附着板、附着板组件以及真空镀膜装置的制作方法

1.本实用新型涉及光伏镀膜技术领域，特别涉及一种附着板、附着板组件以及真空镀膜装置。


背景技术：

2.在光伏镀膜行业中，需要在真空中通过高温等离子束击打靶材促使其挥发成微小粒子，附着在硅片表面上，从而实现硅片表面的镀膜。此种微小粒子挥发游离的方向并不固定，而是向四面八方扩散，直至附着于某些物体表面上。
3.相关技术中，一般会在真空腔内设置附着板，然而，传统的附着板一般是通过多颗螺栓直接固定在真空腔的腔壁上，当附着板受热后，由于附着板被多颗螺钉固定死，附着板中部会出现受热翘起的情况，可靠性较低。


技术实现要素：

4.本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种附着板，能够降低附着板中部出现受热翘起的风险，可靠性较高。
5.本实用新型还提出一种具有上述附着板的附着板组件。
6.本实用新型还提出一种具有上述附着板的真空镀膜装置。
7.根据本实用新型第一方面实施例的附着板，包括：附着板本体；以及支撑件，与所述附着板本体连接，所述支撑件设有第一挂孔、以及与第一挂孔沿横向间隔设置的第二挂孔，所述第一挂孔具有沿横向间隔排布的第一侧壁以及第二侧壁，所述第二挂孔具有沿横向间隔排布的第三侧壁以及第四侧壁；其中，所述第一挂孔用于供第一悬挂件穿设，且所述第一侧壁以及所述第二侧壁均与所述第一悬挂件接触，所述第二挂孔用于供第二悬挂件穿设，且所述第三侧壁以及所述第四侧壁均与所述第二悬挂件相间隔。
8.根据本实用新型实施例的附着板，至少具有如下有益效果：
9.本实用新型的附着板用于挂在真空镀膜装置的真空腔的腔壁上。具体而言，第一悬挂件以及第二悬挂件均固定在真空腔的腔壁上，并且第一悬挂件与第二悬挂件沿横向间隔设置，第一悬挂件穿设于第一挂孔中，第二悬挂件穿设于第二挂孔中，用于实现附着板的安装，附着板的安装操作简单方便。并且，在本实用新型的附着板中，由于第一悬挂件穿设于第一挂孔，并且第一悬挂件与第一挂孔的第一侧壁以及第二侧壁均接触；第二悬挂件穿设于第二挂孔，并且第二悬挂件与第二挂孔的第三侧壁以及第四侧壁均相间隔，如此，在第一悬挂件的作用下，附着板的位置能够被固定，并且附着板不会沿横向发生偏移，而第二悬挂件与附着板的配合是活动式，即使附着板本体因受热发生变形，附着板本体与第二悬挂件的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
10.根据本实用新型的一些实施例，所述第一侧壁与所述第二侧壁之间的间距小于所述第三侧壁与所述第四侧壁之间的间距。
11.根据本实用新型的一些实施例，所述的附着板还包括把手，所述附着板本体上设有安装孔，所述把手可拆卸地穿设于所述安装孔。
12.根据本实用新型的一些实施例，所述附着板本体为波浪状结构。
13.根据本实用新型第二方面实施例的附着板组件，包括多个如上所述的附着板，多个所述附着板呈阵列式排布。
14.根据本实用新型实施例的附着板组件，至少具有如下有益效果：
15.本实用新型的附着板组件用于挂在真空镀膜装置的真空腔的腔壁上。具体而言，第一悬挂件以及第二悬挂件均固定在真空腔的腔壁上，并且第一悬挂件与第二悬挂件沿横向间隔设置，第一悬挂件穿设于第一挂孔中，第二悬挂件穿设于第二挂孔中，用于实现附着板的安装，附着板的安装操作简单方便。并且，在本实用新型的附着板中，由于第一悬挂件穿设于第一挂孔，并且第一悬挂件与第一挂孔的第一侧壁以及第二侧壁均接触；第二悬挂件穿设于第二挂孔，并且第二悬挂件与第二挂孔的第三侧壁以及第四侧壁均相间隔，如此，在第一悬挂件的作用下，附着板的位置能够被固定，并且附着板不会沿横向发生偏移，而第二悬挂件与附着板的配合是活动式，即使附着板本体因受热发生变形，附着板本体与第二悬挂件的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
16.根据本实用新型的一些实施例，所述附着板包括沿横向相对设置的第一侧部以及第二侧部；
17.在沿横向相邻排布的两个所述附着板中，其中一个所述附着板的所述第一侧部与另一个所述附着板的所述第二侧部相叠。
18.根据本实用新型的一些实施例，在沿横向相邻排布的两个所述附着板中，其中一个所述附着板的所述第一侧部与另一个所述附着板的所述第二侧部相贴合或者相间隔。
