一种真空溅镀用新型防着板的制作方法

1.本实用新型涉真空溅镀防着技术领域，具体是一种真空溅镀用新型防着板。


背景技术：

2.真空溅镀是一种重要的物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)成膜方法，其原理是利用电场加速电子，使加速后的电子与通入的氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子。氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，使得呈中性的靶原子(或分子)沉积在目标基板上成膜，而最终达到对基板表面镀膜的目的。然而，在上述真空溅镀的过程中，溅射出的靶材原子(或分子)或大尺寸的颗粒，并不会完全沉积在目标基板表面，部分靶材会不可避免地飞向溅镀机的内壁表面，影响其清洁，从而影响后续成膜质量。为此，在溅镀机的结构中通常需要加入防着板。
3.现有技术中申请号为cn202021666449.9的一种分体式防着板，包括至少两个防着单元，所述防着单元为方形，所述防着单元包括由上至下设置的防着层和增强层，所述防着层和增强层可拆卸式连接，每个增强层的长和/或宽边上设置有至少一组凸部和凹部，每组凸部和凹部位于同一水平高度上，相邻增强层之间的凸部与凹部可拆卸式连接，通过设置包括防着层和增强层的防着单元来增强防着板的力学、热学性能等，并延长防着板的使用寿命，降低使用成本；通过在增强层设置凸部和凹部，将相邻的防着单元连接成为一个可拆卸的整体，能够在防着板的局部防着效果不合格时，进行有针对性的局部更换，从而降低使用成本，但是，不能调节凸部的凸出高度和凸出面积，从而难以满足不同凹凸程度的防着使用处理，从而影响防着的效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种真空溅镀用新型防着板，以解决现有技术中不能调节凸部的凸出高度和凸出面积，从而难以满足不同凹凸程度的防着使用处理，从而影响防着的效率的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空溅镀用新型防着板，包括防着基板，所述防着基板内部一侧开设有凹槽，所述凹槽内部通过弹簧弹性滑动设置有支撑板，所述防着基板一侧开设有通孔，所述通孔内插设有防着凸板，且多个防着凸板垂直安装在支撑板一侧，所述防着基板一侧安装有下支架，所述下支架中部安装有调节螺栓，且支撑板一侧通过调节螺栓进行调节限位。
6.进一步的，所述防着凸板一端设置有尖端，且尖端内部开设有散热孔。
7.进一步的，所述防着基板一侧两端安装有定位支脚，且定位支脚上开设有定位孔。
8.进一步的，所述防着基板一侧设置有增强层，所述通孔在防着基板内部设置成条形孔。
9.进一步的，所述防着凸板一侧开设有定位槽，且防着凸板通过固定螺栓安装在支撑板一侧。
10.进一步的，所述尖端设置成倒置v字形，所述防着凸板的高度大于防着基板的厚度。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型通过防着基板内部弹性插设有的防着凸板和支撑板，且支撑板一侧通过调节螺栓进行调节限位，使得通过旋转调节螺栓，能够调节防着凸板的凸出高度和凸出面积，从而满足不同凹凸程度的防着基板一侧防着使用处理，有利于提高防着的效率。
13.2、本实用新型通过防着凸板一端设置有尖端，尖端设置成倒置v字形，使得增大了防着基板一侧的防着面积，有利于提高防着效率，而且尖端内部开设有散热孔形成镂空状，使得便于对防着凸板一端内部进行散热处理，同时有利于减少生产成本的投入。
14.3、本实用新型而且防着凸板一侧开设有定位槽，且防着凸板通过固定螺栓安装在支撑板一侧，使得便于对防着凸板一侧进行拆装定位处理，而且一个防着凸板损坏后可进行单片更换，更换局域性更强，有利于提高使用寿命。
附图说明
15.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
16.图1为本实用新型的整体结构主视图；
17.图2为本实用新型的支撑板和防着凸板结构示意图；
18.图3为本实用新型的支撑板和防着凸板连接结构主剖图图。
19.图中：1、防着基板；2、通孔；3、凹槽；4、定位支脚；5、支撑板；6、防着凸板；7、尖端；8、散热孔；9、固定螺栓；10、调节螺栓；11、弹簧；12、下支架；13、定位槽；14、增强层。
具体实施方式
20.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.请参阅图1，图2，图3，本实用新型实施例中，一种真空溅镀用新型防着板，包括防着基板1，防着基板1内部一侧开设有凹槽3，凹槽3内部通过弹簧11弹性滑动设置有支撑板5，防着基板1一侧开设有通孔2，通孔2内插设有防着凸板6，且多个防着凸板6垂直安装在支撑板5一侧，防着凸板6一端设置有尖端7，且尖端7内部开设有散热孔8，尖端7设置成倒置v字形，使得增大了防着基板1一侧的防着面积，有利于提高防着效率，防着凸板6的高度大于防着基板1的厚度，使得便于对防着凸板6一端内部进行散热处理，同时有利于减少生产成本的投入，防着基板1一侧安装有下支架12，下支架12中部安装有调节螺栓10，且支撑板5一侧通过调节螺栓10进行调节限位，使得通过旋转调节螺栓10，能够调节防着凸板6的尖端7的高度和凸出面积，从而满足不同程度的防着基板1一侧凹凸防着使用处理，有利于提高防着的效率。
22.优选的，防着基板1一侧两端安装有定位支脚4，且定位支脚4上开设有定位孔，便于对防着基板1进行安装安装固定处处理。
23.优选的，防着基板1一侧设置有增强层14，增强层14采用石墨烯-环氧树脂复合材料，便于提高防着基板1一侧的防护性能，通孔2在防着基板1内部设置成条形孔，便于将防着凸板6插设固定在通孔2内。
24.优选的，防着凸板6一侧开设有定位槽13，且防着凸板6通过固定螺栓9安装在支撑板5一侧，使得便于对防着凸板6一侧进行拆装定位处理，而且一个防着凸板6损坏后可进行单片更换，更换局域性更强，有利于提高使用寿命。
25.本实用新型的工作原理及使用流程：通过防着基板1内部弹性插设有的防着凸板6和支撑板5，且支撑板5一侧通过调节螺栓10进行调节限位，使得通过旋转调节螺栓10，能够调节防着凸板6的尖端7的凸出面积，从而满足不同凹凸程度的防着基板1一侧防着使用处理，有利于提高防着的效率；通过防着凸板6一端设置有尖端7，尖端7设置成倒置v字形，使得增大了防着基板1一侧的防着面积，有利于提高防着效率，同时尖端7内部开设有散热孔形成镂空状，使得便于对防着凸板6一端内部进行散热处理，同时有利于减少生产成本的投入。
26.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。