一种具有清灰功能化学气相沉积设备的制作方法

本发明涉及沉积设备清洁，具体为一种具有清灰功能化学气相沉积设备。

背景技术：

1、化学气相沉积(cvd)是将含有原材料组分的源气体输入cvd沉积炉，通过扩散和对流等机理沉积在预制件上沉积一层固态薄膜并生成成品的工艺过程。在cvd工艺中，cvd沉积炉结构对沉积效率和沉积品质有很大影响。其中，高熔点物质能够在低温下合成；析出物质的形态在单晶、多晶、晶须、粉末、薄膜等多种；不仅可以在基片上涂层，而且可以在粉体表面涂层等。

2、化学气相沉积设备在使用时需要定期进行清洁。针对现有技术存在以下问题，现有的化学气相沉积设备在使用之后，其内腔的底部会存留较多的灰尘，清洁较为麻烦，不仅劳动强度大，而且浪费工人较多的时间，导致降低设备的使用效率的问题。

3、现有中国发明专利公开号为cn113913785a中提出了一种化学气相沉积设备的清洁装置，通过在沉积设备本体内腔的一侧设置有清洁装置，通过一号汽缸和二号汽缸的配合，带动清洁刷在设备内腔的底部移动，同时通过电机带动清洁刷清理设备内腔的底部，再通过导管和吸力泵的配合，将灰尘和杂质吸入清理箱的内腔，保证设备内腔的清洁性，该清洁装置仅仅能够对设备内腔内壁底部的灰尘进行清理，无法对设备内腔内部的侧壁灰尘起到清理作用，因此清灰效果较差。

4、为此，我们提出了一种具有清灰功能化学气相沉积设备。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种具有清灰功能化学气相沉积设备，用于对化学气相沉积设备内部的真空腔室内壁以及底部进行彻底的灰尘清理，并且对清理的灰尘进行集中收集处理。

2、为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种具有清灰功能化学气相沉积设备，包括机架，所述机架的顶部活动设置有盖板，且机架的正面活动设置有样品放置架，所述机架的内部设置有真空腔室，且样品放置架的一侧延伸至真空腔室的内部，所述真空腔室的顶部设置有上腔盖，且上腔盖的底部设置有清灰机构；在对化学气相沉积设备内部的真空腔室进行清灰处理时，通过将样品放置架从真空腔室的内部送出，接着利用上腔盖下方的的清灰机构对真空腔室内壁上附着的灰尘进行清理，并且在清灰的同时对灰尘进行集中收集处理，避免清灰过程中四处逸散，提高对真空腔室内部的清灰效果，在控制清灰机构下降至真空腔室的底部后，利用清灰机构对真空腔室内壁的底部进行灰尘的自动清理，配合一侧的抽灰架将清理的灰尘集中送入集灰箱中，实现对真空腔室内部灰尘的自动清理和集中收集处理，另外在控制清灰机构复位时，通过清灰机构中的清洁剂涂刷结构对真空腔室的内壁进行进一步的清洁，保证真空腔室内部的清洁度，从而提高对产品的薄膜沉积质量。

3、所述清灰机构包括活动架，所述活动架位于上腔盖的下方设置，且活动架的底部设置有三个清灰架，三个所述清灰架的一侧分别与真空腔室内壁的两侧以及背面滑动接触，所述清灰架的内部设置有安装槽，且安装槽内壁的两侧均设置有第一微型电缸，两个所述第一微型电缸的驱动端均设置有安装块，且两个安装块的一侧分别与安装槽内壁的两侧滑动连接，两个所述安装块相对的一侧之间转动设置有转动架，且转动架的两侧分别设置有清灰刷和清洁棉，所述转动架内部的两侧分别设置有导料通道，且两个导料通道的一端分别转动设置有抽气管和导液管。

4、优选的，所述上腔盖顶部的两侧均设置有伺服电缸，且两个伺服电缸的驱动端均贯穿上腔盖并延伸至上腔盖的下方，两个所述伺服电缸驱动端延伸至上腔盖下方的一端分别与活动架顶部的两侧连接。

5、优选的，所述活动架的底部设置有电动滑台，且电动滑台的底部设置有连接架，所述活动架底部的一侧设置有凹槽，且凹槽的内部设置有清灰板，所述清灰板顶部的一侧设置有升降块，且升降块的一侧延伸至连接架的内部。

