一种集成电路加工用抛光装置的制作方法

文档序号:32028904发布日期:2022-11-03 00:52阅读:111来源:国知局
一种集成电路加工用抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光技术领域,尤其涉及一种集成电路加工用抛光装置。


背景技术:

2.集成电路板是采用半导体制作工艺,在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件,并按照多层布线或隧道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路,集成电路板在制作完成后需要对其进行抛光,所以需要用到抛光装置。
3.当电路板的某一面抛光完毕后,需要手动将电路板进行翻面继续进行抛光作业,导致效率降低,并且自动化程度低,不利于生产使用。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决当电路板的某一面抛光完毕后,需要手动将电路板进行翻面继续进行抛光作业,导致效率降低,并且自动化程度低,不利于生产使用,而提出的一种集成电路加工用抛光装置。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
6.一种集成电路加工用抛光装置,包括矩形框架,所述矩形框架内设有两个对称设置的连接块,两个所述连接块相对应的一端均设有卡槽,所述卡槽内顶部设有锁紧机构,两个所述连接块相背的一端均固定连接有固定杆,所述固定杆远离连接块的一端与矩形框架的内壁转动连接,所述固定杆上设有第一驱动机构,所述矩形框架内顶部滑动连接有连接板,所述连接板内设有第二驱动机构,所述连接板的下端设有安装板,所述连接板与安装板之间设有升降机构,所述安装板的下端设有凹槽,所述凹槽内设有抛光辊,所述安装板的外壁上固定连接有抛光电机,所述抛光电机的输出端末端贯穿安装板和抛光辊并与凹槽的内壁转动连接,所述抛光电机的输出轴与安装板之间为转动连接,所述抛光电机的输出轴与抛光辊之间为固定连接。
7.优选地,所述第一驱动机构包括固定套接在固定杆上的从动轮,所述矩形框架内内底部设有转杆,所述转杆上固定套接有与从动轮相对应的主动轮,所述主动轮与从动轮之间套接有传动带,所述转杆的一端与矩形框架的内壁转动连接,所述矩形框架的外壁上固定连接有第一伺服电机,所述转杆的另一端贯穿矩形框架并与第一伺服电机的输出轴末端固定连接,所述转杆与矩形框架之间为转动连接。
8.优选地,所述第二驱动机构包括插设在连接板内的螺杆,所述螺杆的一端贯穿连接板并与矩形框架的内壁转动连接,所述矩形框架的外壁上固定连接有第二伺服电机,所述螺杆的另一端贯穿矩形框架并与第二伺服电机的输出轴末端固定连接,所述螺杆与矩形框架之间为转动连接。
9.优选地,所述升降机构包括固定插设在连接板下端的两个电动推杆,所述电动推杆的伸缩端与安装板的上端固定连接。
10.优选地,所述连接板内滑动插设有滑杆,所述滑杆的两端分别与矩形框架的内壁
固定连接。
11.优选地,所述锁紧机构包括插设在卡槽内顶部的锁紧螺丝,所述锁紧螺丝与连接块之间为螺纹连接,所述锁紧螺丝的上端贯穿连接块。
12.有益效果:
13.1.首先将电路板的两端分别插入卡槽内,然后通过锁紧螺丝对电路板进行锁紧,再启动启动抛光电机驱动抛光辊转动,通过抛光辊对电路板的表面进行抛光作业,同时,启动电动推杆带动安装板升降,通过安装板调节抛光辊的高度,同时,启动第二伺服电机驱动螺杆转动,螺杆通过螺纹啮合的作用带动连接板以及安装板左右移动,从而实现抛光辊移动抛光;
14.2.当电路板的其中一面抛光完毕后,通过电动推杆带动安装板向上移动,然后启动第一伺服电机带动转杆转动,通过转杆带动主动轮转动,主动轮通过传动带带动从动轮转动,通过从动轮带动固定杆以及连接块旋转、翻转,通过连接块带动电路板旋转、翻转(翻面),从而对电路板的另一面进行抛光作业,本实用新型通过多处驱动机构的设置,实现对电路板自动翻面作业,从而减少工人操作步骤、提高工作效率,具有市场前景。
附图说明
15.图1为本实用新型提出的一种集成电路加工用抛光装置的结构示意图;
