一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置的制作方法

1.本实用新型涉及锂离子沉积加工领域，具体是一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置。


背景技术：

2.在半导体材料生长领域，化学气相沉积法是一种重要且常见的生长方法，广泛应用于半导体外延片制造、太阳能电池镀膜、新型二维材料生长等方面。
3.然后现有的于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置在进行加工时，由于内部的电机轴分布不够均匀，不能进行一定的旋转然后造成设备内部的离子堆积，且稳定过低时降低设备的工作效率。
4.因此，针对上述问题提出一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置。


技术实现要素：

5.为了弥补现有技术的不足，解决在进行工作时不能对加工的元件进行打磨，且在打磨时不能进行一定的厚度把握，并且在设备工作时因为设备的抖动会对加工元件造成误差的问题，本实用新型提出一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置。
6.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型所述的一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，包括底座和空气压缩机，所述底座的上方安装有静电环，且静电环的上方安装有连接块，所述空气压缩机的右侧安装有连通管，且空气压缩机位于连接块的上方，所述连通管的右侧安装有第一齿轮轴，且第一齿轮轴的右侧安装有第二齿轮轴，所述第二齿轮轴的右侧安装有转动机，且转动机的右侧安装有螺纹栓盘，所述螺纹栓盘的左侧安装有保护壳，且保护壳的内部安装有连接轴，所述连接轴的右侧安装有石墨板，且石墨板的右侧安装有传输轴，所述传输轴的内部安装有工作罩，且工作罩的内部安装有第一转轴，所述第一转轴的左侧安装有第二转轴，且第二转轴的下方安装有电极轴，所述电极轴的下方安装有轴承，且轴承的右侧安装有压缩口，所述压缩口的右侧安装有辐射板。
7.优选的，所述静电环采用pvc材料结构，且保护壳通过静电环与底座为固定结构。
8.优选的，所述空气压缩机通过连通管与工作罩构成流通结构。
9.优选的，所述石墨板通过连接轴与螺纹栓盘为固定结构，且石墨板通过传输轴与工作罩为固定连接。
10.优选的，所述第二齿轮轴与转动机为转动连接，且第一齿轮轴通过第二齿轮轴与转动机构成转动结构。
11.优选的，所述电极轴沿轴承的底部均匀分布，且电极轴通过第一转轴与第一齿轮轴构成转动结构。
12.优选的，所述电极轴沿工作罩的底部均匀分布，且工作罩的内部设置有辐射板。
13.本实用新型的有益之处在于：
14.1.本实用新型通过设置有电机轴，可以配合第一转轴和轴承，能够保证设备在进行离子的加工时化学气相沉积工作时更加的均匀，电极轴沿轴承的底部均匀分布，可以在进行锂离子的旋转时可以更加的高效，在进行化学气相沉积时，防止离子在设备内部的堆积，有效设备的工作的效率；
15.2.本实用新型通过设置有传输轴，设备在进行加工时，为了防止设备在冷却的情况下降低设备的工作效率，安装的石墨板通过安装为还原铁粉材料的连接轴对工作罩进行散发热量，保证内部环境的温度，设备在进行工作时，温度越高，内部的电场内的分子运动的更快，可以提高设备的工作效率。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
17.图1为本实用新型的正视结构示意图；
18.图2为本实用新型的保护壳内部结构示意图；
19.图3为本实用新型的工作罩内部结构示意图；
20.图4为本实用新型的俯视结构示意图。
