一种视窗架固定装置以及蒸镀设备的制作方法

1.本技术涉及蒸镀设备技术领域，尤其涉及的是一种视窗架固定装置以及蒸镀设备。


背景技术：

2.蒸镀设备是半导体器件、led面板、oled面板行业的成膜设备，常见的有电子束式、热阻式等蒸镀设备，包括用于蒸镀的蒸镀内腔，以及关闭或开启蒸镀内腔的腔门，腔门包括腔门，以及开设在腔门上的腔门观察通道，操作者可以透过腔门观察通道看到蒸镀内腔中的蒸镀情况，在腔门观察通道内设置有视窗架，通过视窗架观察成膜过程中靶源的消耗情况。
3.但现有蒸镀设备的视窗架都只是放置在腔门观察通道内，腔门观察通道朝向蒸镀内腔的一侧为内侧开口，由于无装置将视窗架进行固定，在生产的过程中频繁的关开腔门，腔门观察通道内的视窗架受力会朝向腔门观察通道的内侧开口的外移动，当视窗架突出于腔门观察通道的内侧开口时，与蒸镀内腔中的镀锅运动干涉，导致晶圆(wafer)掉落，甚至整个镀锅掉落；如果视窗架完全掉出腔门观察通道的内侧开口，掉在蒸镀内腔中的靶源上，导致靶源污染，整锅晶圆报废。
4.因此，现有技术还有待于改进和发展。


技术实现要素：

5.鉴于上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种视窗架固定装置以及蒸镀设备，解决现有技术中的视窗架在腔门观察通道内限位不牢固而移出腔门观察通道，导致晶圆的蒸镀过程受到影响的问题。
6.本技术的技术方案如下：
7.一种视窗架固定装置，包括用于设置在腔门的内侧且连接到腔门上的架体，架体上设有用于将视窗架限制在腔门的腔门观察通道内的限位部。
8.通过上述方案，架体连接到腔门的内侧，腔门上开设有腔门观察通道，将限位部设置在腔门观察通道的内侧，再通过限位部对视窗架进行限位，使视窗架限位于腔门观察通道内，当腔门观察通道内的视窗架朝向腔门观察通道的内侧受力的时候，由于限位部在内侧的限位而阻挡视窗架的移动，从而使视窗架稳定的安装在腔门观察通道的内部，而不会从腔门观察通道的内侧开口突出或移出。
9.可选地，限位部位于架体的端部且通过弯折形成。
10.通过上述方案，通过弯折成型限位部，成型效率快，生产成本低，结构简单实用。
11.可选地，限位部包括：
12.第一弯折板，用于设置在视窗架的侧壁外且沿视窗架的外侧壁远离腔门观察通道的方向延伸；
13.第二弯折板，用于抵挡视窗架的外壳的端面；
14.第一弯折板设置在架体和第二弯折板之间，第一弯折板和第二弯折板呈“l”形或“v”形。
15.通过上述方案，“l”形或“v”形的结构可以对视窗架进行限位，第二弯折板朝向腔门观察通道的一侧可以用于抵挡视窗架的内侧端面，当视窗架有向腔门观察通道的内侧开口移出的趋势时，会抵靠到第二弯折板上，从而不会朝向内侧移动，使视窗架固定在腔门观察通道内。
16.可选地，限位部还包括：
17.第三弯折板，用于设置在视窗架的侧壁内侧，且沿视窗架的内侧壁朝向腔门观察通道的方向延伸，第三弯折板设置在第二弯折板远离第一弯折板的一端上；
18.第一弯折板、第二弯折板和第三弯折板之间形成限位槽。
19.通过上述方案，由于视窗架的外轮廓呈圆环形，通过设置限位槽使视窗架的内侧边缘能卡嵌在限位槽中，限位槽就能对视窗架进行卡嵌限位，使视窗架不会移出限位槽，这样就能使视窗架稳定的固定在限位槽和视窗架内，视窗架不能移动。
20.可选地，第三弯折板的端部延伸到腔门观察通道内，第一弯折板位于腔门观察通道外。
