一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法与流程

本发明属于真空镀膜，具体涉及一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、现有技术中公开了申请号为cn201711481351.9的中国专利，公开了一种新型快速清洗的真空镀膜设备，包括真空镀膜设备本体，所述真空镀膜设备本体的上表面固定安装有电机，所述电机的前端固定安装有第一带轮，所述限位板的前表面转动安装有第二带轮，且限位板的前表面靠近第二带轮的一侧位置处转动安装有第三带轮，所述第三带轮的前表面固定安装有折叠杆，所述折叠杆的下端固定安装有限位块，所述承压板的上表面靠近真空镀膜设备本体的另一侧位置处固定安装有清洗装置。本发明通过清洗装置，可在真空镀膜设备使用后，对真空镀膜设备的真空腔内壁进行清洗处理；通过电机、带轮和滑轨可实现防护门的电动开启和关闭，无需人工手动开启，结构科学合理，使用安全方便。

3、目前的大部分真空镀膜设备较小，每次镀膜的数量有限，赶急加工时需要频繁打开柜门，可能会造成灰尘进入真空室内，在使用真空镀膜设备镀膜一段时间后，其内壁会附着一部分电镀液，降低了镀膜的质量，为此我们提出一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种快速清洗的真空镀膜设备及其使用方法，旨在解决背景技术中存在的至少一个问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种快速清洗的真空镀膜设备，包括：

4、设备主体，其内部由下而上设置有下腔室、真空镀膜腔和上腔室；

5、箱门，其活动连接于设备主体的一侧，其与真空镀膜腔连通；

6、真空泵，其固定连接于上腔室内，其吸气口与真空镀膜腔连通，其输出端延伸至设备主体外侧；

7、内环架，其可移动设置于真空镀膜腔内，其上端开设有多个定位孔；

8、下位板，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；

9、上位板，其固定连接于下位板的上端；

10、支撑机构，其设置于多组，其分别设置于定位孔内，其用于放置待镀膜工件；

11、移动机构，其设置于真空镀膜腔内，其用于驱动内环架以联动待镀膜工件循环移动；以及

12、清洗机构，其设置于设备主体内，其贯穿下腔室和真空镀膜腔以对真空镀膜腔进行清洗并自动排出污水。

13、作为本发明一种优选的方案，每组所述支撑机构包括挂架、定位梢、定位轴和小齿轮，所述定位轴转动连接于定位孔内，所述定位轴的顶部开设有定位槽，所述定位梢由上而下插入定位槽内，所述挂架固定连接于定位梢的顶部，所述挂架用于安装待镀膜工件，所述小齿轮固定连接于定位轴的底部。

14、作为本发明一种优选的方案，所述移动机构包括：

15、外环架，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；

16、内齿圈，其固定连接于外环架的下内壁，多个所述小齿轮均与内齿圈相啮合；

17、圆槽，其固定连接于真空镀膜腔的下内壁；

18、上位板，其固定连接于下位板的上端；以及

19、皮带轮组件，其设置于下位板和上位板之间，其与内环架连接以带动内环架循环移动。

20、作为本发明一种优选的方案，所述皮带轮组件包括：

21、轮轴，其设置有两个，其均转动连接于下腔室的下内壁，其上端均贯穿圆槽并向上延伸；

22、齿轮盘，其设置有两个，其均位于下位板和上位板之间，其分别固定连接于对应轮轴的圆周表面；

23、内齿带，其传动连接于两个齿轮盘之间，其固定连接于内环架的内壁；以及

24、驱动部件，其设置于下腔室内，其用于驱动其中一个轮轴转动。

25、作为本发明一种优选的方案，所述驱动部件包括伺服电机、主动锥形齿轮和从动锥形齿轮，所述伺服电机固定连接于下腔室的下内壁，所述主动锥形齿轮固定连接于伺服电机的输出端，所述从动锥形齿轮固定连接于轮轴的圆周表面，所述主动锥形齿轮与从动锥形齿轮相啮合。