16.图2为本实用新型提出的一种集成电路加工用抛光装置的连接板侧视结构示意图;
17.图3为本实用新型提出的一种集成电路加工用抛光装置的a处结构示意图。
18.图中:1-矩形框架,2-传动带,3-转杆,4-主动轮,5-第一伺服电机,6-连接块,7-抛光辊,8-安装板,9-第二伺服电机,10-螺杆,11-滑杆,12-连接板,13-抛光电机,14-电动推杆,15-从动轮,16-固定杆。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
20.参照图1-3,一种集成电路加工用抛光装置,包括矩形框架1,矩形框架1内设有两个对称设置的连接块6,用于带动电路板翻转,两个连接块6相对应的一端均设有卡槽,卡槽内顶部设有锁紧机构,锁紧机构包括插设在卡槽内顶部的锁紧螺丝,用于固定电路板,锁紧螺丝与连接块6之间为螺纹连接,锁紧螺丝的上端贯穿连接块6,两个连接块6相背的一端均固定连接有固定杆16,用于带动连接块6旋转、翻转,固定杆16远离连接块6的一端与矩形框架1的内壁转动连接;
21.本实施例中,固定杆16上设有第一驱动机构,第一驱动机构包括固定套接在固定杆16上的从动轮15,用于带动固定杆16转动,矩形框架1内内底部设有转杆3,用于带动主动轮4转动,转杆3上固定套接有与从动轮15相对应的主动轮4,用于带动传动带2转动,主动轮4与从动轮15之间套接有传动带2,用于带动从动轮15转动,转杆3的一端与矩形框架1的内壁转动连接,矩形框架1的外壁上固定连接有第一伺服电机5,用于带动转杆3转动,转杆3的
另一端贯穿矩形框架1并与第一伺服电机5的输出轴末端固定连接,转杆3与矩形框架1之间为转动连接;
22.本实施例中,矩形框架1内顶部滑动连接有连接板12,用于带动安装板8移动,连接板12内设有第二驱动机构,第二驱动机构包括插设在连接板12内的螺杆10,用于带动连接板12移动,螺杆10与连接板12之间为螺纹连接,螺杆10的一端贯穿连接板12并与矩形框架1的内壁转动连接,矩形框架1的外壁上固定连接有第二伺服电机9,用于带动螺杆10转动,螺杆10的另一端贯穿矩形框架1并与第二伺服电机9的输出轴末端固定连接,螺杆10与矩形框架1之间为转动连接;
23.本实施例中,连接板12内滑动插设有滑杆11,用于提高连接板12移动时的稳定性,滑杆11的两端分别与矩形框架1的内壁固定连接,连接板12的下端设有安装板8,用于安装抛光电机13,连接板12与安装板8之间设有升降机构,述升降机构包括固定插设在连接板12下端的两个电动推杆14,用于带动安装板8升降,电动推杆14的伸缩端与安装板8的上端固定连接;
24.本实施例中,安装板8的下端设有凹槽,凹槽内设有抛光辊7,用于对电路板进行抛光,安装板8的外壁上固定连接有抛光电机13,用于带动抛光辊7转动,抛光电机13的输出端末端贯穿安装板8和抛光辊7并与凹槽的内壁转动连接,抛光电机13的输出轴与安装板8之间为转动连接,抛光电机13的输出轴与抛光辊7之间为固定连接;
25.本实施例中,首先将电路板的两端分别插入卡槽内,然后通过锁紧螺丝对电路板进行锁紧,再启动启动抛光电机13驱动抛光辊7转动,通过抛光辊7对电路板的表面进行抛光作业,同时,启动电动推杆14带动安装板8升降,通过安装板8调节抛光辊7的高度,同时,启动第二伺服电机9驱动螺杆10转动,螺杆10通过螺纹啮合的作用带动连接板12以及安装板8左右移动,从而实现抛光辊7移动抛光;当电路板的其中一面抛光完毕后,通过电动推杆14带动安装板8向上移动,然后启动第一伺服电机5带动转杆3转动,通过转杆3带动主动轮4转动,主动轮4通过传动带2带动从动轮15转动,通过从动轮15带动固定杆16以及连接块6旋转、翻转,通过连接块6带动电路板旋转、翻转(翻面),从而对电路板的另一面进行抛光作业,本实用新型通过多处驱动机构的设置,实现对电路板自动翻面作业,从而减少工人操作步骤、提高工作效率,具有市场前景。
26.以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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