1.一种镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤1的具体操作为：将铈金属原料投入熔炼炉中加热到850℃熔炼60min得到液态铈，将镍金属原料投入熔炼炉中加热到1500℃熔炼60min得到液态镍，将铂金属原料投入熔炼炉中加热到1800℃熔炼60min得到液态铂。
3.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤2中，气水联合雾化制粉造粒中气雾化的气体为氮气，气压为0.9mpa，氮气喷射方向与竖直向下方向的夹角为45°，水雾化的液体为水、硫酸/过氧化氢微蚀剂和分散剂组成的混合液体，水压为130mpa，水的喷射方向与竖直向下方向的夹角为35°。
4.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤3的具体操作为：将镍粉a与氧化锆球按照质量比1:5的比例加入球磨罐中，充入氩气并加入异丙醇进行湿法球磨、离心分离得到镍粉b，球磨转速为200r/min，球磨时间为2h；以同样的方式分别将铂粉a、铈粉a进行湿法球磨、离心分离得到铂粉b、铈粉b；然后再将镍粉b、铂粉b、铈粉b放入v型混合机中混合12h得到镍铂铈合金粉末。
5.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤4中真空热脱气的温度为300-500℃，真空度大于1×10-3pa小于8×10-3pa，保温时间为1-5h。
6.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤5的冷态增压烧结具体操作为：先升温至300-600℃，在90-180mpa压力下保温保压1-8h进行预热等静压处理，然后升温至800-1000℃，在90-180mpa压力下保温保压3-8h进行热等静压处理，将模具去掉，得到镍铂铈合金靶胚。
7.根据权利要求1-6任一所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤4中将镍铂铈合金粉末装入模具的过程需在惰性气体保护下进行。
8.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述分散剂为三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、焦磷酸钠、脂肪酸聚乙二醇酯、聚醚中的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的镍铂铈合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤3的镍铂铈合金粉末中，镍粉b、铂粉b、铈粉b的质量比为93.2-97.1：2.3-5.6：0.6-1.2。
10.一种镍铂铈合金靶材，其特征在于，采用如权利要求1-9任一所述的镍铂铈合金靶材的制备方法制备得到。