一种低气压等离子体增强渗氮的设备的制作方法

1.本实用新型属于渗氮设备技术领域，尤其涉及一种低气压等离子体增强渗氮的设备。


背景技术：

2.渗氮，是在一定温度下一定介质中使氮原子渗入工件表层的化学热处理工艺。常见有液体渗氮、气体渗氮、离子渗氮。传统的气体渗氮是把工件放入密封容器中，通以流动的氨气并加热，保温较长时间后，氨气热分解产生活性氮原子，不断吸附到工件表面，并扩散渗入工件表层内，从而改变表层的化学成分和组织，获得优良的表面性能。
3.现有的渗氮设备大多由于需要对工件进行承载支撑，因此会出现某些部位渗氮不均匀、不足的现象，亟需改善。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例的目的在于提供一种低气压等离子体增强渗氮的设备，旨在解决背景技术中所述的问题。
5.本实用新型实施例是这样实现的，一种低气压等离子体增强渗氮的设备，包括：
6.炉体，底部设置有安装腔；
7.阳极内胆，设置于炉体内；
8.阴极夹持组件，安装于炉体内壁上，可沿着其轴线弹性伸缩，用于对工件限位；
9.抽真空机构，设置于炉体一侧，用于对炉体内抽真空；
10.供气机构，与炉体内部连通，用于供气；
11.加热机构，设置于炉体内，用于加热；
12.电源，设置于安装腔内，用于供电；
13.水冷机构，与电源连接，用于对电源水冷降温；以及
14.往复驱动机构，安装于炉体内壁，抵接于工件底部，用于通过偏心结构往复驱动工件移动。
15.优选地，所述往复驱动机构包括：
16.转轴，转动设置于炉体内，一端延伸至炉体外并连接至驱动电机；
17.滑套，滑动套设于转轴上，共有两个；
18.偏心轮，安装于滑套上，抵接于工件底部；以及
19.往复推动组件，用于往复推动滑套向另一个滑套靠近；
20.两个所述偏心轮之间连接有第二弹性件。
21.优选地，所述往复推动组件包括：
22.固定板，转动设置于滑套上；
23.螺套，与固定板固定连接；
24.螺杆，转动设置于炉体内壁上，与螺套螺纹连接；
25.连接单元，包括啮合连接的间歇齿轮、圆柱直齿轮，间歇齿轮、圆柱直齿轮分别安装于转轴、螺杆上；以及
26.限位单元，与螺套连接，用于防止螺套转动。
27.优选地，所述限位单元包括：
28.连接杆，固定于螺套上；以及
29.伸缩滑杆，包括第一滑杆、第二滑杆，第一滑杆、第二滑杆滑动连接，第二滑杆固定于炉体内壁上。
30.优选地，所述阴极夹持组件包括：
31.固定套，安装于炉体内壁上；
32.限位滑块，滑动设置于固定套内；
33.第一弹性件，两端分别与固定套内壁、限位滑块固定；以及
34.阴极夹持杆，一端固定于限位滑块远离炉体内壁的一侧，另一端贯穿固定套；
35.所述阴极夹持杆抵接于工件的一端为圆弧形。
36.本实用新型实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备，通过设置炉体、阳极内胆、阴极夹持组件、抽真空机构、供气机构、加热机构、电源、水冷机构和往复驱动机构，当需要对工件进行渗氮时，首先通过抽真空机构对炉体内部抽真空，通过加热机构对内部加热，通过供气机构向炉体内供气，接着通过水冷机构通电，将气体电力，进而渗氮，与此同时，通过往复驱动机构往复驱动工件上下移动，在移动过程中，通过阴极夹持组件对工件对工件的侧面进行限位，阴极夹持组件与工件接触的位置不断发生变化，往复驱动机构由于是通过偏心结构驱动工件移动，因此往复驱动机构与工件之间的接触位置也在不断发生变化，因此能够使得工件各处均得到渗氮处理，相较于传统设备，具有明显的优势。
附图说明
37.图1为本实用新型实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备的结构示意图；
38.图2为本实用新型实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备中往复驱动机构的结构示意图；
39.图3为本实用新型实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备中伸缩滑杆的立体示意图；
40.图4为本实用新型实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备中阴极夹持组件的结构示意图。
41.附图中：1-炉体；2-阳极内胆；3-阴极夹持组件；301-固定套；302-限位滑块；303-第一弹性件；304-阴极夹持杆；4-抽真空机构；5-供气机构；6-加热机构；7-电源；8-水冷机构；9-往复驱动机构；901-转轴；902-滑套；903-偏心轮；904-固定板；905-螺套；906-螺杆；907-连接杆；908-伸缩滑杆；909-连接单元；10-第一滑杆；11-第二滑杆。
具体实施方式
42.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释
本实用新型，并不用于限定本实用新型。
43.以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