21.通过上述方案，第一弯折板、第二弯折板和第三弯折板通过弯折就能形成的限位槽，且限位槽在与视窗架进行连接时，第一弯折板位于视窗架的上方，可以对视窗架凸出于腔门观察通道的内侧开口的部分进行避空，从而使视窗架的内侧端面更易被限位于限位槽内。而且弯折结构简单，便于生产制造。第三弯折板朝向腔门观察通道延伸一预设长度，第三折弯板作为限位槽的下内壁面与视窗架有更大的接触面，可以使视窗架在限位槽内的限位更牢固，更长的限位长度使视窗架不易松动。
22.可选地，架体上设有用于卡接到腔门上的卡柱的卡孔。
23.通过上述方案，直接通过卡孔使架体可以套设在卡柱上，连接结构简单，不需要对腔门进行较大的改动，实用性强。
24.可选地，卡孔和限位部分别设置在架体的两端。
25.可选地，架体沿腔门的内壁并沿远离腔门观察通道的方向延伸。
26.通过上述方案，延伸的架体可以在腔门上远离腔门观察通道的位置与腔门进行连接固定，避免在靠近腔门观察通道的位置设置卡柱，从而影响腔门观察通道位置的结构强度。
27.基于相同的构思，本技术提出的一种蒸镀设备，包括腔门、观察窗、视窗架和如上的视窗架固定装置，腔门上设置有腔门观察通道，观察窗设置在腔门的外侧且固定在腔门观察通道上，视窗架安装在到腔门观察通道内，视窗架固定装置设置在腔门的内侧且固定到腔门上，限位部将视窗架限制在腔门观察通道内。
28.通过上述方案，视窗架固定装置将视窗架能稳定的安装在腔门观察通道的内部，使视窗架无法移动，在生产的过程中频繁的关开腔门，避免了视窗架突出或掉出导致的各种问题。
29.可选地，腔门的内壁上设置有卡柱，卡柱上背离腔门的一端具有卡柱头，卡柱头的直径大于架体上的卡孔的直径。
30.通过上述方案，腔门的卡柱的卡柱头的直径大于卡孔直径，从而可以使架体不会
从卡柱上脱离，如果卡柱头直接抵靠到架体上，可以直接对架体进行固定。形成简单的固定结构，增强实用性。
31.有益效果：本技术的视窗架固定装置以及蒸镀设备，通过架体连接到腔门的内壁上，再通过限位部对视窗架限位，使视窗架无法移动，视窗架能稳定的安装在腔门观察通道的内部，而不会从腔门观察通道的内侧突出或移出；避免了视窗架突出或移出腔门观察通道时所导致的晶圆掉落、镀锅掉落、靶源污染和整锅晶圆报废的各种问题。
附图说明
32.图1为本技术实施例的一种视窗架固定装置的结构示意图；
33.图2为本技术实施例的一种视窗架固定装置的一种限位部的剖视图；
34.图3为本技术实施例的一种视窗架固定装置的另一种限位部的左视图；
35.图4为本技术实施例的一种蒸镀设备的腔门的局部剖视图；
36.图5为本技术实施例的一种蒸镀设备的腔门的局部的主视图。
37.图中各标号：100、视窗架固定装置；110、架体；121、卡孔；130、限位部；131、限位槽；132、第一弯折板；133、第二弯折板；134、第三弯折板；135、限位台阶；200、腔门；210、腔门观察通道；211、观察窗；220、卡柱；300、视窗架；310、视窗玻璃。
具体实施方式
38.本技术提供了一种视窗架固定装置，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
39.实施例一
40.如图1、图4所示，本实施例提出一种视窗架固定装置100，用于将视窗架300安装在腔门200上开设的腔门观察通道210内，腔门200作为腔门的主体结构用于对蒸镀设备的蒸镀内腔进行开启和关闭，为方便结构描述，以朝向蒸镀内腔的一侧为内侧，以朝向腔门外的一侧为外侧。腔门观察通道210开设在腔门200上，沿内外方向贯通腔门200，相应的腔门观察通道210的外侧安装有观察窗211，腔门观察通道210连通蒸镀内腔的一侧为内侧开口，视窗架300位于腔门观察通道210内，其上设置有镜子，通过镜子可以便于操作者观察蒸镀内腔中的靶源。
