一种离子溅射仪喷涂控制装置的制作方法

1.本实用新型涉及离子溅射仪喷涂技术领域，具体为一种离子溅射仪喷涂控制装置。


背景技术：

2.离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统，对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用，试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求，在必要时，交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁，之后试样复原，再进行溅射镀膜，铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料，有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料，氧气为离子溅射仪常用的反应气体，目前，由于样品架多为固定的状态，当样品一面喷涂完成之后，需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，需要工作人员对喷涂样品进行翻面再次启动离子溅射仪喷涂控制装置对样品另一面进行喷涂，操作繁琐，容易降低样品喷涂工作效率，因此，本实用新型提出一种离子溅射仪喷涂控制装置。
3.专利文件中的离子溅射仪喷涂控制装置存在的缺陷是：
4.专利文件cn210560718u公开了一种离子溅射仪喷涂控制装置，保护的权项“包括离子溅射仪本体、喷金筒、盖板、视窗筒和视窗镜，视窗筒上设置有第一按钮和第二按钮，视窗镜活动设置在视窗筒一端，视窗筒另一端伸入圆孔连接喷金筒，喷金筒活动设置在离子溅射仪本体上，盖板活动设置在喷金筒顶部，离子溅射仪本体上还设置有位于喷金筒内部的样品架，样品架包括底板、第一电机、第二电机、传动带、连接柱和样品盘，第一按钮和第二按钮分别与第一电机和第二电机电连接；本实用新型可帮助人员实现后期在使用离子溅射仪喷金时实时观察调整样品摆放状态，实现更好的喷涂”，该离子溅射仪喷涂控制装置，虽然可以帮助人员实现后期在使用离子溅射仪喷金时实时观察调整样品摆放状态，实现更好的喷涂，但是在喷涂样品一面喷涂完之后，需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，需要工作人员对喷涂样品进行翻面再次启动离子溅射仪喷涂控制装置对样品另一面进行喷涂，容易降低样品喷涂工作效率，从而需要增加对喷涂样品自动翻面结构解决因对样品翻面而导致降低样品喷涂工作效率的问题。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种离子溅射仪喷涂控制装置，以解决上述背景技术中提出的由于样品架多为固定的状态，当样品一面喷涂完成之后，需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，需要工作人员对喷涂样品进行翻面再次启动离子溅射仪喷涂控制装置对样品另一面进行喷涂，操作繁琐，容易降低样品喷涂工作效率的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种离子溅射仪喷涂控制装置,包括控制仪器本体、控制板和一号气缸，所述控制仪器本体的一侧安装有控制板，所述控制仪器本体的顶部安装有固定台，所述控制仪器本体的顶部安装有透明工作室，且透明工作室位于固定台的外侧；
7.所述一号气缸的输出端安装有一号伸缩杆，所述一号伸缩杆的顶端安装有安装壳，所述安装壳的内部安装有一号电机，所述一号电机的输出端安装有二号气缸，所述二号气缸的输出端安装有挤压板。
8.优选的，所述控制仪器本体的底部对称安装有多组底腿，控制仪器本体的顶部安装有一号密封环，且一号密封环与透明工作室的外侧相接触。
9.优选的，所述控制板的一侧贯穿安装有调节旋钮。
10.优选的，所述固定台的顶部活动安装样品。
11.优选的，所述透明工作室的顶端活动安装有顶盖，顶盖的底端安装有密封垫圈，且密封垫圈与透明工作室的内壁相接触，顶盖的顶部贯穿安装有输气管，顶盖的底端安装有溅射喷头，且溅射喷头与输气管贯通相连接。
12.优选的，所述固定台的顶部对称安装有一号气缸。
