1.一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述升降机构(3)包括下护筒(301)、延伸转台(302)和第一电动推杆(303)，所述下护筒(301)固定连接于底座(1)的下内壁，所述延伸转台(302)滑动连接于下护筒(301)内，所述晶圆吸盘(4)固定连接于延伸转台(302)的输出端，所述底座(1)和工作台(2)之间固定连接有保护筒(5)，所述下护筒(301)贯穿保护筒(5)并向上延伸，所述第一电动推杆(303)固定连接于底座(1)的下内壁，所述第一电动推杆(303)的伸长端固定连接于延伸转台(302)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每个所述可移动架(17)的底部均固定连接有滑杆(20)，所述滑杆(20)滑动连接于限位架(13)的直杆表面，每个所述可移动架(17)靠近晶圆吸盘(4)处均设置有圆球槽(18)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每组所述打磨机构均包括：
5.根据权利要求4所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每组所述打磨组件均包括打磨轮(25)和抛光布(26)，所述打磨轮(25)固定连接于安装板(24)的顶部，所述打磨轮(25)的圆周表面设置有环形槽(2501)，所述抛光布(26)可拆卸连接于环形槽(2501)内。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述位移机构包括；
7.根据权利要求6所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，每组所述位移组件均包括滚珠丝杆(14)、小锥形齿轮(15)和丝杆套(16)，所述滚珠丝杆(14)转动连接于限位架(13)内，所述丝杆套(16)套设于滚珠丝杆(14)的圆周表面，所述丝杆套(16)固定连接于滑杆(20)内，所述小锥形齿轮(15)固定连接于滚珠丝杆(14)靠近升降机构(3)的一端，所述小锥形齿轮(15)与大锥形齿轮(12)相啮合。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定连接有安装架(27)，所述安装架(27)靠近晶圆吸盘(4)处固定连接有第二电动推杆(28)，所述第二电动推杆(28)的伸长端转动连接有下压块(29)。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，其特征在于，所述安装架(27)的靠近晶圆吸盘(4)处固定连接有淋洗管(30)，所述淋洗管(30)的顶部固定设置有进水口(31)，所述工作台(2)的顶部设置有透水孔(7)，所述工作台(2)的底部固定连接有集水仓(6)，所述集水仓(6)位于透水孔(7)的下侧。
10.一种晶圆夹持式边缘抛光工艺，其特征在于，应用有如权利要求9所述的一种晶圆夹持式边缘抛光装置，包括如下步骤：