44.如图1、图2所示，为本实用新型的一个实施例提供的一种低气压等离子体增强渗氮的设备的结构示意图，包括：
45.炉体1，底部设置有安装腔；
46.阳极内胆2，设置于炉体1内；
47.阴极夹持组件3，安装于炉体1内壁上，可沿着其轴线弹性伸缩，用于对工件限位；
48.抽真空机构4，设置于炉体1一侧，用于对炉体1内抽真空；
49.供气机构5，与炉体1内部连通，用于供气；
50.加热机构6，设置于炉体1内，用于加热；
51.电源7，设置于安装腔内，用于供电；
52.水冷机构8，与电源7连接，用于对电源7水冷降温；以及
53.往复驱动机构9，安装于炉体1内壁，抵接于工件底部，用于通过偏心结构往复驱动工件移动。
54.在本实用新型实施例中，当需要对工件进行渗氮时，首先通过抽真空机构4对炉体1内部抽真空，通过加热机构6对内部加热，通过供气机构5向炉体1内供气，接着通过水冷机构8通电，将气体电力，进而渗氮，与此同时，通过往复驱动机构9往复驱动工件上下移动，在移动过程中，通过阴极夹持组件3对工件对工件的侧面进行限位，阴极夹持组件3与工件接触的位置不断发生变化，往复驱动机构9由于是通过偏心结构驱动工件移动，因此往复驱动机构9与工件之间的接触位置也在不断发生变化，因此能够使得工件各处均得到渗氮处理，相较于传统设备，具有明显的优势。
55.如图2所示，作为本实用新型的一种优选实施例，所述往复驱动机构9包括：
56.转轴901，转动设置于炉体1内，一端延伸至炉体1外并连接至驱动电机；
57.滑套902，滑动套设于转轴901上，共有两个；
58.偏心轮903，安装于滑套902上，抵接于工件底部；以及
59.往复推动组件，用于往复推动滑套902向另一个滑套902靠近；
60.两个所述偏心轮903之间连接有第二弹性件。
61.在本实用新型实施例中，通过往复推动组件推动滑套902向另一个滑套902靠近，在此过程中，第二弹性件压缩，在往复推动组件不推动滑套902的时候，通过第二弹性件的弹力驱动滑套902复位，而再次过程中，转轴901带动滑套902、偏心轮903转动，偏心轮903不断改变与工件之间的接触位置。
62.如图2所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述往复推动组件包括：
63.固定板904，转动设置于滑套902上；
64.螺套905，与固定板904固定连接；
65.螺杆906，转动设置于炉体1内壁上，与螺套905螺纹连接；
66.连接单元909，包括啮合连接的间歇齿轮、圆柱直齿轮，间歇齿轮、圆柱直齿轮分别安装于转轴901、螺杆906上；以及
67.限位单元，与螺套905连接，用于防止螺套905转动。
68.在本实用新型实施例中，当转轴901转动时，转轴901带动间歇齿轮转动，间歇齿轮
驱动圆柱直齿轮转动，圆柱直齿轮带动螺杆906转动，螺杆906驱动螺套905移动，螺套905带动固定板904、滑套902移动；而当间歇齿轮不与圆柱直齿轮啮合时，通过第二弹性件的弹力驱动偏心轮903复位，偏心轮903带动螺套905复位。
69.如图2、图3所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述限位单元包括：
70.连接杆907，固定于螺套905上；以及
71.伸缩滑杆908，包括第一滑杆10、第二滑杆11，第一滑杆10、第二滑杆11滑动连接，第二滑杆11固定于炉体1内壁上。
72.在本实用新型实施例中，通过第一滑杆10、第二滑杆11滑动配合，从而使得连接杆907只能够沿着一个方向移动，进而防止了螺套905转动。
73.如图4所示，作为本实用新型的另一种优选实施例，所述阴极夹持组件3包括：
74.固定套301，安装于炉体1内壁上；
75.限位滑块302，滑动设置于固定套301内；
76.第一弹性件303，两端分别与固定套301内壁、限位滑块302固定；以及
77.阴极夹持杆304，一端固定于限位滑块302远离炉体1内壁的一侧，另一端贯穿固定套301；
78.所述阴极夹持杆304抵接于工件的一端为圆弧形。
79.在本实用新型实施例中，通过第一弹性件303的弹力驱动限位滑块302移动，限位滑块302带动阴极夹持杆304抵接于工件，而圆弧形的便于工件沿着阴极夹持杆304上下移动。
80.本实用新型上述实施例中提供了一种低气压等离子体增强渗氮的设备，通过设置炉体1、阳极内胆2、阴极夹持组件3、抽真空机构4、供气机构5、加热机构6、电源7、水冷机构8和往复驱动机构9，当需要对工件进行渗氮时，首先通过抽真空机构4对炉体1内部抽真空，通过加热机构6对内部加热，通过供气机构5向炉体1内供气，接着通过水冷机构8通电，将气体电力，进而渗氮，与此同时，通过往复驱动机构9往复驱动工件上下移动，在移动过程中，通过阴极夹持组件3对工件对工件的侧面进行限位，阴极夹持组件3与工件接触的位置不断发生变化，往复驱动机构9由于是通过偏心结构驱动工件移动，因此往复驱动机构9与工件之间的接触位置也在不断发生变化，因此能够使得工件各处均得到渗氮处理，相较于传统设备，具有明显的优势。
81.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。