13.优选的，所述控制仪器本体的顶部对称安装有保护壳，且保护壳位于透明工作室的一侧，保护壳的内部安装有二号电机，二号电机的输出端安装有旋转轴，且旋转轴活动贯穿保护壳的顶部，旋转轴的外侧贯穿啮合安装有连接板，连接板的一侧连接安装有安装板，安装板的外侧连接安装有清洁垫。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.1.本实用新型通过安装有挤压板，通过一号气缸工作产生动能提供给输出端一号伸缩杆，一号伸缩杆通过一号气缸提供的动能进行伸缩运动，可以推动顶端的安装壳进行上下的移动，安装壳用于为内部的一号电机提供安装位置和保护，一号电机通过工作产生动能提供给输出端，可以调动二号气缸进行旋转，二号气缸通过工作产生动能提供给输出端挤压板，挤压板通过二号气缸提供的动能进行伸缩运动，通过挤压板对固定台顶部喷涂完成一面的样品进行挤压夹持翻面，从而实现不需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，无需要工作人员对喷涂样品进行手动翻面，便可对样品另一面进行喷涂，有效提高样品的喷涂工作效率。
16.2.本实用新型通过安装有清洁垫，二号电机通过工作产生动能提供给输出端旋转轴，旋转轴通过二号电机提供的动能进行旋转转动，通过连接板与旋转轴进行贯穿啮合连接，可以带动连接板进行上下的移动，安装板为外侧的清洁垫提供安装位置，通过安装板与连接板进行连接，通过清洁垫与透明工作室的内壁进行接触，从而实现对透明工作室的内壁进行自动清洁的效果，避免透明工作室由于多次使用，溅射喷头对样品进行镀膜加工，对透明工作室的内壁造成污染阻挡视线，影响外部工作人员后期在使用仪器喷涂时对样品的实时观察。
附图说明
17.图1为本实用新型的立体图；
18.图2为本实用新型的透明工作室剖面图；
19.图3为本实用新型的连接板结构示意图；
20.图4为本实用新型的一号气缸剖面图；
21.图5为本实用新型的a处结构示意图。
22.图中：1、控制仪器本体；101、底腿；102、一号密封环；2、控制板；201、调节旋钮；3、
固定台；301、样品；4、透明工作室；401、顶盖；402、密封垫圈；403、输气管；404、溅射喷头；5、一号气缸；501、一号伸缩杆；502、安装壳；503、一号电机；504、二号气缸；505、挤压板；6、保护壳；601、二号电机；602、旋转轴；603、连接板；604、安装板；605、清洁垫。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
24.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
25.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
26.请参阅图1、图2和图5，本实用新型提供了一种实施例：一种离子溅射仪喷涂控制装置；
27.包括控制仪器本体1、控制板2、固定台3、透明工作室4，控制仪器本体1的底部对称安装有多组底腿101，控制仪器本体1的顶部安装有一号密封环102，且一号密封环102与透明工作室4的外侧相接触，控制仪器本体1的一侧安装有控制板2，控制板2的一侧贯穿安装有调节旋钮201，控制仪器本体1的顶部安装有固定台3，固定台3的顶部活动安装样品301，控制仪器本体1的顶部安装有透明工作室4，且透明工作室4位于固定台3的外侧，透明工作室4的顶端活动安装有顶盖401，顶盖401的底端安装有密封垫圈402，且密封垫圈402与透明工作室4的内壁相接触，顶盖401的顶部贯穿安装有输气管403，顶盖401的底端安装有溅射喷头404，且溅射喷头404与输气管403贯通相连接，控制仪器本体1为离子溅射仪喷涂控制装置，用于对样品301进行溅射镀膜，底腿101为控制仪器本体1提供合适的使用高度，通过一号密封环102与透明工作室4的底端外侧进行接触，可以对透明工作室4的底端进行密封，通过控制板2与控制仪器本体1进行电性连接，通过调节旋钮201可以调控控制仪器本体1的运行，固定台3通过安装在控制仪器本体1 顶部，为顶部活动放置的样品301提供摆放镀膜位置，通过密封垫圈402与透明工作室4的顶端内壁挤压相接触，可以使顶盖401安装在透明工作室4的顶部，输气管403用于向透明工作室4的内部输送气体，使透明工作室4的内部气压上升至适合压力，通过溅射喷头404对样品301进行喷涂加工，从而完成镀膜。
