1.一种铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,包括:a组份和每当铜离子升高100ppm,补加0.05~0.3%a组分重量的b组分;所述a组份和b组分均至少包括:至少具有两个羧基的有机酸、胺类化合物、过氧化氢稳定剂、含氮杂环化合物、去离子水。
2.根据权利要求1所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述至少具有两个羧基的有机酸选自乙二酸、丙二酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、亚氨基二乙酸、酒石酸、次氮基三乙酸中的一种或多种组合。
3.根据权利要求2所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述丙二酸、苹果酸和柠檬酸在a组分中的质量比为(0.5~1.5):(1~3):(1~3)。
4.根据权利要求2或3所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述胺类化合物选自甲胺、乙二胺、二甲基乙醇胺、二乙氨基丙胺、丙二胺、三乙醇胺、二乙醇胺、异丙醇胺、二甲基乙二胺、三羟甲基氨基甲烷、四甲基氢氧化铵中的一种或多种组合。
5.根据权利要求2或3所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述含氮杂环化合物选自5-氨基四氮唑、1,2,3-三氮唑、3-氨基三氮唑中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述a组分还包括过氧化氢、可电离出氟离子的化合物。
7.根据权利要求6所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述可电离出氟离子的化合物选自氢氟酸、氟化铵、氟化氢铵、氟硼酸铵、三氟乙酸中的至少一种。
8.根据权利要求7所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述a组分,以a组份总重百分比计,包括:过氧化氢5~18%、至少具有两个羧基的有机酸3~10%、胺类化合物3~10%、过氧化氢稳定剂0.05~3%、含氮杂环化合物0.02~0.5%、可电离出氟离子的化合物0.001~0.1%、去离子水余量。
9.根据权利要求7所述的铜金属蚀刻液组合物,其特征在于,所述b组分,以b组份总重百分比计,包括:至少具有两个羧基的有机酸5~30%、胺类化合物5~30%、过氧化氢稳定剂0.05~2%、含氮杂环化合物0.02~0.8%、去离子水余量。
10.一种根据权利要求1~9任一项所述的铜金属蚀刻液组合物的使用方法,在使用a组分对以铜为主要成分的铜合金多层薄膜进行蚀刻时,随着铜离子浓度每升高100ppm,向a组分中补加0.05~0.3%a组分重量的b组分。