铜盘更换装置的制作方法

1.本实用新型涉及蓝宝石加工技术领域，具体地涉及一种铜盘更换装置。


背景技术：

2.蓝宝石是一种集优良光学性能物理性能和化学性能于一身的独特晶体，是现代工业重要的基础材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体照明(led)、大规模集成电路以及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。
3.随着国内led和半导体的切磨抛加工技术日益成熟，led和半导体不仅对于材料要求，对于所有阶段的加工技术要求都出现了不同阶段的提升瓶颈，由传统的模仿和学习开始慢慢转变为自主研发提升，晶片铜抛温度的控住主要是针对晶片抛光各制程产品在总厚度偏差(ttv)、弯曲度(bow)、翘曲度(warp)、局部厚度偏差(ltv)等参数控制上，再次提升和突破的另一项参数需求。单面硬抛的方式，一方面为了降低晶片的翘曲度，另一方面为了去除晶片表面的损伤层，保障晶片的翘曲度，则需要修复时间长，磨削量多，才能达到保证晶片平坦的目的。由于蓝宝石硬度高、脆性大给材料加工尤其是表面纳米级抛光带来很多困难。为应对光电技术的发展对蓝宝石衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光。
4.现有蓝宝石晶片的具体制作方法为：切片
→
双面研磨
→
倒角
→
清洗
→
退火
→
分选
→
贴片
→
铜抛
→
软抛
→
清洗
→
检测。铜抛作为其中关键的一部，直接影响蓝宝石晶片的产品良率。现有的50d铜抛机铜盘用完需要人工更换，因50d铜抛机铜盘较大较重，需要至少4-5人协助方可将旧铜盘抬下，新铜盘抬起装上，此人工更换过程不仅效率低下，而且人工搬运铜盘有较大受伤风险，还会造成铜盘的损坏等。
5.因此，亟需一种用于蓝宝石铜抛机铜盘更换的辅助装置以解决上述的至少部分问题。


