一种应用于ALD沉积系统的多功能中转腔的制作方法

一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔
技术领域
1.本实用新型涉及ald沉积设备技术领域，具体涉及一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔。


背景技术：

2.本技术发明人在实现本技术实施例发明技术方案的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：
3.目前原子层沉积系统与手套箱对接的方案是将反应中转腔放置于手套箱内，反应中转腔不易维护，若中转腔相关配件损坏，则需要将整个中转腔拆卸，手套箱就会进入空气，导致整个手套箱无法正常使用，当中转腔加热时的预热会对手套箱氛围产生影响；而且设备操作不灵活，所有实验都必须在手套箱内进行，为此，我们提出一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔，克服了现有技术的不足，设计合理，结构紧凑，通过设置在支架上的中转腔，中转腔上还连接有多组在同一直线上的驱动装置，既可以实现与手套箱集成，对敏感材料进行相应的ald沉积实验；又可以再大气压下沉积，对硅片等不敏感的材料能很方便的在外面操作而不用送入手套箱内，通过与中转腔能够外接手套箱，若中转腔故障维修，对手套箱的使用不产生任何影响，也不会因为预热造成手套箱氛围的变化。
6.(二)技术方案
7.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
8.一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔，包括柜体，柜体上连接有ald反应器，柜体的侧壁设置有支架，支架上固定安装有中转腔，中转腔上连接有多组在同一直线上的驱动装置，驱动装置包括用于传动试样的第二磁力杆、用于密封中转腔的插板阀，其中一组的插板阀一端连接有手套箱，其中另一的插板阀通过延长管连通在上。
9.优选的，驱动装置至少为两组，各组的驱动装置交叉设置在中转腔上。
10.优选的，支架的边缘位置上固定安装有中转腔，中转腔的底部上套接有载台，载台的侧壁等距环设有多个通过螺杆架设在支架上的延伸片。
11.优选的，所述中转腔()的底端上连通有可辅助水平进样的第一磁力杆()。
12.优选的，中转腔的侧壁上还连接有用于测量其内部压力的超高真空压力计。
13.优选的，柜体和支架的底部均设置有滑轮和支撑座。
14.优选的，中转腔上还设置有用于观察的可视窗。
15.优选的，第二磁力杆和插板阀的开口在同一轴心上。
16.优选的，第二磁力杆和插板阀与中转腔之间通过法兰连接。
17.优选的，中转腔的顶部还预设法兰接口。
18.(三)有益效果
19.本实用新型实施例提供了一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔。具备以下有益效果：
20.1、通过设置在支架上的中转腔，中转腔上还连接有多组在同一直线上的驱动装置，既可以实现与手套箱集成，对敏感材料进行相应的ald沉积实验；又可以在大气压下沉积，对硅片等不敏感的材料能很方便的在外面操作而不用送入手套箱内。
21.2、通过与中转腔能够外接手套箱，若中转腔故障维修，对手套箱的使用不产生任何影响，也不会因为预热造成手套箱氛围的变化。
附图说明
22.图1为本实用新型结构示意图。
23.图中：1、柜体；2、支架；21、滑轮；22、支撑座；3、ald反应器；4、中转腔；41、第一磁力杆；42、第二磁力杆；43、插板阀；44、超高真空压力计；5、载台；51、延伸片。
具体实施方式
24.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
25.参照附图1，一种应用于ald沉积系统的多功能中转腔，包括柜体1，柜体1上连接有ald反应器3，柜体1的侧壁设置有支架2，支架2上固定安装有中转腔4，中转腔4上连接有多组在同一直线上的驱动装置，通过设置在支架上的中转腔4，中转腔4上还连接有多组在同一直线上的驱动装置，既可以实现与手套箱集成，对敏感材料进行相应的ald沉积实验，又可以在大气压下沉积，对硅片等不敏感的材料能很方便的在外面操作而不用送入手套箱内，驱动装置包括用于传动试样的第二磁力杆42、用于密封中转腔4的插板阀43，其中一组的插板阀43一端连接有手套箱，其中另一的插板阀43通过延长管连通在3上，中转腔4上连接的第二磁力杆42能够通过延伸管连接在手套箱内，此时中转腔4能够外接手套箱，若中转腔4故障维修，对手套箱的使用不产生任何影响，也不会因为预热造成手套箱氛围的变化。
26.本实施例中，驱动装置至少为两组，各组的驱动装置交叉设置在中转腔4上。
27.本实施例中，支架2的边缘位置上固定安装有中转腔4，中转腔4的底部上套接有载台5，载台5的侧壁等距环设有多个通过螺杆架设在支架2上的延伸片51。
28.本实施例中，所述中转腔4的底端上连通有可辅助水平进样的第一磁力杆41。
29.本实施例中，中转腔4的侧壁上还连接有用于测量其内部压力的超高真空压力计44。
30.本实施例中，柜体1和支架2的底部均设置有滑轮21和支撑座22。
31.本实施例中，中转腔4上还设置有用于观察的可视窗。
32.本实施例中，第二磁力杆42和插板阀43的开口在同一轴心上。
33.本实施例中，第二磁力杆42和插板阀43与中转腔4之间通过法兰连接。
34.本实施例中，中转腔4的顶部还预设法兰接口。
35.工作方式：若样品对空气不敏感，则插板阀43关闭，直接从ald反应腔室送样；
36.若样品对空气非常敏感，则插板阀43与手套箱连接，打开与手套箱连接的插板阀43，可通过与插板阀43相对应的第二磁力杆42将样品从手套箱或者其他设备中取出至中转腔室中的其他第二磁力杆42中，通过分子泵对中转腔抽至真空，打开插板阀43，再通过第二磁力杆42将样品输送至ald反应器3内。
37.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
38.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。