，也能改善防污板1上的膜层崩裂以及由膜层崩裂导致的工件腔室的污染。
40.作为防污装置的一个可选方案，安装夹具2包括首尾连接的多个连接板，多个连接板围设成框架结构，防污板1通过紧固件固设于框架结构的内侧。
41.在本实施例中，防污板1为片状，较单薄，且易变形，将片状的防污板1通过螺钉等紧固件固定于四个连接板组成的四边形框架的内侧壁。当需要更换防污板1时，可将安装夹具2从工件腔室内取出，再将防污板1从连接板的内壁拆除更换。将防污板1设置于安装夹具2上，不仅增加了防污板1的机械强度，避免防污板1因加热变形；而且可以将多片防污板1整体搬出。
42.当然，在其他实施例中，安装夹具2也可以是由六个连接板组成的六边形框架，或者是由八个等偶数数量的连接板组成的框架结构。
43.真空镀膜机的工件腔室内设置有多个工件夹具5和多个防污装置，工件夹具5用于固定待镀膜工件，多个工件夹具5和多个防污装置一一对应设置。
44.真空镀膜机的一侧设置有搬送工位，待镀膜工件自搬送工位进入工件腔室，镀膜完成后再被运送至搬送工位。工件腔室可以设置为旋转式工件腔室，也可以设置为平移式工件腔室。真空镀膜机还包括多个相对独立的工位，每个工位上均设置有镀膜源，工件腔室通过旋转或平移的方式按一定顺序将待镀膜工件暴露在多个工位中的镀膜源区域，从而实现多个镀膜源对工件腔室内多个工件夹具5上的工件的连续镀膜。
45.当待镀膜工件连续镀膜的同时，工件夹具5和防污板1表面也会附着同等厚度的薄膜，镀膜后的工件、工件夹具5和安装夹具2通过工件腔室旋转或平移至搬送工位，然后手动从工件腔室内取出，或通过搬送机构从工件腔室内自动搬出。
46.如图1所示的真空镀膜机的结构，镀膜后的工件、工件夹具5和安装夹具2通过工件腔室旋转或平移至搬送工位，然后手动从工件腔室内取出。
47.如图5和图6所示的真空镀膜机的结构，镀膜后的工件、工件夹具5和安装夹具2通过工件腔室旋转或平移至搬送工位，通过搬送机构从工件腔室内自动搬出。
48.搬送机构包括升降模组3，升降模组3设置于工件腔室的上方，能与安装夹具2连接，以将安装夹具2取出或放入工件腔室内。
49.升降模组3包括气缸31、交换臂33和支架32，其中，升降模组3上对称设置有两个交换臂33，两个交换臂33可在气缸31的驱动下沿竖直方向升降，以使交换臂33可夹取对应位置的工件夹具5。这两个交换臂33分别对应处于两个不同工位上的两个工件夹具5。在升降模组3的底部设置有旋转马达8，旋转马达8可驱动升降模组3旋转，进而使安装在升降模组3上的两个交换臂33旋转，从而实现两个交换臂33上所夹取的两个工件夹具5之间的位置互换。
50.每个交换臂33上均设置有气缸31，气缸31的活塞杆与支架32连接，以使支架32在气缸31的驱动下升降。
51.真空镀膜机还包括第一连接件4和第二连接件7，第一连接件4和第二连接件7均固定于升降模组3上，第一连接件4与安装夹具2配合，第二连接件7与工件夹具5配合，在升降模组3的带动下，能将安装夹具2和工件夹具5取出或放入工件腔室内。
52.在本实施例中，无论是手动还是自动将安装夹具2从工件腔室内取出，均是沿竖直方向将安装夹具2取出。当然，在其他实施例中，不限于沿竖直方向将安装夹具2从工件腔室内取出，可根据搬送机构的设置位置设置限位部的结构，使得安装夹具2也可以沿水平方向等其他方向取出。
53.作为防污装置的一个可选方案，安装夹具2的多个连接板中，至少其中两个相对设置的连接板的一侧设置有第一连接部21。第一连接件4设置为两个，两个第一连接件4和两个相对设置的第一连接部21一一对应设置。连接板可以设置为l形板或u形板，连接板为l形板时，将l形板的短臂朝上设置，作为第一连接部21。l形板的长臂的内侧固定防污板1。连接板为u形板时，u形板的两侧壁分别朝上和朝下设置，其中朝上设置的侧壁作为第一连接部21，防污板1固定于u形板的底部。
54.工件夹具5上设置有两个第二连接部51，第二连接件7也设置为两个，两个第二连接件7和两个第二连接部51一一对应设置。
55.在工件腔室内还设置有工件夹具安装座6，工件夹具安装座6固定于工件腔室内，工件夹具安装座6与工件夹具5的第二连接部51搭接构成二者之间的限位配合，然后通过磁吸连接，以保证工件夹具5与工件夹具安装座6之间的安装精度。
56.在本实施例中，安装夹具2设置于工件夹具5的外侧，将工件夹具5包围。
57.具体地，连接板和防污板1上均设置有避让口22。连接板和防污板1上的避让口22均用于避让工件夹具安装座6。
58.作为真空镀膜机的一个可选方案，工件腔室内设置有限位件9，限位部设置于限位件9上。限位件9固定于工件腔室内，限位部为限位槽，四个连接板的组成的四边形的框架的下端置于限位槽内，以实现安装夹具2在工件腔室内的固定，又不影响安装夹具2沿竖直方向的放置和拿取。
59.可选地，第一连接件4与第一连接部21为磁吸连接。同样地，第二连接件7和第二连接部51也为磁吸连接。第一连接件4和第二连接件7均为电磁铁，第一连接部21和第二连接部51均设置有导磁部。工件腔室旋转或平移至搬送工位，气缸31驱动支架32下降，电磁铁与导磁部接触后通电，第一连接件4吸附安装夹具2，第二连接件7吸附工件夹具5，气缸31驱动支架32提起安装夹具2和工件夹具5，电磁铁断电，将安装夹具2和工件夹具5取出。两个电磁铁设置为单独控制，可单独将安装夹具2取出，也可单独将工件夹具5取出。
60.当然，在其他实施例中，第一连接件4和第二连接件7也可以均设置为夹爪，第一连接部21和第二连接部51均设置为被夹持部，夹爪通过夹持被夹持部与安装夹具2或工件夹具5连接。
61.实施例二：
62.本实施例提供的应用于真空镀膜机的防污装置与实施例一提供的应用于真空镀膜机的防污装置的结构基本相同，区别在于：
63.如图7所示，安装夹具2为工件夹具5，防污板1设置于工件夹具5的外侧，限位部设置于工件夹具安装座6上。限位部即为工件夹具安装座6与工件夹具5的搭接部。将防污板1设置在工件夹具5的外侧，使得防污板1随工件夹具5一起搬出。
64.以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。