一种真空溅镀用新型防着板的制作方法

1.本实用新型涉及防着板技术领域，具体涉及一种真空溅镀用新型防着板。


背景技术：

2.真空溅镀是由电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜，而最终达到对基片表面镀膜的目的，然而，在上述真空溅镀的过程中，因溅镀过程中，材料源随机方向溅射，为保护腔体内其他结构件避免附着、沉积膜层，需使用防着板将需要保护的表面覆盖，以减少附着沉积。
3.现有的防着板结构简单，不可拆分，在使用一段时间后，由于飞溅出的靶材原子或大尺寸颗粒大多沉积在防着板的中下部，在使用一段时间后，防着板的下部沉积较多的靶材原子或大尺寸颗粒，需要更换防着板，而防着板的上部沉积的靶材原子或大尺寸颗粒较少，防着板的整体更换，造成了材料的浪费，防着板的使用成本增加。
4.因此，发明一种真空溅镀用新型防着板很有必要。


技术实现要素：

5.为此，本实用新型提供一种真空溅镀用新型防着板，通过防着板本体、盖板、方形滑块和限位机构使得防着板可拆分，使得防着板上沉积较多的靶材原子或大尺寸颗粒时，工作人员只需更换相应位置盖板即可，无需更换防着板整体，减少了材料的使用，降低了防着板的使用成本，且盖板和防着板本体的拆装极为简单，极大的方便了工作人员更换盖板，以解决现有的防着板结构简单，不可拆分，在使用一段时间后，由于飞溅出的靶材原子或大尺寸颗粒大多沉积在防着板的中下部，在使用一段时间后，防着板的下部沉积较多的靶材原子或大尺寸颗粒，需要更换防着板，而防着板的上部沉积的靶材原子或大尺寸颗粒较少，防着板的整体更换，造成了材料的浪费，防着板的使用成本增加的问题。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空溅镀用新型防着板，包括防着板本体，还包括盖板，所述盖板共设有四组，四组所述盖板均匀设置在防着板本体的上方，四组所述盖板的顶端面均匀设置有凹槽，四组所述盖板的底端面中部两侧对称固定安装有方形滑块，八组所述方形滑块均滑动设置在防着板本体内，所述防着板本体内均匀设置有八组限位机构；
7.所述限位机构包括限位块和复位组件，所述限位块和复位组件均滑动设置在防着板本体内，所述限位块靠近方形滑块的一端滑动设置在同位置处设置的方形滑块内，所述限位块远离方形滑块的一端固定安装在复位组件上。
8.优选地，四组所述盖板之间相邻的一侧贴合设置，四组所述盖板的顶端面都均匀设置有凹槽。
9.优选地，四组所述盖板的顶端面中部两侧上均对称固定安装有圆柱杆，八组所述
圆柱杆上均匀设置有环形凹槽。
10.优选地，所述防着板本体的上部均匀设置有八组方形滑槽，八组所述方形滑块均滑动设置在同位置处设置的方形滑槽内，八组所述方形滑块的侧边均分别与同位置处设置的方形滑槽内壁贴合。
11.优选地，八组所述方形滑块靠近限位块的一侧中部均设置有梯形限位槽，八组所述限位块靠近方形滑块的一侧顶部和底部均倾斜对称设置，八组所述限位块靠近方形滑块的一端均滑动设置在同位置处设置的梯形限位槽内，八组所述限位块靠近方形滑块的一端侧边均与同位置处设置的内壁贴合。
12.优选地，所述防着板本体的上部均匀设置有八组方形限位槽，八组所述方形限位槽内均滑动设置弹性组件。
13.优选地，所述弹性组件包括方形限位板和弹簧，所述方形限位板和弹簧均滑动设置在方形限位槽内，所述方形限位板设置在弹簧靠近限位块的一端，所述方形限位板远离弹簧的一侧与同位置处设置在限位块固定连接。
14.优选地，所述方形限位板的侧边与同位置处设置的方形限位槽内壁贴合，所述弹簧的两端分别与方形限位板和方形限位槽远离方形限位板的一端内壁接触，所述弹簧处于压缩状态。
15.本实用新型的有益效果是：通过防着板本体、盖板、方形滑块和限位机构使得防着板可拆分，使得防着板上沉积较多的靶材原子或大尺寸颗粒时，工作人员只需更换相应位置盖板即可，无需更换防着板整体，减少了材料的使用，降低了防着板的使用成本，且盖板和防着板本体的拆装极为简单，极大的方便了工作人员更换盖板，实用性强。
附图说明
16.图1为本实用新型提供的防着板立体图；
17.图2为本实用新型提供的防着板主视图；
18.图3为本实用新型提供的图2中a-a剖视图；
19.图4为本实用新型提供的图3中b区域放大图。
20.图中：1-防着板本体，2-盖板，3-凹槽，4-圆形杆，5-环形凹槽，6-方形滑块，7-方形滑槽，8-限位块，9-梯形限位槽，10-方形限位板，11-弹簧，12-方形限位槽。
具体实施方式
