一种导电型抛光头固定装置及导电型抛光头系统的制作方法

本技术属于半导体集成电路芯片制造，尤其是涉及一种导电型抛光头固定装置及导电型抛光头系统。

背景技术：

1、晶圆衬底和半导体器件制造过程包含抛光、表面平坦化等工艺，通常采用机械抛光，化学机械抛光或平坦化等技术，通过晶圆衬底载头(抛光头)向晶背加压，控制压力、抛光头转速、抛光盘转速、抛光液液体流量等参数，在抛光垫上对晶圆衬底正表面或薄膜表面进行抛光或平坦化处理。和机械抛光相比，化学机械抛光和化学机械抛光平坦化通过对抛光液配方的调整，在晶圆衬底表面产生化学反应，可以实现更高的抛光或平坦化处理效率，同时可以实现更好的抛光或平坦化处理效果，包括更高的平整度、更低的缺陷度等。

2、在化学机械抛光和平坦化的基础上，电化学机械抛光和平坦化可以进一步利用晶圆衬底或晶圆衬底表面薄膜的导电特性，形成电流通路，在晶圆衬底或薄膜表面进行电化学反应，通过电路系统的精密控制，提高表面化学反应速度，进而提高机械抛光和平坦化效率。

3、因种种难点，目前市场上尚无适合大规模量产的电化学机械抛光、平坦化设备。

4、化学机械抛光及平坦化设备的抛光头有一特点，即需要经常拆卸维护，需要更换耗材，清洗结晶等。故抛光头有拆装方便，稳定可靠的需求。同理，适用于电化学机械抛光及平坦化设备的抛光头也有相同的需求，但对于需要和外接导线连接的带电抛光头，在拆装时的导线通断是个难题。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种可以实现抛光头的导电，且抛光头更换方便，使用灵活度高的导电型抛光头固定装置及导电型抛光头系统。

2、本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种导电型抛光头固定装置，包括：

3、装载部件，具有可与抛光头配合连接的第一吸附端面；且至少形成有第一通道，所述第一通道的一端延伸至第一吸附端面；

4、动力机构，用于带动装载部件旋转；

5、第一导电件，一端与电源连接；

6、导电接口组件，至少包括第一作用端，该第一作用端的至少部分设于第一通道，且与所述第一导电件电连接。

7、进一步的，所述第一作用端由导电材质制成。

8、进一步的，所述导电接口组件还包括由绝缘材质制成的固定件，该固定件与装载部件相连，所述第一作用端与固定件相连。

9、进一步的，所述装载部件与旋转接头相连。

10、进一步的，所述第一通道沿着装载部件的轴向延伸。

11、进一步的，所述第一导电件穿设在所述第一通道内。

12、进一步的，所述第一通道包括第一气路通道和第一安装通道，所述第一导电件穿设在第一安装通道内。

13、进一步的，所述第一通道设于装载部件内，或者，所述第一通道设于装载部件外侧区域；或者，所述第一通道设于装载部件外侧壁。

14、本实用新型还公开了一种导电型抛光头系统，包括：

15、装载部件，具有第一吸附端面；且至少形成有第一通道，所述第一通道的一端延伸至第一吸附端面；

16、抛光头，具有第二吸附端面；且至少形成有第二通道，所述第二通道的一端延伸至第二吸附端面；

17、动力机构，用于带动装载部件旋转；

18、导电件，至少包括一端与电源连接的第一导电件；

19、导电接口组件，至少包括与所述第一导电件相连的第一作用端，及第二作用端，该第一作用端和第二作用端的至少部分设于第一通道和/或第二通道；

20、当第一吸附端面和第二吸附端面贴合时，所述第一作用端和第二作用端接触导通，以实现抛光头的电连接。

21、进一步的，所述第一作用端由导电材质制成，所述第二作用端由导电材质制成。

22、进一步的，所述导电件还包括第二导电件，其与第二作用端相连。

23、进一步的，所述导电接口组件还包括由绝缘材质制成的固定件，所述固定件与装载部件或抛光头相连，所述第一作用端或第二作用端与该固定件相连。

24、进一步的，所述导电接口组件还包括由绝缘材质制成的安装框，所述安装框与抛光头或装载部件相连，所述第二作用端或第一作用端与该安装框相连。

25、进一步的，所述安装框内设有弹性件，所述第二作用端或第一作用端外壁形成可与弹性件相抵的凸缘，在弹性件伸展状态下，所述凸缘与安装框内壁相抵，且第二作用端或第一作用端的两端分别从安装框的两侧开口伸出。

26、进一步的，所述第一作用端和第二作用端可磁吸吸合。

27、进一步的，所述安装框由上部体和下部体拼合形成。

28、进一步的，所述装载部件与旋转接头相连，所述抛光头可与装载部件同步旋转。

29、进一步的，所述第一通道沿着装载部件的轴向延伸。

30、进一步的，所述第一通道包括第一气路通道和第一安装通道，所述第一导电件穿设在第一安装通道内；所述第二通道包括第二气路通道和第二安装通道，所述第二导电件穿设在第二安装通道内。

31、进一步的，所述第一气路通道和第二气路通道上下联通。

32、进一步的，所述第一作用端或/和第二作用端形成安装孔，所述第一导电件或/和第二导电件与导电转接件相连，该导电转接件可与安装孔螺纹连接。

33、进一步的，所述第一作用端的端面设有供第二作用端的部分插入的限位卡槽；或者，所述第二作用端的表面设有供第一作用端的部分插入的限位卡槽。

34、进一步的，所述导电接口组件外侧设有密封件，所述第一吸附端面和第二吸附端面贴合对该密封件形成挤压密封。

35、进一步的，所述抛光头包括用于吸附晶圆的吸附膜，其至少部分由导电材质制成，且与第二作用端或第二导电件电连接。

36、进一步的，所述吸附膜为柔性膜，或为金属膜，或为金属和非金属结合膜。

37、进一步的，所述抛光头包括用于固定晶圆在所述抛光头内的保持环，其至少部分由导电材质制成，且与第二作用端或第二导电件电连接。

38、进一步的，所述第一通道设于装载部件内，或者，所述第一通道设于装载部件外侧区域；或者，所述第一通道设于装载部件外侧壁。

39、本实用新型是一种全新的适用于大规模量产的电化学机械抛光、平坦化设备的机械结构，优势是在不影响原有的化学机械抛光、平坦化设备的基础机构的条件下，可以较容易地使之改造成电化学机械抛光、平坦化设备，且兼容原有的功能，即同时适配带电抛光头和普通抛光头。

40、本实用新型的有益效果是，1)针对抛光头带电，提供了一种简单可靠的解决办法；2)装载部件和抛光头上新设第一通道、第二通道，在不影响现有结构基础上可以实现抛光头的导电；3)设置有导电接口组件，能满足方便快捷地拆卸和安装可通电抛光头的需求；4)装载部件和抛光头上通道的数量可以根据需求设置，也可一个通道内存在多根导线，或和多根导线连通，可以满足多根导线连通的需求；5)导电接口组件可分为在装载部件和抛光头的两部分，方便日常的拆卸和维护；6)导电接口组件的两个部分各自可以有不同的功能，相互配合可以形成不同的功能。