21.图中：1、底座；2、静电环；3、连接块；4、空气压缩机；5、连通管；6、第一齿轮轴；7、第二齿轮轴；8、转动机；9、螺纹栓盘；10、保护壳；11、连接轴；12、石墨板；13、传输轴；14、工作罩；15、第一转轴；16、第二转轴；17、电极轴；18、轴承；19、压缩口；20、辐射板。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-4所示，一种用于锂离子生产线的旋转式化学气相沉积装置，包括底座1和空气压缩机4，底座1的上方安装有静电环2，且静电环2的上方安装有连接块3，空气压缩机4的右侧安装有连通管5，且空气压缩机4位于连接块3的上方，连通管5的右侧安装有第一齿轮轴6，且第一齿轮轴6的右侧安装有第二齿轮轴7，第二齿轮轴7的右侧安装有转动机8，且转动机8的右侧安装有螺纹栓盘9，螺纹栓盘9的左侧安装有保护壳10，且保护壳10的内部安装有连接轴11，连接轴11的右侧安装有石墨板12，且石墨板12的右侧安装有传输轴13，传输轴13的内部安装有工作罩14，且工作罩14的内部安装有第一转轴15，第一转轴15的左侧安装有第二转轴16，且第二转轴16的下方安装有电极轴17，电极轴17的下方安装有轴承18，且轴承18的右侧安装有压缩口19，压缩口19的右侧安装有辐射板20。
24.静电环2采用pvc材料结构，且保护壳10通过静电环2与底座1为固定结构，设备在进行工作时，会产生静电的危险，然后保护壳10通过安装的为pvc材料结构的静电环2与底座1进行固定连接，将设备产生的静电进行释放，防止产生静电。
25.空气压缩机4通过连通管5与工作罩14构成流通结构，设备在进行工作时，为了保证在工作罩14环境在真空情况下工作，通过安装的空气压缩机4进行设备的内部环境的抽空，在设备进行工作时锂离子生产线的旋转时提供设备的工作效率。
26.石墨板12通过连接轴11与螺纹栓盘9为固定结构，且石墨板12通过传输轴13与工作罩14为固定连接，设备在进行工作时，安装的石墨板12通过安装为还原铁粉材料的连接轴11对工作罩14进行散发热量，保证内部环境的温度，设备在进行工作时，温度越高，内部的电场内的分子运动的更快，可以提高设备的工作效率。
27.第二齿轮轴7与转动机8为转动连接，且第一齿轮轴6通过第二齿轮轴7与转动机8构成转动结构，设备第一齿轮轴6可以通过第二齿轮轴7与转动机8构成转动结构对第一齿轮轴6进行转动，在设备进行转动时，使内部环境的电子更加的均匀，提高设备加工的稳定性。
28.电极轴17沿轴承18的底部均匀分布，且电极轴17通过第一转轴15与第一齿轮轴6构成转动结构，设备内部安装的电极轴17沿轴承18的底部均匀分布，可以在进行锂离子的旋转时可以更加的高效，在进行化学气相沉积时，防止离子在设备内部的堆积，有效设备的工作的效率。
29.电极轴17沿工作罩14的底部均匀分布，且工作罩14的内部设置有辐射板20，设备在进行工作时，内部进行电场的运转时，电极轴17沿工作罩14的底部均匀分布可以增加设备的工作效率，设备在进行离子的加工时更加的均匀，且内部安装的辐射板20可以保证设备在进行工作时对工作人员造成伤害。
30.工作原理，首先，在设备进行工作时，为了防止产生静电危害，保护壳10通过安装的为pvc材料结构的静电环2与底座1进行固定连接，将设备产生的静电进行释放，然后通过安装的空气压缩机4进行设备的内部环境的抽空，在设备进行工作时锂离子生产线的旋转时提供设备的工作效率，然后设备在进行下一步的工作，第一齿轮轴6可以通过第二齿轮轴7与转动机8构成转动结构对第一齿轮轴6进行转动，在设备进行转动时，使内部环境的电子更加的均匀，然后设备内部安装的电极轴17沿轴承18的底部均匀分布，可以在进行锂离子的旋转时可以更加的高效，在进行化学气相沉积时，防止离子在设备内部的堆积，有效设备的工作的效率，为了提高设备的工作效率，安装的石墨板12通过安装为还原铁粉材料的连接轴11对工作罩14进行散发热量，保证内部环境的温度，设备在进行工作时，温度越高，内部的电场内的分子运动的更快，最后为了保证工作人员的安全，内部安装的辐射板20可以保证设备在进行工作时对工作人员造成伤害。
31.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
32.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。