一种半导体材料精雕成型橡胶抛光头连接结构的制作方法

1.本实用新型属于光刻掩膜版技术领域，特别是涉及一种半导体材料精雕成型橡胶抛光头连接结构。


背景技术：

2.在对光刻掩膜版的生产加工过程中，会经过粗加工和精加工，其中粗加工和精加工都各自有多种不同的加工过程。在对光刻掩膜版进行精确加工时会采用到精雕机，使用精雕机对光刻掩膜版进行加工。
3.精雕机在对光刻掩膜版进行抛光加工时，精加工的抛光经常会采用到橡胶抛光头，橡胶相对与普通的抛光打磨头而言具有一定的柔性，可以在对光刻掩膜版加工过程中避免对光刻掩膜版造成损伤。但是也由于橡胶头的柔性和橡胶头较大的摩擦力，使得橡胶头在打磨抛光过程中容易变形，而当橡胶头与精雕机的连接处发生变形时，有可能导致橡胶头脱落，对生产加工的工序造成影响。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体材料精雕成型橡胶抛光头连接结构，对橡胶头内部和外部都设置有用于锁紧、防止脱落的结构，确保橡胶头可以稳定地进行打磨抛光工作。
5.为解决上述技术问题，本实用新型通过以下技术方案实现的：
6.一种半导体材料精雕成型橡胶抛光头连接结构，包括抛光杆、橡胶头和锁紧螺母，所述橡胶头与抛光杆底部连接，所述抛光杆底部设置有与锁紧螺母连接的螺纹，所述锁紧螺母下端套在橡胶头上，所述锁紧螺母的上端与抛光杆底部的螺纹配合连接，所述锁紧螺母与橡胶头的连接面为锥形面，所述锥形面直径小的一端位于直径大的一端的下侧。通过所述锁紧螺母的锥形面对橡胶头进行固定，锥形面的直径上侧大下侧小，使得锥形面在与橡胶头接触时，会给予橡胶头向上的压力，使橡胶头被压在抛光杆的底部，避免在打磨抛光过程中橡胶头的脱落。在将锁紧螺母与抛光杆连接时，所述锁紧螺母是从下向上活动，锁紧螺母活动过程中，锁紧螺母内侧的锥形面会逐渐将橡胶头压紧，在橡胶头被压紧的过程中，也会给予锁紧螺母一个反作用力，使得锁紧螺母的拧动阻力越来越大，采用锁紧螺母对橡胶头从下向上的固定，主要防止橡胶头向下脱落。
7.要使橡胶头更稳定地固定在抛光杆的底部，因此在所述橡胶头内设置有孔，所述孔的开口位于橡胶头的上侧，所述抛光杆的底部插入孔中与橡胶头连接。在抛光杆底部插入到橡胶头上的孔内时，可以有效防止橡胶头沿水平方向的摆动，从而防止橡胶头左右摆动导致橡胶头松动脱落的问题。并且在橡胶头内设置孔，使得抛光杆底部插入到橡胶头内这一结构，还可以与锁紧螺母进行配合。橡胶头本身具有一定的弹性，因此在锁紧螺母从下向上移动时，橡胶头受到锥形面的压缩而缩小。但是当锁紧螺母上升到一定程度时，锥形面的压缩位置与橡胶头内的抛光杆的位置对应，这个位置的橡胶头内具有抛光杆，因此橡胶
头此处的可压缩能力会明显降低。所以抛光杆底部从内部支撑橡胶头，而锁紧螺母从外侧压紧橡胶头，对橡胶头内外都进行压紧固定，使得橡胶头的固定更为稳定。
8.本实用新型具有以下有益效果：
9.本实用新型可以有效地将橡胶头固定于抛光杆上，利用锁紧螺母内部的锥形面可以将橡胶头压紧，达到防止橡胶头脱落的问题。
附图说明
10.为了更清楚地说明本实用新型技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
11.图1为本实用新型的平面结构示意图；
12.图2为本实用新型的抛光杆的主视图；
13.图3为本实用新型的橡胶头的剖视图；
14.图4为本实用新型的锁紧螺母的剖视图。
