一种铌酸锂传感器的声波信号优化方法、传感器及其应用

文档序号:35706579发布日期:2023-10-12 07:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,包括,

2.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,在衬底表面形成铌酸锂涂层后还对沉积好的铌酸锂涂层进行高温退火,温度为600~800℃,时间为1~500h。

3.根据权利要求2所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述高温退火为两步退火;

4.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述运动路程为3~5cm。

5.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述射频功率为800~900w。

6.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述环境温度为150~250℃;

7.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述在铌酸锂涂层表面制备导电电极得到铌酸锂传感器包括,

8.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述溅射靶材由nb2o5粉末和li2o粉末以89.89%:10.11%的重量比充分均匀混合后压制烧结而成;

9.一种铌酸锂传感器,其特征在于,使用权利要求1~8任一项所述的方法制备而成。

10.一种权利要求9所述的铌酸锂传感器在应力传感的应用。


技术总结
本发明公开了一种铌酸锂传感器的声波信号优化方法、传感器及其应用,所述制备方法包括使用溅射法,调控运动路程、射频功率、环境温度、腔内气压、Ar/O<subgt;2</subgt;的流量比、沉积时间、衬底摆放位置,将溅射靶材中的元素溅射到衬底上,在衬底上形成铌酸锂涂层;在铌酸锂涂层上制备导电电极得到铌酸锂传感器。本发明的铌酸锂传感器的制备方法通过调控运动路程、射频功率、环境温度、腔内气压、Ar/O<subgt;2</subgt;的流量比、沉积时间、衬底摆放位置等,提高到达衬底表面的Li粒子数量,促进柱状晶形成;本发明的铌酸锂传感器的制备方法削弱了缺锂相形成,利于超声信号激发;本发明制备的铌酸锂传感器具有高温稳定性,高温下无电极元素扩散现象。

技术研发人员:曾晓梅,佩列诺维奇•瓦西里•奥列戈维奇,杨兵,雷燕,许畅,王晨阳,张俊,黄家辉
受保护的技术使用者:武汉大学
技术研发日:
技术公布日:2024/1/15
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