19.根据本实用新型的一些实施例，所述的附着板组件还包括遮挡件，所述遮挡件用于遮挡沿竖向相邻排布的两个所述附着板之间的间隙。
20.根据本实用新型第三方面实施例的真空镀膜装置，具有真空腔，且所述真空镀膜装置包括如上所述的附着板；
21.所述真空腔的腔壁上设置有第一悬挂件、以及与所述第一悬挂件沿横向间隔设置的第二悬挂件，所述第一挂孔供所述第一悬挂件穿设，且所述第一侧壁以及所述第二侧壁均与所述第一悬挂件接触，所述第二挂孔供所述第二悬挂件穿设，且所述第三侧壁和所述第四侧壁均与所述第二悬挂件相间隔。
22.根据本实用新型实施例的真空镀膜装置，至少具有如下有益效果：
23.本实用新型的附着板用于挂在真空镀膜装置的真空腔的腔壁上。具体而言，第一悬挂件以及第二悬挂件均固定在真空腔的腔壁上，并且第一悬挂件与第二悬挂件沿横向间隔设置，第一悬挂件穿设于第一挂孔中，第二悬挂件穿设于第二挂孔中，用于实现附着板的安装，附着板的安装操作简单方便。并且，在本实用新型的附着板中，由于第一悬挂件穿设于第一挂孔，并且第一悬挂件与第一挂孔的第一侧壁以及第二侧壁均接触；第二悬挂件穿设于第二挂孔，并且第二悬挂件与第二挂孔的第三侧壁以及第四侧壁均相间隔，如此，在第一悬挂件的作用下，附着板的位置能够被固定，并且附着板不会沿横向发生偏移，而第二悬挂件与附着板的配合是活动式，即使附着板本体因受热发生变形，附着板本体与第二悬挂
件的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
24.根据本实用新型的一些实施例，所述第一悬挂件设有第一限位槽，所述第一挂孔的孔壁穿设于所述第一限位槽内；和/或，所述第二悬挂件设有第二限位槽，所述第二挂孔的顶壁穿设于所述第二限位槽内。
25.本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
26.下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：
27.图1为本实用新型一种实施例的附着板的结构示意图；
28.图2为本实用新型一种实施例的支撑件的结构示意图；
29.图3为本实用新型一种实施例的附着板的竖向剖视结构示意图；
30.图4为本实用新型一种实施例的附着板的横向剖视结构示意图；
31.图5为图4中a处的放大图；
32.图6为图4中b处的放大图；
33.图7为本实用新型一种实施例的第一悬挂件的结构示意图；
34.图8为本实用新型一种实施例的第二悬挂件的结构示意图；
35.图9为本实用新型一种实施例的附着板组件的结构示意图；
36.图10为本实用新型一种实施例的附着板组件的局部结构示意图一；
37.图11为本实用新型一种实施例的附着板组件的局部结构示意图二。
38.附图标号：
39.10、附着板组件；
40.100、附着板；110、附着板本体；120、支撑件；121、第一挂孔；1211、第一侧壁；1212、第二侧壁；122、第二挂孔；1221、第三侧壁；1222、第四侧壁；130、把手；141、第一侧部；142、第二侧部；
41.200、真空腔的腔壁；
42.300、第一悬挂件；310、第一限位槽；
43.400、第二悬挂件；410、第二限位槽；
44.500、遮挡件。
具体实施方式
45.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
46.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是
为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
47.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
48.如图1所示，本实用新型一实施例涉及的附着板100，包括附着板本体110以及支撑件120，支撑件120与附着板本体110连接。
49.其中，附着板本体110用于供微小粒子附着，支撑件120用于实现附着板100的安装。
50.如图2所示，支撑件120设有第一挂孔121、以及与第一挂孔121沿横向间隔设置的第二挂孔122，第一挂孔121具有沿横向间隔排布的第一侧壁1211以及第二侧壁1212，第二挂孔122具有沿横向间隔排布的第三侧壁1221以及第四侧壁1222。