6、优选的，所述连接架的内部设置第二微型电缸，且第二微型电缸的驱动端与升降块的一侧连接。

7、优选的，所述真空腔室内壁底部的前方还设置有抽灰架，且抽灰架的一侧设置有抽灰口，所述机架内部的下方设置有集灰箱，且机架内部的下方还设置有吸尘泵。

8、优选的，所述吸尘泵的进灰端通过导管与抽灰架以及活动架的内部连通。

9、优选的，所述清灰刷的内部设置有吸灰通槽，且吸灰通槽的内部通过导料通道与抽气管的内部连通，所述清洁棉的一侧设置吸液通槽，且吸液通槽的内部通过导料通道与导液管的内部连通。

10、优选的，具有清灰功能化学气相沉积设备的使用方法，具体包括以下步骤：

11、步骤1：在对化学气相沉积设备内部的真空腔室进行清灰处理时，通过将样品放置架从真空腔室的内部送出，通过控制两个伺服电缸的驱动端带动活动架在真空腔室的内部向下运动；

12、步骤2：利用两个第一微型电缸的驱动端推动两个安装块向一侧滑动，让转动架一侧的清灰刷与真空腔室的内壁接触，在活动架向下运动的过程中，清灰刷将真空腔室内壁上附着的灰尘进行刮除，同时抽气管通过导料通道对清灰刷清理下来的灰尘进行抽走，直至活动架下降至真空腔室的底部，完成对真空腔室内壁的灰尘自动清理；

13、步骤3：在对真空腔室内壁的底部进行清灰处理时，通过控制活动架下降至真空腔室的底部，接着连接架内部的第二微型电缸驱动端带动升降块向下运动，利用升降块将清灰板从凹槽的内部推出，让清灰板的底部与真空腔室内壁的底部接触，接着电动滑台带动连接架和清灰板在活动架的底部向抽灰架的一侧滑动，清灰板将真空腔室底部的灰尘向抽灰架的一侧推动，利用抽灰架对真空腔室内壁底部的灰尘进行抽走；

14、步骤4：通过控制两个伺服电缸的驱动端带动活动架在真空腔室的内部向上运动，利用调节马达控制转动架转动，让转动架另一侧的清洁棉与真空腔室的内壁接触，导液管通过导料通道向清洁棉的内部送入清洁剂，利用清洁棉对真空腔室的内壁进行清洁剂涂刷，完成对真空腔室内壁的三个侧壁以及底部的清灰处理。

15、与现有技术相比具备以下有益效果：

16、1、在对化学气相沉积设备内部的真空腔室进行清灰处理时，通过将样品放置架从真空腔室的内部送出，接着利用上腔盖下方的的清灰机构对真空腔室内壁上附着的灰尘进行清理，并且在清灰的同时对灰尘进行集中收集处理，避免清灰过程中四处逸散，提高对真空腔室内部的清灰效果，在控制清灰机构下降至真空腔室的底部后，利用清灰机构对真空腔室内壁的底部进行灰尘的自动清理，配合一侧的抽灰架将清理的灰尘集中送入集灰箱中，实现对真空腔室内部灰尘的自动清理和集中收集处理，另外在控制清灰机构复位时，通过清灰机构中的清洁剂涂刷结构对真空腔室的内壁进行进一步的清洁，保证真空腔室内部的清洁度，从而提高对产品的薄膜沉积质量。

17、2、通过在清灰架的内部设置转动架，同时在转动架的两侧分别设置清灰刷以及清洁棉，通过控制活动架在真空腔室的内部进行上下运动，在活动架向下运动的过程中，清灰刷将真空腔室内壁上附着的灰尘进行刮除，同时抽气管通过导料通道对清灰刷清理下来的灰尘进行抽走，避免灰尘在真空腔室的内部四处溢散，在控制活动架向上复位时，利用清洁棉对真空腔室的内壁进行清洁剂涂刷，进一步提高对真空腔室内壁的清灰效果，保证真空腔室内壁的清洁度，从而提高产品在真空腔室内部的沉积处理效果。

18、3、通过在活动架的底部设置清灰板，利用电动滑台带动连接架和清灰板在活动架的底部向抽灰架的一侧滑动，清灰板将真空腔室底部的灰尘向抽灰架的一侧推动，利用抽灰架对真空腔室内壁底部的灰尘进行抽走，提高对真空腔室内部清灰效率，有效避免灰尘从真空腔室的内部逸散出去。