1.一种铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,包括,
2.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,在衬底表面形成铌酸锂涂层后还对沉积好的铌酸锂涂层进行高温退火,温度为600~800℃,时间为1~500h。
3.根据权利要求2所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述高温退火为两步退火;
4.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述运动路程为3~5cm。
5.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述射频功率为800~900w。
6.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述环境温度为150~250℃;
7.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述在铌酸锂涂层表面制备导电电极得到铌酸锂传感器包括,
8.根据权利要求1所述铌酸锂传感器的声波信号优化方法,其特征在于,所述溅射靶材由nb2o5粉末和li2o粉末以89.89%:10.11%的重量比充分均匀混合后压制烧结而成;
9.一种铌酸锂传感器,其特征在于,使用权利要求1~8任一项所述的方法制备而成。
10.一种权利要求9所述的铌酸锂传感器在应力传感的应用。