41.如图1、图4所示，本实施例中的视窗架固定装置100具体包括：架体110，以及限位部130。架体110连接到腔门200的内侧；限位部130设置在架体110上，限位部130位于腔门观察通道210的内侧开口处并用于限位视窗架300，以使视窗架300限位于腔门观察通道210内。架体110连接到腔门200上朝向蒸镀内腔的一侧(内侧)，通过架体110朝向腔门观察通道210的方向延伸设置，从而将限位部130设置到腔门观察通道210的内侧开口处，以实现将视窗架300限位于腔门观察通道210内，当腔门观察通道210内的视窗架300朝向腔门观察通道210的内侧开口受力的时候，由于限位部130在内侧开口处的限位而阻挡视窗架300的移动，从而使视窗架300稳定的安装在腔门观察通道210的内部，而不会从内侧开口突出或移出。
42.如图1、图2所示，本实施例中的架体110上设置有卡孔121，卡孔121用于连接在腔门200的卡柱220上。以将视窗架固定装置100沿上下方向设置在腔门200的内壁上为例，进
行结构说明。如图4所示，卡孔121设置在架体110的上端，直接通过卡孔121使架体110可以套设在腔门200的卡柱220上，从而使架体110不会从卡柱220上脱离，连接结构简单，不需要对腔门200进行较大的改动，实用性强。
43.如图1、图2所示，本实施例的卡孔121和限位部130分别设置在架体110的两端，架体110沿腔门的内壁并沿远离腔门观察通道的方向延伸，即架体110在上下方向延伸预设长度；架体110可以直接采用板材进行加工，成本低，工艺简单。通过延伸的架体的一端进行开口并与卡柱进行配合连接，从而可以在腔门200上远离腔门观察通道210的位置对架体110进行固定，避免在靠近腔门观察通道210的位置设置卡柱220，从而影响腔门观察通道210位置的结构强度。
44.如图1、图3所示，一种限位部130的具体结构中，限位部130可以只包括：第一弯折板132，第二弯折板133。第一弯折板132用于设置在视窗架300的侧壁外，第一弯折板132沿视窗架300的外侧壁远离腔门观察通道210的方向进行延伸设置；具体为第一弯折板132的一端连接在架体110上，且另一端背离架体110延伸预定长度；第二弯折板133用于抵挡视窗架的外壳的端面，具体为第二弯折板133一端连接在第一弯折板132上，且与第一弯折板132之间呈“l”形或“v”形，“l”形或“v”形的结构形成限位台阶135，“l”形或“v”形的结构用于抵靠视窗架300的内侧端面。通过限位台阶135也可以对视窗架300进行限位，第二弯折板133朝向腔门观察通道210的一侧可以用于抵挡视窗架300的内侧端面，当视窗架300有向腔门观察通道210的内侧开口移出的趋势时，会抵靠到限位台阶135上，从而使视窗架300不会朝向蒸镀内腔移动，这样通过限位台阶135也将视窗架300固定在腔门观察通道210内。
45.如图1、图2、图4所示，另一种限位部130的具体结构中，本结构中的限位部130在第一种限位部包括第一弯折板132和第二弯折板133的基础上，增加第三弯折板134。第三弯折板134用于设置在视窗架300的侧壁内侧，且沿视窗架300的内侧壁朝向腔门观察通道的方向延伸。具体为第三弯折板134设置在第二弯折板133远离第一弯折板132的一端上，第一弯折板132一端连接在架体110上，且另一端背离架体110延伸预定长度，第一弯折板132沿水平方向延伸。第二弯折板133一端连接在第一弯折板132上，并与第一弯折板132垂直设置，第二弯折板133沿上下方向延伸。第三弯折板134连接在第二弯折板133上，并与第一弯折板132平行设置，第三弯折板134沿水平方向延伸。