15.附图中，各标号所代表的部件列表如下：
16.1、抛光杆，2、橡胶头，3、锁紧螺母，4、连接段，5、卡位段，6、孔，7、锥形面，8、螺纹部分。
具体实施方式
17.下面结合附图，通过本实用新型实施例的具体实现方式，对本实用新型技术方案进行清楚、完整地说明。
18.请参阅图1-4所示，本实用新型为一种半导体材料精雕成型橡胶抛光头连接结构，包括抛光杆1、橡胶头2和锁紧螺母3，所述橡胶头2与抛光杆1底部连接，所述抛光杆1底部设置有与锁紧螺母3连接的螺纹，所述锁紧螺母3下端套在橡胶头2上，所述锁紧螺母3的上端与抛光杆1底部的螺纹配合连接，所述锁紧螺母3与橡胶头2的连接面为锥形面7，所述锥形面7直径小的一端位于直径大的一端的下侧。
19.所述锁紧螺母3的螺纹部分8和锥形面7均为锁紧螺母3的内侧面，其中锁紧螺母3的螺纹部分8位于锥形面7的上方，并且锥形面7底端的直径小于螺纹部分8的直径的。所以锁紧螺母3只能从一个方向与抛光杆1 连接，在与抛光杆1连接时，螺纹部分8在上，锥形面7在下，锥形面7 在初始阶段不会影响到螺纹部分8与抛光杆1的连接。而在锁紧螺母3的拧动过程中，锁紧螺母3整体向上移动，使得锥形面7也会向上移动。锥形面7向上移动时，由于锥形面7的下端的直径是小于橡胶头2的直径的，所以在锥形面7上移过程会压缩橡胶头2，并给予橡胶头2一个向上的压力，使橡胶头2与抛光杆1的底部更紧密地连接。同时橡胶头2与锥形面7接触的部分会向内收缩，使得锥形面7能够向上移动。在锥形面7压紧橡胶头2时，橡胶头2的反作用力会反馈到锥形面7上，使锥形面7受到的阻力逐渐增大，锁紧螺母3受到的阻力也就逐渐增大。当锥形面7受到了足够大的反作用力，那么此时橡胶头2也同样受到了足够大的作用力，使得橡胶头2被稳定地固定在了抛光杆1的底端。
20.因此，锁紧螺母3的锥形面7主要用于向橡胶头2施加从下向上的压力，将橡胶头2
从下向上固定在抛光杆1的底端，防止橡胶头2向下脱落。
21.优选地，所述橡胶头2内设置有孔6，所述孔6的开口位于橡胶头2的上侧，所述抛光杆1的底部插入孔6中与橡胶头2连接。设置在橡胶头2 内的孔6只有一个开口，也就是位于位于橡胶头2上侧的开口。在抛光杆1 底部插入到孔6中时，抛光头的底端会抵靠在孔6的底端。由于橡胶头2 本身具有一定的柔性，因此在受到外力作用时会发生一定的变形。所以在锁紧螺母3向上移动的过程中，锁紧螺母3内侧的锥形面7会从圆周方向上对橡胶头2进行压缩。由于橡胶头2内的孔6并没有贯穿橡胶头2，因此抛光杆1底部能够插入到橡胶头2内的深度有限，所以以橡胶头2内的孔6 的底端为界限，橡胶头2对应孔6底位置的下侧收缩范围大，更容易被压缩；而橡胶头2对应孔6底位置的上侧则是由于抛光杆1的插入，导致这一部分的收缩范围小，不容易被压缩。相当于橡胶头2上部内侧有抛光杆1 的支撑，不容易被压缩或者被压缩时收缩的范围更小，因此给予锁紧螺母3 锥形面7的阻力更大。所以在锁紧螺母3上移的过程中，锥形面7沿着橡胶头2上移到内部有抛光杆1的位置时，锥形面7受到的阻力会明显增大。此时橡胶头2由内侧的抛光杆1和外侧的锁紧螺母3从内外两侧夹紧，从而固定在抛光杆1的底部。此时锁紧螺母3受到的阻力也足够大，不会任意转动，达到锁紧的目的。