28.请参阅图2和图4，本实用新型提供了一种实施例：一种离子溅射仪喷涂控制装置；
29.包括一号气缸5，一号气缸5的输出端安装有一号伸缩杆501，一号伸缩杆501的顶端安装有安装壳502，安装壳502的内部安装有一号电机503，一号电机503的输出端安装有
二号气缸504，二号气缸504的输出端安装有挤压板505，固定台3的顶部对称安装有一号气缸5，一号气缸5安装在固定台3的顶部，通过一号气缸5工作产生动能提供给输出端一号伸缩杆501，一号伸缩杆501通过一号气缸5提供的动能进行伸缩运动，可以推动顶端的安装壳502进行上下的移动，安装壳502用于为内部的一号电机503提供安装位置和保护，一号电机503通过工作产生动能提供给输出端，可以调动二号气缸504进行旋转，二号气缸504通过工作产生动能提供给输出端挤压板505，挤压板505通过二号气缸504提供的动能进行伸缩运动，通过挤压板505对固定台3顶部喷涂完成一面的样品301进行翻面，从而实现不需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，无需要工作人员对喷涂样品301进行手动翻面，便可对样品301另一面进行喷涂，有效提高样品301的喷涂工作效率。
30.请参阅图2、图3和图5，本实用新型提供了一种实施例：一种离子溅射仪喷涂控制装置；
31.包括保护壳6，控制仪器本体1的顶部对称安装有保护壳6，且保护壳6位于透明工作室4的一侧，保护壳6的内部安装有二号电机601，二号电机601的输出端安装有旋转轴602，且旋转轴602活动贯穿保护壳6的顶部，旋转轴602的外侧贯穿啮合安装有连接板603，连接板603的一侧连接安装有安装板604，安装板604的外侧连接安装有清洁垫605，保护壳6用于保护内部的二号电机601稳定工作，二号电机601通过工作产生动能提供给输出端旋转轴602，旋转轴602通过二号电机601提供的动能进行旋转转动，通过连接板603与旋转轴602进行贯穿啮合连接，可以带动连接板603进行上下的移动，安装板604为外侧的清洁垫605提供安装位置，通过安装板604与连接板603进行连接，通过清洁垫605与透明工作室4的内壁进行接触，从而实现对透明工作室4的内壁进行自动清洁的效果，避免透明工作室4由于多次使用，溅射喷头404对样品301进行镀膜加工，对透明工作室4的内壁造成污染阻挡视线，影响外部工作人员后期在使用仪器喷涂时对样品301的实时观察。
32.工作原理：通过溅射喷头404对样品301进行喷涂加工，通过一号气缸5工作产生动能提供给输出端一号伸缩杆501，一号伸缩杆501通过一号气缸5提供的动能进行伸缩运动，可以推动顶端的安装壳502进行上下的移动，安装壳502用于为内部的一号电机503提供安装位置和保护，一号电机503通过工作产生动能提供给输出端，可以调动二号气缸504进行旋转，二号气缸504通过工作产生动能提供给输出端挤压板505，挤压板505通过二号气缸504提供的动能进行伸缩运动，通过挤压板505对固定台3顶部喷涂完成一面的样品301进行翻面，从而实现不需要对离子溅射仪喷涂控制装置进行停止运行，无需要工作人员对喷涂样品301进行手动翻面，便可对样品301另一面进行喷涂，有效提高样品301的喷涂工作效率，二号电机601通过工作产生动能提供给输出端旋转轴602，旋转轴602通过二号电机601提供的动能进行旋转转动，通过连接板603与旋转轴602进行贯穿啮合连接，可以带动连接板603进行上下的移动，安装板604为外侧的清洁垫605提供安装位置，通过安装板604与连接板603进行连接，通过清洁垫605与透明工作室4的内壁进行接触，从而实现对透明工作室4的内壁进行自动清洁的效果，避免透明工作室4由于多次使用，溅射喷头404对样品301进行镀膜加工，对透明工作室4的内壁造成污染阻挡视线，影响外部工作人员后期在使用仪器喷涂时对样品301的实时观察。
33.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新
型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。