51.可以理解的是，第一挂孔121与第二挂孔122可以在同一高度沿横向间隔设置，也可以在不同高度沿横向间隔设置。
52.如图2、图4、图5所示，其中，第一挂孔121用于供第一悬挂件300穿设，且第一挂孔121的第一侧壁1211以及第二侧壁1212均与第一悬挂件300接触；
53.如图2、图4、图6所示，第二挂孔122用于供第二悬挂件400穿设，且第二挂孔122的第三侧壁1221以及第四侧壁1222均与第二悬挂件400相间隔。
54.如此，在第一悬挂件300穿设于第一挂孔121，第二悬挂件400穿设于第二挂孔122的情况下，可以将整个附着板100挂起，并且，利用第一悬挂件300与第二悬挂件400一起挂着附着板100，能够提高附着板100的稳定性，降低附着板100发生倾斜翻转的风险。
55.如图1至图6所示，本实用新型的附着板100用于挂在真空镀膜装置的真空腔的腔壁200上。具体而言，第一悬挂件300以及第二悬挂件400均固定在真空腔的腔壁200上，并且第一悬挂件300与第二悬挂件400沿横向间隔设置，第一悬挂件300穿设于第一挂孔121中，第二悬挂件400穿设于第二挂孔122中，用于实现附着板100的安装，附着板100的安装操作简单方便。并且，本实用新型的附着板100中，由于第一悬挂件300穿设于第一挂孔121，并且第一悬挂件300与第一挂孔121的第一侧壁1211以及第二侧壁1212均接触；第二悬挂件400穿设于第二挂孔122，并且第二悬挂件400与第二挂孔122的第三侧壁1221以及第四侧壁1222均相间隔，如此，在第一悬挂件300的作用下，附着板100的位置能够被固定，并且附着板100不会沿横向发生偏移，而第二悬挂件400与附着板100的配合是活动式的，即使附着板本体110因受热发生变形，附着板本体110与第二悬挂件400的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板100被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
56.如图2、图5、图6所示，需要说明的是，在本实施例中，第一挂孔121的底部以及第二挂孔122的底部均为敞开结构，如此，可以便于附着板100的悬挂安装操作。当然，在其他实施例中，第一挂孔121的底部以及第二挂孔122的底部也可以是封闭结构，只需要保证第一
悬挂件300能够穿设进第一挂孔121，第二悬挂件400能够穿设于第二挂孔122后，第一悬挂件300与第一挂孔121的第一侧壁1211以及第二侧壁1212均接触，第二悬挂件400与第二挂孔122的第三侧壁1221以及第四侧壁1222均相间隔即可。
57.可以理解的是，第一挂孔121的第一侧壁1211与第二侧壁1212之间的间距小于第二挂孔122第三侧壁1221与第四侧壁1222之间的间距。如此，在第一悬挂件300与第二悬挂件400的结构、大小相同的情况下，当第一悬挂件300穿设于第一挂孔121，且第一悬挂件300与第一挂孔121的第一侧壁1211以及第二侧壁1212均接触时，第二悬挂件400穿设于第二挂孔122后，第二悬挂件400与第二挂孔122的第三侧壁1221以及第四侧壁1222能够相间隔。
58.如图1所示，进一步地，在本实施例中，支撑件120的数量为多个，多个支撑件120沿竖向间隔设置于附着板本体110上，如此，可以进一步提高附着板100被安装的稳定性。
59.可以理解的是，支撑件120与附着板本体110固定连接，支撑件120与附着板本体110可以通过焊接的方式，或者粘接的方式固定。
60.如图1所示，在其中一个实施例中，附着板100还包括把手130，附着板本体110上设有安装孔，把手130可拆卸地穿设于安装孔。如此，借助于把手130，有利于附着板100的安装，并且，在附着板100安装完成后，可以将把手130拆下。
61.如图3所示，需要说明的是，支撑件120用于设置在附着板本体110的后侧，把手130用于设置在附着板本体110的前侧，如此，有利于借助把手130，完成附着板100的安装。
62.如图1所示，在其中一个实施例中，附着板本体110为波浪状结构。一方面，波浪状结构增强了附着板本体110的强度，即使附着板本体110的厚度很薄，喷粗砂时，也不易变形；另一方面，波浪状结构的附着板本体110也增加了附着板本体110的附着面积，附着效果更好。
