1.一种雾化气相沉积装置，其特征在于，所述雾化气相沉积装置包括沉积腔体；
2.根据权利要求1所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述激光光源发出的激光与所述托盘的顶面之间的距离为100-1500μm；
3.根据权利要求1所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述沉积腔体的外侧壁开设有所述雾相入口和所述排气口，所述雾相入口和所述排气口均高于所述激光光源；
4.根据权利要求1所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述雾化腔开设有载气进口和载气出口，所述载气进口与所述气源连通，所述载气出口与所述雾相入口连通；
5.根据权利要求1所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述超声件包括超声振子；
6.根据权利要求1所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述沉积腔体包括沿雾的流动方向依次连接的整流段、沉积段和排出段；
7.根据权利要求6所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述整流段包括依次对接的第一直筒段和渐缩段，所述渐缩段的横截面面积沿雾的流动方向逐渐减小，所述渐缩段的小尺寸端对接所述沉积段的输入端；
8.根据权利要求7所述的雾化气相沉积装置，其特征在于，所述第一直筒段的外侧壁开设有2个所述雾相入口，分别记为第一雾相入口和第二雾相入口，所述第一雾相入口和第二雾相入口相对设置。
9.一种使用权利要求1-8任一项所述的雾化气相沉积装置进行雾化气相沉积的方法，其特征在于，所述雾化气相沉积的方法包括：
10.根据权利要求9所述的雾化气相沉积的方法，其特征在于，所述激光与所述基材的顶面之间的距离为10-1000μm；