一种溅镀靶的制作方法

1.本实用新型涉及一种溅镀装备技术领域，更具体地说，涉及一种溅镀靶。


背景技术：

2.溅镀指的是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。
3.以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子轰击材料表面，使其溅射出进入气相，可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额，产额越高溅射速度越快，以cu，au，ag等最高，ti，mo，ta，w等最低。溅射产额一般在0.1-10原子/离子。离子可以通过直流辉光放电产生，在两极间加高压产生放电，正离子会轰击负电靶材而产生溅射，从而镀到被镀物上。
4.传统的溅镀靶包括外壳和上盖，上盖的边缘压合弯折后固定在外壳的侧板上，利用上盖与外壳的侧板的摩擦力实现固定，传统的上盖结构复杂，成型较为困难，且在装配时还需要压合弯折工艺，大幅提高了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖与外壳的组装和装配时对对位精度要求较高，当对位精度没有达到预设要求时容易出现不良品，从而大幅降低了溅镀靶的组装和装配效率，同时也降低了溅镀靶的良品概率，提高了溅镀靶的制造成本，降低了溅镀靶的产品竞争力，无法满足生产企业日益增长的竞争力要求。


技术实现要素：

5.本实用新型所要解决的技术问题是如何以更为简单的方式将上盖与外壳固定。由于侧板的高度高于上盖的高度，且通过侧板的上端的内壁直接或间接卡住上盖的边缘而实现固定，使得上盖结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板的上端的内壁卡住上盖的边缘即可，使得上盖下边的金属网和金属网下方的轰击靶材紧紧地被压住，避免了金属网和轰击靶材脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品，从而大幅提高了溅镀靶的组装和装配效率，同时也提高了溅镀靶的良品概率，降低了溅镀靶的制造成本，提高了溅镀靶的产品竞争力，以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
6.本实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种溅镀靶，其包括外壳、轰击靶材、金属网和上盖，所述外壳包括底板和由所述底板边缘向上延伸的侧板，所述轰击靶材设置于所述底板的上表面，所述金属网盖在所述轰击靶材上，所述上盖盖在所述金属网上，所述侧板的高度高于所述上盖的高度，所述侧板的上端的内壁直接或间接卡住所述上盖的边缘而实现固定。
8.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述侧板的上端设置有多个向内凹陷的凹印，多个所述凹印环绕所述侧板的上端设置，所述上盖的边缘通过所述
侧板的上端的凹印卡住固定。
9.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述凹印有四个。
10.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述侧板的上端的内壁与所述上盖之间焊接有焊点，所述上盖的边缘通过所述焊点与所述侧板焊接固定。
11.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述侧板的上端向内弯折形成有弯折部，所述上盖的边缘通过所述弯折部卡住固定。
12.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述侧板的上端的内壁上设置有向外凸出的凸环，所述上盖的边缘通过所述凸环卡住固定。
13.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述侧板的下端的直径由下到上依次缩小。
14.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述轰击靶材为石墨。
15.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述底板的上表面设置有粗糙处理层。
16.作为本实用新型提供的所述溅镀靶的一种优选实施方式，所述粗糙处理层为磨砂表面处理层或菱形滚花处理层。
17.本实用新型具有如下有益效果：
18.由于侧板的高度高于上盖的高度，且通过侧板的上端的内壁直接或间接卡住上盖的边缘而实现固定，使得上盖结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板的上端的内壁卡住上盖的边缘即可，使得上盖下边的金属网和金属网下方的轰击靶材紧紧地被压住，避免了金属网和轰击靶材脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品，从而大幅提高了溅镀靶的组装和装配效率，同时也提高了溅镀靶的良品概率，降低了溅镀靶的制造成本，提高了溅镀靶的产品竞争力，以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
附图说明
19.为了更清楚地说明本技术中的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型提供的一种溅镀靶的侧板与上盖固定前的立体结构示意图。
21.图2为本实用新型提供的一种溅镀靶的侧板与上盖固定前的剖视结构示意图。
22.图3为实施例1的侧板与上盖固定后的结构示意图。
23.图4为实施例2的侧板与上盖固定后的结构示意图。
24.图5为实施例3的侧板与上盖固定后的结构示意图。
25.图6为实施例4的侧板与上盖固定后的结构示意图。
具体实施方式
26.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的
实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。
27.本实用新型提供了一种溅镀靶，其包括外壳、轰击靶材1、金属网2和上盖3，所述外壳包括底板4和由所述底板4边缘向上延伸的侧板5，所述轰击靶材1设置于所述底板4的上表面，所述金属网2盖在所述轰击靶材1上，所述上盖3盖在所述金属网2上，所述侧板5的高度高于所述上盖3的高度，所述侧板5的上端的内壁直接或间接卡住所述上盖3的边缘而实现固定。
