一种药液桶推车的制作方法

1.本实用新型涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种药液桶推车。


背景技术：

2.半导体制造中，随着制程技术的升级，对晶圆表面的平坦程度(non-uniformity)的要求越来越高。化学机械研磨(chemical mechanical polishing，以下简称cmp)是目前机械加工中实现表面全局平坦化的主流技术，其综合了化学腐蚀作用和机械去除作用。
3.cmp机台主要包括研磨头、研磨盘、研磨垫、研磨头清洗装置、晶圆装卸装置以及研磨液供给装置，研磨盘上固定有研磨垫，研磨垫上放置晶圆，研磨过程中研磨头被施加一定压力，同时研磨液在研磨垫和晶圆之间流动，并与晶圆表面发生摩擦从而起到研磨的效果。在此过程中，研磨液作为一个消耗品，需要定期对cmp机台进行上料操作，以补充研磨液。
4.请参阅图1，现有技术中对cmp机台1进行上料时，操作者先将盛有研磨液的药液桶2放置在移动推车3，然后通过助力斜坡4正面推入cmp机台1的研磨液供给装置，然后完成更换药液桶的动作。这种固定式的助力斜坡占地面积大，适合在空间宽阔的地方使用，如果过道距离很短的情况下就无法使用了，使用局限性小，另外，在空闲状态下依旧占据地面空间，碍事绊脚，实用性低。因此，如何解决cmp机台上料操作受限于空间，不能在较小空间内完成药液桶更换工作是目前亟需解决的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种药液桶推车，以解决现有技术中的缺陷和不足，本实用新型提供的药液桶推车不受空间太多的限制，使用局限小，可在空间狭小的过道使用且小巧灵活，操作简单。
6.为实现上述目的，本实用新型提供了一种药液桶推车，所述药液桶推车包括载台、上料台、下料台、滚轮和推杆，所述载台用于放置所述药液桶，所述滚轮设置在所述载台的下方，所述上料台和所述下料台分别设置在所述载台相邻的两侧边，所述推杆设置在所述载台的一侧边且与所述上料台相对设置。
7.可选的，所述上料台和所述下料台分别与所述载台可拆卸连接。
8.可选的，所述上料台和所述下料台可分别沿其与所述载台连接边折叠。
9.可选的，所述药液桶推车还包括支撑架，所述支撑架与所述推杆固定连接，用于支撑稳固所述药液桶推车。
10.可选的，所述支撑架为可伸缩式支撑架。
11.可选的，所述药液桶推车还包括护杆，所述护杆设置在所述载台的一侧边且与所述下料台相对设置。
12.可选的，所述上料台和所述下料台呈斜坡状。
13.可选的，所述载台的俯视图为正方形，且所述载台的长边长度大于等于所述药液桶的直径。
14.可选的，所述上料台和所述下料台的宽度与所述载台的长边长度相等。
15.与现有技术相比，本实用新型提供的一种药液桶推车，具有以下优点：所述药液桶推车包括载台、上料台、下料台、滚轮和推杆，所述载台用于放置所述药液桶，所述滚轮设置在所述载台的下方，所述上料台和所述下料台分别设置在所述载台相邻的两侧边，所述推杆设置在所述载台的一侧边且与所述上料台相对设置。本实用新型提供的药液桶推车的横向作业宽度较小，在过道空间狭小的条件下也能够完成cmp机台的上料作业，不受空间限制，且所述药液桶推车小巧灵活，结构简单，易于操作，生产成本低。
附图说明
16.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
17.图1是本实用新型提供的一种现有技术中cmp机台上料作业的示意图；
18.图2是本实用新型一实施例提供的一种药液桶推车的结构示意图；
19.图3是本实施例一实施例提供的一种使用药液桶推车对cmp机台上料作业的示意图；
20.附图标记说明：
21.1-cmp机台；2-药液桶；3-移动推车；4-助力斜坡；5-药液桶推车；51-载台；52-上料台；53-下料台；54-滚轮；55-推杆；56-支撑架；57-护杆。
具体实施方式
22.以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的一种药液桶推车作进一步详细说明。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
23.在本实用新型的描述中，术语
″
第一
″
、
″
第二
″
仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有
″
第一
″
、
″
第二
″
的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，
″
多个
″
的含义是至少两个，例如两个、三个等，除非另有明确具体的限定。
24.本实用新型的核心思想在于提供一种药液桶推车，通过改良药液桶推车的结构，使得所述药液桶推车的使用不受空间太多的限制，可在空间狭小的过道完成cmp机台的上料作业且小巧灵活，操作简单。
25.为此，本实施例提供了一种药液桶推车，请参阅图2-3，所述药液桶推车包括载台51、上料台52、下料台53、滚轮54和推杆55，所述载台51用于放置所述药液桶2，所述滚轮54设置在所述载台51的下方，所述上料台52和所述下料台分53别设置在所述载台51相邻的两侧边，所述推杆55设置在所述载台51的一侧边且与所述上料台52相对设置。
26.实际应用中，将所述药液桶推车5推放至需要上料的cmp机台1前，然后将药液桶2通过移动推车3从所述上料台52推至所述载台51，然会再经所述下料台53推入至所述cmp机台1的研磨液供给装置内，进而完成更换药液桶2的动作。
27.可见，本实施例提供的药液桶推车5的横向作业宽度较小，在过道空间狭小的条件下也能够完成cmp机台1的上料作业，不受空间限制，且所述药液桶推车5小巧灵活，结构简单，易于操作，生产成本低。
28.进一步的，所述上料台52和所述下料台53分别与所述载台51可拆卸连接，更进一步的，所述上料台52和所述下料台53可分别沿其与所述载台51连接边折叠。在所述药液桶推车5闲置时，可将所述上料台52和所述下料台53拆卸下来或者沿其与所述载台51连接边折叠下来，以减少占地空间。
29.进一步的，所述药液桶推车5还包括支撑架56，所述支撑架56与所述推杆55固定连接，用于支撑稳固所述药液桶推车5。优选的，所述支撑架56为可伸缩式支撑架。在实际应用中，待所述药液桶推车5推放至cmp机台1前后，将所述支撑架56拉伸并向下翻折固定，支撑在地，待所述药液桶推车5使用完毕后，将所述支撑架56缩放并向上翻折固定。
30.进一步的，所述药液桶推车5还包括护杆57，所述护杆57设置在所述载台51的一侧边且与所述下料台53相对设置，用于防止所述药液桶2从所述载台51上滑落。
31.优选的，所述上料台52和所述下料台53呈斜坡状，方便操作人员进行上、下料。
32.优选的，本实施例提供的药液桶推车5的载台51为方形载台，其俯视图为正方形，且所述载台51的长边长度大于等于所述药液桶2的直径，且所述上料台52和所述下料台53的宽度与所述载台51的长边长度相等，在保证药液桶2可顺利推上或者推下药液桶推车5的前提下，尽量缩小了药液桶推车5的占地面积。
33.综上所述，本实用新型提供的一种药液桶推车，具有以下优点：所述药液桶推车包括载台、上料台、下料台、滚轮和推杆，所述载台用于放置所述药液桶，所述滚轮设置在所述载台的下方，所述上料台和所述下料台分别设置在所述载台相邻的两侧边，所述推杆设置在所述载台的一侧边且与所述上料台相对设置。本实用新型提供的药液桶推车的横向作业宽度较小，在过道空间狭小的条件下也能够完成cmp机台的上料作业，不受空间限制，且所述药液桶推车小巧灵活，结构简单，易于操作，生产成本低。
34.上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。