一种可调式化学气象沉淀设备的制作方法

1.本实用新型涉及化学气象沉淀设备技术领域，具体为一种可调式化学气象沉淀设备。


背景技术：

2.化学气相沉积(cvd)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术，在典型的cvd工艺过程中，把一种或多种蒸汽源原子或分子引入腔室中，在外部能量作用下发生化学反应并在衬底表面形成需要的薄膜，由于cvd技术具有成膜范围广、重现性好等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜，先后完成了pecvd、apcvd、lpcvd、ald等设备的开发，致力于为集成电路、半导体照明、微机电系统、功率半导体、化合物半导体、新能源光伏等领域提供各种类型的cvd设备，而现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的情况。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于针对现有技术的不足之处，提供一种可调式化学气象沉淀设备，以解决上述背景技术中提出通过现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种可调式化学气象沉淀设备，包括连接板、手轮螺纹杆和移动减震装置，所述连接板一侧开设有配套槽，且连接板一侧贯穿开设有螺纹孔，所述连接板另一侧与机体固定连接，所述手轮螺纹杆贯穿螺纹孔固定有抵块，所述抵块一侧镶嵌固定有橡胶垫；
5.通过采用上述技术方案，设有橡胶垫，通过橡胶垫从而增加与地面之间的摩擦力，同时避免抵块与地面接触过程中存在的摩擦力较低，依次容易导致整体设备受力进行移动处理情况；
6.用于机体移动减震的所述移动减震装置与连接板底部相连接。
7.优选的，所述移动减震装置包括有滑板、连接杆、缓冲弹簧、滑筒、安装板、单孔连接件、蜂巢轮、t形杆、凹块和配套块，所述滑板一侧与连接杆一端固定连接，且滑板另一侧与缓冲弹簧一端固定连接，所述缓冲弹簧另一端与滑筒固定连接，所述安装板贯穿开设有通孔，且安装板一侧与连接杆另一端固定连接，所述单孔连接件一端通过轴承连接杆与蜂巢轮转动连接，且单孔连接件另一端与安装板另一侧固定连接，所述t形杆一端贯穿通孔与凹块一侧固定连接，所述滑筒与凹块一侧固定连接，所述凹块另一侧固定有配套块，且凹块通过配套块安装于连接板底部。
8.通过采用上述技术方案，设有蜂巢轮，通过蜂巢轮用蜂巢结构这样不仅起到减震作用，而且蜂巢轮有很高的承重能力和抵御能力，从而延长蜂巢轮的使用寿命的情况。
9.优选的，所述配套槽与配套块之间的连接缝隙范围为0.5-1cm。
10.通过采用上述技术方案，设有配套槽，通过配套槽从而起到配套连接的效果，并且通过配套槽从而方便配套块的快速安装和拆卸处理。
11.优选的，所述螺纹孔、手轮螺纹杆和抵块构成旋转调节机构，且旋转调节机构旋转角度范围为0-360
°
。
12.通过采用上述技术方案，设有抵块，通过抵块起到固定支撑和限位运动的效果。
13.优选的，所述滑板、连接杆、缓冲弹簧、滑筒、安装板、单孔连接件和蜂巢轮构成压缩缓冲机构，且压缩缓冲机构压缩距离范围为0-5cm。
14.通过采用上述技术方案，设有安装板，通过安装板不仅起到双向连接的效果，并且通过安装板起到贯穿连接的效果。
15.优选的，所述凹块与配套块连接形状呈凸块形。
16.通过采用上述技术方案，设有凹块，通过凹块不仅起到固定连接和安装连接的效果，并且通过凹块从而方便将相应零件安装于凹块凹槽内部，同时避免零件直接与连接板进行固定连接处理的效果。
17.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该可调式化学气象沉淀设备，
18.(1)设置有移动减震装置，通过手动推动机体运动过程中带动连接板运动，并且通过连接板带动凹块运动，同时通过凹块带动蜂巢轮运动，依次通过蜂巢轮运动过程中带动安装板上下运动，安装板上下运动过程中带动连接杆同向运动，并且通过连接板运动过程中带动滑行于滑筒内部上下运动从而挤压缓冲弹簧，同时通过缓冲弹簧进行压缩和缓冲恢复过程中进行缓冲减震处理，从而避免现有的化学气象沉淀设备底部虽然安装有活动轮，但是活动轮与设备底部直安装连接处理，从而导致活动轮运动过程中产生的震动直接传递于设备内部零件上，同时导致设备内部零件容易出现共振的情况，通过移动减震装置中的缓冲弹簧和蜂巢轮同向运动过程中从而对整体设备起到双重缓冲保护的效果；
19.(2)设置有连接板，通过连接板不仅方便机体的安装固定处理，并且通过连接板从而方便将与机体工作过程中需要的设备一同放置于连接板上进行移动输送处理，从而避免整体设备移动过程中还需要手动将连接设备与机体进行拆卸分离输送处理，这样不仅麻烦还降低整体工作效率的情况；
20.(3)设置有手轮螺纹杆，通过手动旋转手轮螺纹杆带动抵块运动，并且通过抵块与连接板相对运动过程中从而改变整体连接板与地面之间的高度距离，这样不仅方便整体设备移动于相应位置进行稳定放置安装处理还方便不同操作者对整体设备操作高度进行调节处理，从而使整体适应不同操作者进行操作。
附图说明
21.图1为本实用新型正视剖面结构示意图；
22.图2为本实用新型连接板俯视结构示意图；