26、作为本发明一种优选的方案，所述清洗机构包括：

27、中空斗，其固定连接于下腔室的下内壁，所述下位板和上位板的中心处均开设有圆槽，所述中空斗贯穿圆槽与下腔室连通；

28、增压阀，其固定连接于中空斗的下内壁，其输入端固定连接有进水口，所述进水口的另一端贯穿设备主体并向外延伸，所述进水口用于引入清水；

29、伸缩管，其一端固定连接于增压阀的输出端；

30、圆板，其位于中空斗的上侧，其上端可拆卸连接有锥形顶；

31、电动推杆，其设置有两个，其均固定连接于中空斗的下内壁，其伸长端固定连接于圆板的底部边缘处；

32、定位环，其固定连接于圆板的下侧，所述伸缩管的另一端与定位环固定连接；

33、旋转喷淋组件，其设置于定位环上，其用于转动喷射清水以清洗真空镀膜腔的死角；以及

34、出水组件，其设置于下腔室内，其用于排出污水。

35、作为本发明一种优选的方案，所述旋转喷淋组件包括减速电机和中空管，所述中空管转动连接于定位环和圆板之间，所述减速电机固定连接于圆板的顶部，所述减速电机的输出端固定连接于中空管的顶部，所述减速电机位于圆板和锥形顶之间，所述中空管的圆周表面设置有多个喷头。

36、作为本发明一种优选的方案，所述出水组件包括吸水泵、短管和出水管，所述吸水泵固定连接于下腔室的下内壁，所述短管的一端固定连接于吸水泵的吸水口，所述短管的另一端固定连接于中空斗，所述吸水泵的出水口固定连接有出水管，所述出水管的末端贯穿设备主体并向外延伸。

37、作为本发明一种优选的方案，所述上位板的顶部中心处设置有凹槽部，所述中空斗位于凹槽部之间，所述外环架、内环架和上位板之间设置有疏水疏油层。

38、一种快速清洗的真空镀膜设备的使用方法，包括如下步骤：

39、s1.将待镀膜工件依次安装在挂架上，安装完成后关闭箱门，并启动真空泵，通过真空泵抽出真空镀膜腔内的空气，使真空镀膜腔处于真空状态并进行镀膜工作；

40、s2.在进行镀膜工作时，启动伺服电机，通过伺服电机的输出端带动主动锥形齿轮转动，主动锥形齿轮带动从动锥形齿轮减速转动，从动锥形齿轮带动轮轴转动，轮轴带动与其固定的齿轮盘转动，齿轮盘带动内齿带循环移动，继而带动内环架循环移动，多个挂架跟随内环架循环移动，并且小齿轮在与内齿圈啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果；

41、s3.当需要清洗时，将进水口与外部管道连接，清水由外部管道进入进水口内，然后经过增压阀增加压力，清水加速进入伸缩管内，清水进入中空管内，由喷头喷向真空镀膜腔的内壁，然后启动减速电机，通过减速电机的输出端带动中空管转动，使喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，以提高清洗效果；

42、s4.清洗完成后，启动吸水泵，使真空镀膜腔内清洗产生的污水进入中空斗内，然后由短管进入出水管内排出，完成自动清洗；

43、s5.排水完成后，通过电动推杆的伸长端带动圆板向下移动，圆板、锥形顶和中空管整体向下移动，圆板的顶部收缩于中空斗内并贴合于凹槽部，使中空斗与圆板闭合。

44、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

45、1、本方案多个挂架跟随内环架循环移动，并且小齿轮在与内齿圈啮合的作用下不断转动，使得工件在设备主体内循环移动并转动，工件在镀膜时受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，清洗时产生的污水进入中空斗内，然后由短管进入出水管内排出，实现工件在镀膜时不断移动并转动，受到的压力更加均匀，以提高镀膜效果，喷头喷水时不断旋转，有效清理真空镀膜腔内的死角，可自动清洗排水，有效清洁真空镀膜腔，减少灰尘和电镀液等对下次镀膜的影响，保持稳定的镀膜质量。

46、2、本方案安装时只需将定位梢插入定位槽内，在定位轴移动时挂架随着移动，定位轴转动时挂架随着转动，拔出定位梢即可拆卸挂架，安装拆卸方式简单，方便工作人员使用。

47、3、本方案外环架、内环架、下位板和上位板的高度持平，且接触面无缝贴合，内环架在外环架、下位板和上位板的支撑下不会发生形变，以保持内环架稳定移动。

48、4、本方案每个的喷头的角度不同，喷水的位置也不同，并且通过减速电机的输出端带动中空管转动，使喷头喷水时不断旋转，增大清理范围，有效清理真空镀膜腔内的死角，提高清洗效果。