一种双面抛光机游星轮的制作方法

1.本实用新型涉及游星轮技术领域，特别是涉及一种双面抛光机游星轮。


背景技术：

2.双面抛光机是一种用于半导体硅片、磁性材料、蓝宝石、光学玻璃、金属材料及其它硬脆材料的双面高精度高效率的抛光加工设备。
3.游星轮作为双面抛光机的夹具，常用的材质有金属和非金属两种，金属材质的强度高、非金属材质的强度低。
4.对于全金属材质的游星轮在抛光工作进行时，游星轮与抛光垫摩擦而产生金属杂质或游星轮会被抛光介质(抛光液)腐蚀而产生金属离子，而全非金属材质的游星轮，强度不满足要求，抛光制程中会因为摩擦力太大使游星轮破损，耐久性较差。


技术实现要素：

5.为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种使游星轮具有一定强度的同时，能够减少摩擦产生的金属杂质的双面抛光机游星轮。
6.为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种双面抛光机游星轮，包括轮体，所述轮体上沿轮体的厚度方向开设有若干安装槽，所述轮体外围可拆卸连接有齿圈，所述轮体包括有第一轮片和两个第二轮片，所述第一轮片可拆卸连接在两个第一轮片之间；
7.其中，所述第一轮片和齿圈为金属材质，所述第二轮片为非金属材质，使游星轮具有一定强度的同时，能够减少摩擦产生的金属杂质。
8.优选的，所述轮体外表面设有若干固定件，所述齿圈内壁开设有若干和固定件适配的固定槽，所述固定件可拆卸连接于固定槽内。
9.优选的，所述固定件包括有固定块，所述固定块一侧开设有两个第一通孔，所述固定槽内壁两侧分别开设有和第一通孔大小适配的两个第一侧槽和两个第二侧槽，所述第一侧槽内设有沿第一侧槽的槽深度方向位移的固定杆。
10.优选的，所述第一侧槽内壁远离第二侧槽一侧转动连接滚珠丝杆，所述滚珠丝杆表面螺纹连接和第一通孔适配的固定杆，所述齿圈顶面开设有若干凹槽，所述滚珠丝杆一端进入凹槽固定连接转块。
11.优选的，所述第一轮片的顶面和底面均设有卡块，所述第二轮片与第一轮片靠近一侧均开设有和卡块适配的卡槽。
12.优选的，所述第一轮片外表面固定连接若干固定块，所述固定块顶面和底面均开设有定位槽，所述第二轮片外表面固定连接有和定位槽适配的定位块，所述定位块一侧开设有和第一通孔适配的第二通孔。
13.与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：
14.本实用新型通过设置金属材质的齿圈和第一轮片，和非金属材质的第二轮片，可
以在保证游星轮的强度（避免摩擦力太大使游星轮破损）的同时，又能避免对抛光垫与金属材质的第一轮片直接接触，从而避免了抛光垫与游星轮摩擦产生金属杂质。
附图说明
15.图1为本实用新型整体结构示意图；
16.图2为本实用新型齿圈剖面结构示意图；
17.图3为本实用新型图2中a处结构示意图；
18.图4为本实用新型第一轮片、卡块和固定件结构示意图；
19.图5为本实用新型第二轮片、卡槽、定位块和第二通孔结构示意图；
20.其中：1、齿圈；2、轮体；201、第一轮片；202、第二轮片；3、固定件；301、固定块；302、定位槽；303、第一通孔；304、定位块；305、第二通孔；4、固定槽；5、第一侧槽；6、滚珠丝杆；7、固定杆；8、第二侧槽；9、凹槽；10、转块；11、卡槽；12、卡块；13、安装槽。
具体实施方式
21.为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料、试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。
22.实施例：
23.实施例一：
24.如图1-5所示，本实用新型提供一种双面抛光机游星轮，包括轮体2，轮体2上沿轮体2的厚度方向开设有若干安装槽13，轮体2外围可拆卸连接有齿圈1，轮体2包括有第一轮片201和两个第二轮片202，第一轮片201可拆卸连接在两个第一轮片201之间；
25.其中，第一轮片201和齿圈1为金属材质，第二轮片202为非金属材质，使游星轮具有一定强度的同时，能够减少摩擦产生的金属杂质；
26.在使用游星轮进行工作时，通过金属材质的齿圈1和第一轮片201，和非金属材质的第二轮片202，可以在保证游星轮的强度（避免摩擦力太大使游星轮破损）的同时，又能避免对抛光垫与金属材质的第一轮片201直接接触，从而避免了抛光垫与游星轮摩擦产生金属杂质。
27.实施例二：
28.如图2、图3、图4和图5所示，本实施例还公开了，轮体2外表面设有若干固定件3，齿圈1内壁开设有若干和固定件3适配的固定槽4，固定件3可拆卸连接于固定槽4内；
29.将轮体2外表面的固定件3对准齿圈1的固定槽4插入固定，从而完成了对轮体2和齿圈1的固定，从而完成了对游星轮的固定组装。
30.实施例三：
31.如图2、图3、图4和图5所示，本实施例还公开了，固定件3包括有固定块301，固定块301一侧开设有两个第一通孔303，固定槽4内壁两侧分别开设有和第一通孔303大小适配的
两个第一侧槽5和两个第二侧槽8，第一侧槽5内设有沿第一侧槽5的槽深度方向位移的固定杆7，第一侧槽5内壁远离第二侧槽8一侧转动连接滚珠丝杆6，滚珠丝杆6表面螺纹连接和第一通孔303适配的固定杆7，齿圈1顶面开设有若干凹槽9，滚珠丝杆6一端进入凹槽9固定连接转块10。
32.当需要对游星轮进行组装固定时，将轮体2上的固定块301对准齿圈1上的固定槽4插入，通过右手顺时针转动各个转块10，使其带动滚珠丝杆6转动，滚珠丝杆6带动固定杆7移动，使固定杆7部分移动出第一侧槽5穿过第一通孔303进入第二侧槽8内，从而完成了对固定块301的固定，即完成了对游星轮的组装；
33.当轮体2或齿圈1使用损坏时，通过右手逆时针转动各个转块10，使其带动滚珠丝杆6转动，滚珠丝杆6带动固定杆7移动，使固定杆7活动出第二侧槽8和第一通孔303，完全进入到第一侧槽5内，从而固定块301不再固定在固定槽4内，即完成了对齿圈1和轮体2的拆卸，从而方便对损坏的部件进行更换。
34.实施例四：
35.如图4和图5所示，本实施例还公开了，第一轮片201的顶面和底面均设有卡块12，第二轮片202与第一轮片201靠近一侧均开设有和卡块12适配的卡槽11，卡块12卡接于卡槽11内，第一轮片201外表面固定连接若干固定块301，固定块301顶面和底面均开设有定位槽302，第二轮片202外表面固定连接有和定位槽302适配的定位块304，定位块304一侧开设有和第一通孔303适配的第二通孔305。
36.当第二轮片202或第一轮片201损坏需要更换时，首先，通过上述可以对轮体2进行拆卸，拆卸完毕后，拉动第一轮片201与第二轮片202相互远离移动，从而使卡块12脱离卡槽11，且同时定位块304脱离定位槽302，从而第一轮片201和第二轮片202可以分离，从而可以完成对损坏的部分进行拆卸；
37.反之，需要安装固定新的第一轮片201和第二轮片202时，将定位块304对准定位槽302插入，同时卡块12卡接进入卡槽11内，从而完成了对第一轮片201和第二轮片202的固定，即完成了对轮体2的组装。
38.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。