22.为了进一步防止橡胶头2的脱落，因此在所述抛光杆1底部加工有卡位段5和连接段4，所述连接段4位于抛光杆1杆体与卡位段5之间，所述连接段4的直径小于卡位段5的直径。由于连接段4的直径小于卡位段5 的直径，因此卡位段5与抛光杆1杆体之间形成了一段环形凹槽。在卡位段5和连接段4插入到橡胶头2内的孔6中时，橡胶头2外侧受到锁紧螺母3的锥形面7的压力，因此橡胶头2上的孔6侧壁会压紧卡位段5和连接段4。由于连接段4的直径小于卡位段5，所以橡胶头上的孔6侧壁受压向连接段4变形凸起，凸起的部分会从侧上方压在卡位段5上，使得卡位段5无法相对于橡胶头2上移。所以橡胶头2也就无法从下侧脱落，进一步地防止了橡胶头2从抛光杆1上脱落。
23.所述卡位段5底部的形状为半球形，所述橡胶头内的孔6的形状与连接段4和卡位段5的形状相匹配。当橡胶头上孔6的形状与连接段4和卡位段5形状相匹配时，那么孔6也就成为了上部开口小，孔6内尺寸大的形状。孔6的这种形状会使孔6的开口部分抵靠在连接段4上，而连接段4 的直径小于卡位段5的直径，因此孔6的开口部分会从上侧抵靠在卡位段5 上，放置卡位段5从孔6中脱离。由于橡胶头2上孔6的开口直径比卡位段5的直径小，因此在卡位段5插入到孔6内的过程；或者卡位段5从孔6 中退出的过程都会使孔6的开口部分沿径向向外变形，而在锁紧螺母3的锥形面7的作用下，橡胶头2会沿径向向内变形。所以在锁紧螺母3和孔6 开口形状的双重作用下，可以对橡胶头2进行进一步地固定，防止橡胶头2 的脱落。在孔6的开口部分抵靠在卡位部的上侧时，不仅仅可以防止橡胶头2向下脱落，还可以防止橡胶头2沿水平方向摆动。当橡胶头2在打磨抛光过程中受到水平方向的阻力时，橡胶头2会朝水平方向发生摆动，橡胶头2在朝水平方向上摆动时，其摆动方向另一侧的顶部会向下活动。而此时橡胶头2上的孔6开口部分是抵靠在卡位部上的，因此橡胶头2顶部的任意一处都无法向下移动，使得橡胶头2无法摆动。并且卡位部和连接部插入到橡胶头2内，都可以从内部对橡胶头2进行支撑。所以在橡胶头2 内部包含有卡位部和连接部的部分几乎无法水平摆动，那么下侧的部分即使能够沿水平方向摆动，也会因为摆动区域小而不会影响到橡胶头2与抛光杆1的连接，不会导致橡胶头2的松动和脱落。
24.所述橡胶头2的底端为半球形，所述橡胶头2的顶端为圆柱形，以所述抛光杆1与连接段4连接的端面为下端面，所述橡胶头2顶端抵靠在抛光杆1的下端面上。所述橡胶头2的顶端抵靠在抛光杆1的下端面上，在橡胶头2打磨抛光时，橡胶头2会受到向上的反作用力，此时抛光杆1的下端面会对橡胶头2起到支撑作用，确保橡胶头2位置的稳定性。
25.优选地，所述橡胶头2圆柱形部分和半球形部分的直径相同，所述橡胶筒的直径不大于抛光杆1杆体的直径。橡胶头2的直径不大于抛光杆1 杆体的直径，是便于锁紧螺母3套在橡胶头2上然后与抛光杆1杆体连接。若橡胶头2的直径小于或等于抛光杆1杆体的直径，那么橡胶头2不会对锁紧螺母3造成阻挡，使得锁紧螺母3的螺纹部分8可以顺利套在橡胶头2 上并从橡胶头2上穿过。
26.所述锥形面7底端的直径小于橡胶头2的直径，所述锥形面7顶端的直径不小于橡胶头2的直径。所述锥形面7用于从圆周方向挤压橡胶头2 用的，因此需要锥形面7底端的直径小于橡胶头2的直径，才能确保锥形面7能够起到对橡胶头2的挤压套紧作用。而锥形面7的顶端不小于橡胶头2的直径，则可以使橡胶头2更容易进入到锥形面7内，使锁紧螺母3 的螺纹部分8能够轻松顺利地套在抛光杆1底端的螺纹上。
27.在图4所示的实施例中，所述锥形面7的顶端与螺纹部分8之间存在一个台阶。而在其它的实时方式中，所述锥形面7的顶端直径可以也等于螺纹部分8的直径。