28.由于侧板5的高度高于上盖3的高度，且通过侧板5的上端的内壁直接或间接卡住上盖3的边缘而实现固定，使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁卡住上盖3的边缘即可，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品，从而大幅提高了溅镀靶的组装和装配效率，同时也提高了溅镀靶的良品概率，降低了溅镀靶的制造成本，提高了溅镀靶的产品竞争力，以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
29.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案，下面将结合附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
30.实施例1
31.请参阅图1至图3，本实用新型提供的一种溅镀靶，其包括外壳、轰击靶材1、金属网2和上盖3，所述外壳包括底板4和由所述底板4边缘向上延伸的侧板5，所述轰击靶材1设置于所述底板4的上表面，所述金属网2盖在所述轰击靶材1上，所述上盖3盖在所述金属网2上，所述侧板5的高度高于所述上盖3的高度，所述侧板5的上端的内壁直接或间接卡住所述上盖3的边缘而实现固定。由于侧板5的高度高于上盖3的高度，且通过侧板5的上端的内壁直接或间接卡住上盖3的边缘而实现固定，使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁卡住上盖3的边缘即可，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品，从而大幅提高了溅镀靶的组装和装配效率，同时也提高了溅镀靶的良品概率，降低了溅镀靶的制造成本，提高了溅镀靶的产品竞争力，以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
32.进一步地，作为本实施例的具体实施方式，所述侧板5的上端设置有多个向内凹陷的凹印6，多个所述凹印6环绕所述侧板5的上端设置，所述上盖3的边缘通过所述侧板5的上端的凹印6卡住固定，侧板5的上端通过凹印6卡住上盖3的边缘而实现固定。使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁向内凹陷成型多个凹印6即可卡住上盖3的边缘，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的
轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品。
33.进一步地，所述凹印6有四个，其均匀分布在侧板5的中部位置的四个点上，即凹印6以底板4的中点为圆心呈90
°
阵列分布，以使得上盖3可以被四个凹印6卡住，从而避免上盖3和轰击靶材1脱落。在其他实施例中，所述凹印6的数量可以是六个或者是八个以及其他任意数量，其可以根据现实情况所需而设定，其均应落入本实用新型的保护范围之内。
34.实施例2
35.请参阅图4，作为实施例1的进一步优化方案，本实施例与实施例1的区别之处在于，所述侧板5的上端的内壁与所述上盖3之间焊接有焊点7，多个所述焊点7环绕所述侧板5的上端设置，所述上盖3的边缘通过所述焊点7与所述侧板5焊接固定。侧板5的上端通过焊点7卡住上盖3的边缘而实现固定。使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁向内凹陷成型多个凹印6即可卡住上盖3的边缘，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品。
36.实施例3
37.请参阅图5，作为实施例1的进一步优化方案，本实施例与实施例1的区别之处在于，所述侧板5的上端向内弯折形成有弯折部8，所述上盖3的边缘通过所述弯折部8卡住固定。侧板5的上端通过向内弯折形成弯折部8卡住上盖3的边缘而实现固定。使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁向内凹陷成型多个凹印6即可卡住上盖3的边缘，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品。
38.实施例4
39.请参阅图6，作为实施例1的进一步优化方案，本实施例与实施例1的区别之处在于，所述侧板5的上端的内壁上设置有向外凸出的凸环9，所述上盖3的边缘通过所述凸环9卡住固定。侧板5的上端通过形成凸环9而卡住上盖3的边缘而实现固定。使得上盖3结构变得简单，成型较为容易，且在装配时不需要压合弯折工艺，直接将侧板5的上端的内壁向内凹陷成型多个凹印6即可卡住上盖3的边缘，使得上盖3下边的金属网2和金属网2下方的轰击靶材1紧紧地被压住，避免了金属网2和轰击靶材1脱落的情况发生，大幅降低了溅镀靶的组装和装配作业难度，上盖3与外壳的组装和装配时对对位精度要求也不高，当对位精度没有达到预设要求时不会出现不良品。
40.进一步地，所述侧板5的下端的直径由下到上依次缩小，以使得侧板5的下端可以卡住轰击靶材1，进一步避免轰击靶材1脱落。
41.进一步地，所述轰击靶材1为石墨。
42.进一步地，所述底板4的上表面设置有粗糙处理层。以提高轰击靶材1与底板4之间的摩擦力，进而使得轰击靶材1在底板4的上表面不易滑动，防止轰击靶材1移位，也进一步
提高轰击靶材1脱落的难度，避免轰击靶材1脱落，从而保证轰击靶材1的稳定性。
43.进一步地，所述粗糙处理层为磨砂表面处理层或菱形滚花处理层。
44.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
45.显然，以上所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给出了本技术的较佳实施例，但并不限制本技术的专利范围。本技术可以以许多不同的形式来实现，相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来而言，其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本技术说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本技术专利保护范围之内。