63.需要说明的是，在图1中，仅仅示出了附着板本体110两侧为波浪状结构，而具体到本实施例中，整个附着板本体110为波浪状结构。当然，在其他实施例中，附着板本体110也可以只在局部设置成波浪状结构。
64.如图9所示，本实用新型一实施例涉及的附着板组件10，包括多个附着板100，多个附着板100呈阵列式排布。如此，通过多个附着板100，可以保证将真空腔的腔壁200进行全覆盖。
65.如图10所示，附着板100包括沿横向相对设置的第一侧部141以及第二侧部142。
66.可以理解的是，第一侧部141为附着板本体110的右侧部，第二侧部142为附着板本体110的左侧部。
67.在沿横向相邻排布的两个附着板100中，其中一个附着板100的第一侧部141与另一个附着板100的第二侧部142相叠。如此，在对硅片进行镀膜过程中，能够降低粒子通过沿横向相邻排布的两个附着板100之间的缝隙排出的风险。
68.可以理解的是，在对硅片进行镀膜时，是将硅片放在真空镀膜装置的真空腔内对硅片进行镀膜，而真空腔的腔壁200上安装有上述的附着板组件10。如此，对硅片镀膜时粒子会附着于附着板100上，并且，在对硅片进行镀膜过程中，能够降低粒子通过沿横向相邻排布的两个附着板100之间的缝隙排出的风险。
69.需要说明的是，在沿横向相邻排布的两个附着板100中，其中一个附着板100的第一侧部141与另一个附着板100的第二侧部142可以相贴合，也可以相间隔。
70.如图11所示，在其中一个实施例中，附着板组件10还包括遮挡件500，遮挡件500用于遮挡沿竖向相邻排布的两个附着板100之间的间隙。如此，在对硅片进行镀膜过程中，能够降低粒子通过沿竖向相邻排布的两个附着板100之间的缝隙排出的风险。
71.具体地，遮挡件500用于设置在附着板100的前侧，如此，可以避免粒子进入至沿竖向相邻排布的两个附着板100之间的缝隙内。
72.如图4至图6所示，本实用新型一实施例涉及的真空镀膜装置，其具有真空腔，且真空镀膜装置包括如上所述的附着板100，真空腔的腔壁200上设置有第一悬挂件300、以及与第一悬挂件300沿横向间隔设置的第二悬挂件400，第一挂孔121用于供第一悬挂件300穿设，且第一侧壁1211以及第二侧壁1212均与第一悬挂件300接触，第二挂孔122用于供第二悬挂件400穿设，且第三侧壁1221和第四侧壁1222均与第二悬挂件400相间隔。
73.本实用新型的附着板100用于挂在真空镀膜装置的真空腔的腔壁200上。具体而言，第一悬挂件300以及第二悬挂件400均固定在真空腔的腔壁200上，并且第一悬挂件300与第二悬挂件400沿横向间隔设置，第一悬挂件300穿设于第一挂孔121中，第二悬挂件400穿设于第二挂孔122中，用于实现附着板100的安装，附着板100的安装操作简单方便。并且，在本实用新型的附着板100中，由于第一悬挂件300穿设于第一挂孔121，并且第一悬挂件300与第一挂孔121的第一侧壁1211以及第二侧壁1212均接触；第二悬挂件400穿设于第二挂孔122，并且第二悬挂件400与第二挂孔122的第三侧壁1221以及第四侧壁1222均相间隔，如此，在第一悬挂件300的作用下，附着板100的位置能够被固定，并且附着板100不会沿横向发生偏移，而第二悬挂件400与附着板100的配合是活动式，即使附着板本体110因受热发生变形，附着板本体110与第二悬挂件400的相对位置能够发生偏移，不会出现类似于附着板100被螺栓固定而出现中间受热翘起的情况，可靠性更高。
74.如图4至图8所示，需要说明的是，第一悬挂件300以及第二悬挂件400均为悬挂柱，第一悬挂件300以及第二悬挂件400均穿设于真空腔的腔壁200。
75.结合图5与图7，第一悬挂件300设有第一限位槽310，第一挂孔121的孔壁穿设于第一限位槽310内。第一限位槽310用于限制附着板100前后动，提高附着板100安装的稳定性。
76.结合图6与图8，进一步地，第二悬挂件400设有第二限位槽410，第二挂孔122的顶壁穿设于第二限位槽410内。第二限位槽410同样用于限制附着板100前后动，进一步提高附着板100安装的稳定性。
77.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
78.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。