21.以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
22.参照附图1-4，本实用新型提供的一种真空溅镀用新型防着板，包括防着板本体1，还包括盖板2，盖板2共设有四组，四组盖板2均匀设置在防着板本体1的上方，四组盖板2的顶端面均匀设置有凹槽3，四组盖板2的底端面中部两侧对称固定安装有方形滑块6，八组方形滑块6均滑动设置在防着板本体1内，防着板本体1内均匀设置有八组限位机构；
23.限位机构包括限位块8和复位组件，限位块8和复位组件均滑动设置在防着板本体1内，限位块8靠近方形滑块6的一端滑动设置在同位置处设置的方形滑块6内，限位块8远离方形滑块6的一端固定安装在复位组件上。
24.四组盖板2之间相邻的一侧贴合设置，四组盖板2的顶端面都均匀设置有凹槽3，四组盖板2的顶端面中部两侧上均对称固定安装有圆柱杆4，设置的圆柱杆4便于工作人员拉动盖板2移动，八组圆柱杆4上均匀设置有环形凹槽5，设置的环形凹槽5可增大工作人员手与圆柱杆4之间的摩擦力，防着板本体1的上部均匀设置有八组方形滑槽7，八组方形滑块6均滑动设置在同位置处设置的方形滑槽7内，八组方形滑块6的侧边均分别与同位置处设置的方形滑槽7内壁贴合，避免方形滑块6在方形滑槽7内晃动，八组方形滑块6靠近限位块8的一侧中部均设置有梯形限位槽9，八组限位块8靠近方形滑块6的一侧顶部和底部均倾斜对称设置，可实现方形滑块6在竖直方向上移动时，方形滑块6可带动限位块8在水平方向上移动，八组限位块8靠近方形滑块6的一端均滑动设置在同位置处设置的梯形限位槽9内，八组限位块8靠近方形滑块6的一端侧边均与同位置处设置的内壁贴合，防着板本体1的上部均匀设置有八组方形限位槽12，八组方形限位槽12内均滑动设置弹性组件，弹簧组件用于推动限位块8反向移动复位。
25.弹性组件包括方形限位板10和弹簧11，方形限位板10和弹簧11均滑动设置在方形限位槽12内，方形限位板10设置在弹簧11靠近限位块8的一端，弹簧11用于推动方形限位板10和限位块6反向移动复位，方形限位板10远离弹簧11的一侧与同位置处设置在限位块8固定连接，方形限位板10用于对限位块8在水平方向上进行限位，方形限位板10的侧边与同位置处设置的方形限位槽12内壁贴合，弹簧11的两端分别与方形限位板10和方形限位槽12远离方形限位板10的一端内壁接触，弹簧11处于压缩状态，增大限位块6移动时所需的力，从而使得盖板2安装在防着板本体1上的温度性更好。
26.本实用新型的使用过程如下：在使用时，由于四组盖板2上都均匀设置有凹槽3，即使得防着板上吸附的靶材原子或大尺寸颗粒不易脱落，从而增加了防着板的沉淀能力，提高了真空腔体内壁的清洁度，当需要更换盖板2时，工作人员可用手拉动两组圆柱杆4向远离防着板本体1的一侧移动，即使得盖板2向远离防着板本体1的一侧移动，即使得方形滑块6从方形滑槽7内滑出，方形滑块6从方形滑槽7内滑出即使得限位块8远离方形限位板10的一端从梯形限位槽9内滑出，此时限位块8和方形限位板10向远离方形滑块6的一侧移动，即使得弹簧11进一步被压缩，当方形滑块6完全从方形滑槽7内滑出时，此时盖板2已从的反向移动复位吗，即使得盖板2从防着板本体1上拆卸下来，在安装盖板2时，将盖板2上的两组方形滑块6对准相应位置的方形滑槽7，将盖板2上的两组方形滑块6推入方形滑槽7内，方形滑块6滑入方形滑槽7内即可，当方形滑块6的底端与限位块8接触时，方形滑块6推动限位块8和方形限位板10向远离方形滑槽7的一侧移动，即使得弹簧11进一步被压缩，当方形滑块6完全滑入方形滑槽7内时，弹簧11的作用力推动方形限位板10和限位块8反向移动复位，即使得限位块8远离方形限位板10的一端滑入同位置处设置的梯形限位槽9内，即可实现对方形滑块6进行限位，从而将盖板2限位在防着板本体1上，即可完成安装盖板2，即可避免当防着板上沉积较多的靶材原子或大尺寸颗粒后，防着板整体更换的现象，节省了成本，拆装简单，由于飞溅出的靶材原子或大尺寸颗粒大多沉积在防着板的中下部，且本防着板上设置四组盖板2，即使得在防着板在长时间使用后，只需要更换相应的盖板2即可，无需将四组盖板2同时更换，减少了材料的使用，降低了成本。
27.以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例，任何熟悉本领域的技术人员均可能利用上述阐述的技术方案对本实用新型加以修改或将其修改为等同的技术方案。因此，依据
本实用新型的技术方案所进行的任何简单修改或等同置换，尽属于本实用新型要求保护的范围。