第一弯折板132、第二弯折板133和第三弯折板134之间形成上述限位槽131。限位槽131的开口朝向腔门观察通道210的内侧开口，并用于套设视窗架300的内侧边缘上。限位槽131与腔门观察通道210之间形成对视窗架300的限位空间，将视窗架300限位于该限位空间内。由于视窗架300的外轮廓呈圆环形，通过设置限位槽131使视窗架300的内侧开口能卡嵌在限位槽131中，通过限位槽131就能对视窗架300进行卡嵌限位，使视窗架300不会移出限位槽131，这样就能使视窗架300稳定的固定在限位槽131和视窗架300内，视窗架300不能移动。
46.本实施例中的第三弯折板134的端部延伸到腔门观察通道210内，第一弯折板132位于腔门观察通道210外。因此，第三弯折板134朝向腔门观察通道210的一端凸出于第一弯折板132朝向腔门观察通道210的一端。具体为第三弯折板134沿水平方向的长度要长于第一弯折板132沿水平方向的长度，因此第三弯折板134朝向腔门观察通道210延伸一预设长度，第三折弯板作为限位槽131的下内壁面与视窗架300有更大的接触面，可以使视窗架300在限位槽131内的限位更牢固，更长的限位长度使视窗架300不易松动。
47.如图1、图2、图3所示，本实施例中的限位部130与架体110一体成型，架体110的下端弯折形成限位部130。通过弯折成型限位部130，成型效率快，生产成本低，结构简单实用。整个视窗架固定装置100采用不锈钢材料，起到防锈蚀的效果。
48.实施例二
49.如图4、图5所示，基于相同的构思，本实施例还提出的一种蒸镀设备。包括：腔门200，开设在腔门200上的腔门观察通道210，设置在腔门观察通道210的外侧的观察窗211，位于腔门观察通道210内的视窗架300，以及如上实施例一中的视窗架固定装置100。腔门观察通道210呈圆形，视窗架300也可以采用圆柱状结构，视窗架固定装置100连接在腔门200的内侧且固定在腔门200上，并将视窗架300限位在腔门观察通道210内。视窗架固定装置100将视窗架300能稳定的安装在腔门观察通道210的内部，使视窗架300无法移动，在生产的过程中频繁的关开腔门，避免了视窗架300突出或掉出导致的各种问题。
50.腔门200的内壁上设置有卡柱220，卡柱220上背离腔门200的一端具有卡柱头，腔门200的卡柱220的卡柱头的直径大于架体110上卡孔121直径，当卡孔121与卡柱220相配连接时，使架体110不会从卡柱220上脱离，如果卡柱头直接抵靠到架体110上，可以直接对架体110进行固定。连接结构简单，不需要对腔门200进行较大的改动，实用性强。卡柱220可以与腔门200采用螺接的形式进行可拆卸连接，或者也可以通过焊接进行直接固定。
51.如图4所示，本实施例中的视窗架300内设置有视窗玻璃310，视窗玻璃310用于观察靶源。视窗玻璃310可以将蒸镀内腔中上方或/和下方直射而看不到的地方进行反射，从而使观察者观察到更大的蒸镀内腔的位置，从而固定在腔门观察通道210内的视窗玻璃310方便操作者观察靶源。
52.本技术的视窗架固定装置以及蒸镀设备，其中通过架体110连接到腔门200上，再通过限位部130对视窗架300限位，使视窗架300无法移动，视窗架300能稳定的安装在腔门观察通道210的内部，而不会从内侧开口突出或移出；避免了视窗架300突出或移出腔门观察通道210的内侧开口时所导致的晶圆掉落、镀锅掉落、靶源污染和整锅晶圆报废的各种问题。
53.应当理解的是，本技术的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本技术所附权利要求的保护范围。