23.图3为本实用新型移动减震装置结构示意图。
24.图中：1、连接板，2、配套槽，3、螺纹孔，4、机体，5、手轮螺纹杆，6、抵块，7、移动减震装置，701、滑板，702、连接杆，703、缓冲弹簧，704、滑筒，705、安装板，706、单孔连接件，707、蜂巢轮，708、t形杆，709、凹块，710、配套块。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种可调式化学气象沉淀设备，如图2所示，连接板1一侧开设有配套槽2，配套槽2与配套块710之间的连接缝隙范围为0.5-1cm，如果配套槽2与配套块710之间的连接缝隙范过大虽然可以方便快速的将配套槽2与配套块710进行连接安装处理，从而导致配套槽2与配套块710之间存在的连接缝隙较大，同时导致配套块710于配套槽2内部处于晃动的情况，依次导致连接板1受力运动过程中配套槽2无法带动配套块710同向运动处理，所以避免上述的情况将配套槽2与配套块710之间的连接缝隙设置为0.5cm，这样不仅缩短上述二者的连接缝隙还使二者处于连接带动的状态，且连接板1一侧贯穿开设有螺纹孔3。
27.如图1所示，连接板1另一侧与机体4固定连接，手轮螺纹杆5贯穿螺纹孔3固定有抵块6，抵块6一侧镶嵌固定有橡胶垫，螺纹孔3、手轮螺纹杆5和抵块6构成旋转调节机构，且旋转调节机构旋转角度范围为0-360
°
，通过手动旋转手轮螺纹杆5运动，手轮螺纹杆5带动抵块6运动，并且手轮螺纹杆5运动过程中与螺纹孔3相对旋转运动，同时通过手轮螺纹杆5旋转运动过程中从而改变连接板1与地面之间的距离高度依次方便调节整体设备高度距离，并且整体旋转调节机构零件与零件之间的连接简洁明了，同时整体旋转调节机构便于操作处理。
28.如图3所示，用于机体4移动减震的移动减震装置7与连接板1底部相连接，且移动减震装置7包括有滑板701、连接杆702、缓冲弹簧703、滑筒704、安装板705、单孔连接件706、蜂巢轮707、t形杆708、凹块709和配套块710，滑板701一侧与连接杆702一端固定连接，且滑板701另一侧与缓冲弹簧703一端固定连接，缓冲弹簧703另一端与滑筒704固定连接，安装板705贯穿开设有通孔，且安装板705一侧与连接杆702另一端固定连接，单孔连接件706一端通过轴承连接杆与蜂巢轮707转动连接，且单孔连接件706另一端与安装板705一侧固定连接，t形杆708一端贯穿通孔与凹块709一侧固定连接，滑筒704与凹块709一侧固定连接，滑板701、连接杆702、缓冲弹簧703、滑筒704、安装板705、单孔连接件706和蜂巢轮707构成压缩缓冲机构，且压缩缓冲机构压缩距离范围为0-5cm，通过蜂巢轮707运动过程中带动单孔连接件706运动，并且单孔连接件706带动安装板705运动，安装板705带动连接杆702运动，并且连接杆702运动过程中带动滑板701进行挤压缓冲弹簧703，通过缓冲弹簧703和蜂巢轮707进行挤压和弹性恢复过程中从而达到移动减震缓冲的效果，并且整体压缩缓冲机构压缩距离期间为5cm，当整体压缩缓冲机构达到最大压缩缓冲距离区间时此时缓冲弹簧703处于最大压缩和弹性恢复状态，凹块709另一侧固定有配套块710，且凹块709通过配套块710安装于连接板1底部，凹块709与配套块710连接形状呈凸块形，通过二者之间连接形状呈凸字形，这样不仅方便手动握住凹块709带动配套块710与配套槽2进行快速连接和分离处理，并且还方便手动进行安装过程中对凹块709使力从而提高整体安装速度和效率的情况，同时二者之间连接形状呈凸字形，依次体现二者之间的连接的简单性，还体现二者之间连接的实用性和方便性。
29.工作原理：在使用可调式化学气象沉淀设备，先手动向机体4施加一定的推力，此时机体4带动连接板1运动，连接板1带动凹块709运动，凹块709带动蜂巢轮707运动，蜂巢轮707运动过程中带动单孔连接件706运动，单孔连接件706带动安装板705运动，安装板705带动连接杆702运动，连接杆702带动滑板701于滑筒704内部运动，并且滑板701运动过程中挤压缓冲弹簧703，同时安装板705运动过程中与t形杆708相对运动，当蜂巢轮707持续运动能过程中以上零件进行压缩和弹性恢复处理，当整体机体4移动于相应位置时停止停止机体4，接着手动旋转手轮螺纹杆5，手轮螺纹杆5带动抵块6运动，并且手轮螺纹杆5运动过程中与螺纹孔3相对旋转运动，当机体4调节于相应高度时停止旋转手轮螺纹杆5，再次手动握住凹块709施加一定的拉力，此时凹块709带动配套块710与配套槽2分离，接着将分离后的凹块709放置于相应位置放置好方便后期使用处理既可，这就完成整个操作，且本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。
30.术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本实用新型的简化描述，而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、为特定的方位构造和操作，因而不能理解为对本实用新型保护内容的限制。
31.尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。