技术实现要素：

6.本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的铜盘更换效率低的问题，提供一种铜盘更换装置，该铜盘更换装置具有能够提高铜盘更换效率的优点。
7.为了实现上述目的，本实用新型一方面提供一种铜盘更换装置，所述铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架、设置于该第一支架上的第二支架以及设置于所述第二支架上的铜盘卡钳组件，所述第二支架能够沿所述第一支架在竖直方向移动，所述铜盘卡钳组件能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳，两个所述铜盘卡钳能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。
8.可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架上的驱动电机，所述驱动电机的输出端传动连接至所述第二支架以能够驱动该第二支架带动所述铜盘卡钳组件沿竖直方向移动。
9.可选地，所述铜盘更换装置包括钢丝绳以及钢丝绳收放装置，所述第一支架的顶部设置有第一滑轮，所述第二支架的顶部设置有第二滑轮，所述钢丝绳从所述钢丝绳收放装置依次绕过所述第一滑轮以及所述第二滑轮延伸并连接于所述第一支架，以能够通过所述钢丝绳收放装置收放所述钢丝绳而使得第二支架随所述第二滑轮在竖直方向移动。
10.可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第二支架上的手轮，所述手轮能够操作为使得所述铜盘卡钳组件沿水平方向移动。
11.可选地，所述铜盘卡钳组件包括相对设置的两个连接件，两个所述连接件能够彼此靠近或远离，所述铜盘卡钳分别通过所述连接件连接于所述第二支架。
12.可选地，所述铜盘更换装置包括两个驱动装置，两个所述驱动装置的输出端分别作用于所述连接件以使得两个所述铜盘卡钳能够彼此靠近或远离。
13.可选地，两个所述铜盘卡钳在彼此相对的一侧分别具有弧形内轮廓。
14.可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架的远离所述第二支架一侧的把手。
15.可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架底部的支腿。
16.可选地，所述支腿的两端分别设置有滚轮。
17.通过上述技术方案，本实用新型中的铜盘卡钳组件能够沿竖直方向和水平方向移动，并且两个铜盘卡钳之间能够彼此靠近或远离，从而使得该铜盘更换装置能够将新铜盘移动至需要更换铜盘的铜抛机旁，并将旧铜盘从铜抛机上拆下。该铜盘更换装置只需1-2人即可完成铜盘的更换，节约生产成本，提高生产效率。
附图说明
18.图1是本实用新型中铜盘更换装置的一种角度示意图。
19.附图标记说明
20.1-第一支架；2-第二支架；3-铜盘卡钳组件；31-铜盘卡钳；32-连接件；4-钢丝绳；5-钢丝绳收放装置；6-第一滑轮；7-手轮；8-把手；9-支腿；10-滚轮。
具体实施方式
21.以下结合附图对本实用新型的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限制本实用新型。在本实用新型中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参照附图所示的方位。
22.本实用新型提供一种铜盘更换装置，参照图1，所述铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架1、设置于该第一支架1上的第二支架2以及设置于所述第二支架2上的铜盘卡钳组件3，所述第二支架2能够沿所述第一支架1在竖直方向移动，所述铜盘卡钳组件3能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳31，两个所述铜盘卡钳31能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。
23.通过上述技术方案，本实用新型中的铜盘卡钳组件3能够沿竖直方向和水平方向移动，并且两个铜盘卡钳31之间能够彼此靠近或远离，从而使得该铜盘更换装置能够将新铜盘移动至需要更换铜盘的铜抛机旁，并将旧铜盘从铜抛机上拆下。该铜盘更换装置只需
1-2人即可完成铜盘的更换，节约生产成本，提高生产效率。
24.在本实用新型的一种实施方式中，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架1上的驱动电机，所述驱动电机的输出端传动连接至所述第二支架2以能够驱动该第二支架2带动所述铜盘卡钳组件3沿竖直方向移动。在另一种实施方式中，所述铜盘更换装置也可以包括气压或液压驱动件，通过气压或液压驱动件传动连接至第二支架2已能够驱动该第二支架2带动所述铜盘卡钳组件3沿竖直方向移动。其中，第一支架1上可以形成有轨道，第二支架2可以沿该轨道竖直移动。
25.作为一种优选实施方式，所述铜盘更换装置包括钢丝绳4以及钢丝绳收放装置5，所述第一支架1的顶部设置有第一滑轮6，所述第二支架2的顶部设置有第二滑轮(未示出)，所述钢丝绳4从所述钢丝绳收放装置5依次绕过所述第一滑轮6以及所述第二滑轮延伸并连接于所述第一支架1，以能够通过所述钢丝绳收放装置5收放所述钢丝绳4而使得第二支架2随所述第二滑轮在竖直方向移动。在该实施方式中，钢丝绳收放装置5可以固定地连接于第一支架1上，钢丝绳收放装置5释放钢丝绳4使得第二滑轮与第一滑轮6之间的钢丝绳长度增加，从而使得第二支架2下降；钢丝绳收放装置5收卷钢丝绳4使得第二滑轮与第一滑轮6之间的钢丝绳长度减少，从而使得第二支架2上升。
26.此外，本实用新型中，所述铜盘更换装置包括设置于所述第二支架2上的手轮7，所述手轮7能够操作为使得所述铜盘卡钳组件3沿水平方向移动。具体地，所述铜盘更换装置可以包括与手轮7同轴连接的丝杆，丝杆的一端连接于手轮7，另一端连接于丝杆端头座，丝杆外侧套设有丝杆螺母，丝杆螺母连接于第二支架2。手轮7转动以使得丝杆转动，进而使得丝杆螺母带动第二支架2移动。
27.进一步地，所述铜盘卡钳组件3包括相对设置的两个连接件32，两个所述连接件32能够彼此靠近或远离，所述铜盘卡钳31分别通过所述连接件32连接于所述第二支架2。更进一步地，所述铜盘更换装置包括两个驱动装置，两个所述驱动装置的输出端分别作用于所述连接件32以使得两个所述铜盘卡钳31能够彼此靠近或远离。其中，驱动装置可以为电机、气缸或液缸驱动件。此外，如图1所示，两个所述铜盘卡钳31在彼此相对的一侧分别具有弧形内轮廓。在一种实施方式中，所述铜盘卡钳31可拆卸地连接于所述连接件32，可以通过更换不同尺寸的铜盘卡钳31来夹持不同尺寸的铜盘。在一种实施方式中，第二支架2可以设置有轨道，连接件32能够沿该轨道水平移动。
28.为了便于铜盘更换装置的移动，在一种实施方式中，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架1的远离所述第二支架2一侧的把手8。此外，所述铜盘更换装置还可以包括设置于所述第一支架1底部的支腿9。进一步地，所述支腿9的两端分别设置有滚轮10，该滚轮10优选为带有刹车和转向。
29.下面通过实施例介绍本实用新型中的铜盘更换装置。
30.驱动装置带动两个铜盘卡钳31向彼此远离的方向移动，并且，钢丝绳收放装置5释放钢丝绳4使得第二支架2下降至需要更换的旧铜盘处，驱动装置带动两个铜盘卡钳31彼此靠近并夹持旧铜盘，钢丝绳收放装置5收卷钢丝绳4使得第二支架2上升，并将旧铜盘放置于规定的位置。重复上述动作，将新铜盘由铜盘卡钳31夹持并转运至需要更换的铜抛机旁，由钢丝绳收放装置5通过铜盘卡钳31将新铜盘升起至铜抛机工作台，通过铜盘卡钳31前后左右位置调整，将新铜盘缓慢放置在铜抛机工作台上，铜盘卡钳31卸压移走。本实用新型中的
铜盘更换装置可用于不同规格的铜盘更换，并只需由1-2人即可完成铜盘的更换，节约生产成本，提高生产效率。
31.以上结合附图详细描述了本实用新型的优选实施方式，但是，本实用新型并不限于此。在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本实用新型所公开的内容，均属于本实用新型的保护范围。