一种拉升式可稳定研磨的硅片研磨装置的制作方法

文档序号:36271569发布日期:2023-12-06 19:38阅读:31来源:国知局
一种拉升式可稳定研磨的硅片研磨装置的制作方法

本发明涉及研磨,具体为一种拉升式可稳定研磨的硅片研磨装置。


背景技术:

1、硅片在很多领域都是非常重要和常见上端电子元件,硅片研磨机广泛用于硅片研磨、硅片抛光、锌合金研磨抛光、光纤接头、不锈钢平面抛光、led蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、诸片、模具、导光板等各种材料的单面研磨、抛光,且就到硅片进行研磨是必不可少的步骤,在申请号为201810318096.4的中国专利公开了“一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置,包括工作板,所述工作板顶部的左右两侧均固定连接有安装板,两个安装板的顶部固定连接有横板,横板的顶部开设有五个通孔。本发明解决了现在的硅片在进行打磨的时候,不能够稳定的进行打磨,同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片,会导致硅片在加工的时候,成品率降低的问题。本发明通过拉升机构的电机b工作,使得转轴b转动,转筒旋转,并且带动两侧的绳索移动,使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。”

2、现有技术仅仅解决了,现在的硅片在进行打磨的时候,不能够稳定的进行打磨,同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片,会导致硅片在加工的时候,成品率降低的问题,但是通过拉伸的方式在研磨进行保护时,进行打磨时的转速始终保持高速的转动,如果进行拉伸保护时,会产生延时的情况,如果在拉伸的过程中还保持高速的转动就会对硅片造成打磨过度的情况发生,且采用放置槽的方式放置硅片,而硅片与放置槽内部会存在空隙,如果在打磨的过程中产生的碎屑跑到缝隙内部,就会使硅片受到挤压产生偏移,后期还需要进行处理,不够快捷增加工作强度。


技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种拉升式可稳定研磨的硅片研磨装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种拉升式可稳定研磨的硅片研磨装置,包括工作底框,所述工作底框顶端通过螺栓安装有工作框,还包括;

3、拉伸机构,所述拉伸机构包括单相电机和安装框头,所述安装框头通过螺栓安装在工作框顶端中部,所述单相电机通过螺栓安装在安装框头顶端;

4、清理机构,所述清理机构包括收集管,所述收集管通过螺栓安装在工作框左侧中部;

5、放置机构,所述放置机构包括操作板、活动放置板和限位吸盘,所述活动放置板活动放置在工作框内腔底端,所述操作板通过螺栓安装在活动放置板右侧端,两个所述限位吸盘分别设置在活动放置板顶端两侧;

6、移动打磨机构,所述移动打磨机构包括两个转动电机和固定架,所述固定架活动安装在工作框内腔中部,两个所述转动电机安装在固定架两端;

7、活动环槽,两个所述活动环槽分别开设在限位吸盘顶端,所述活动环槽内部活动安装有活动顶环,所述活动顶环底端四周等距安装有若干顶料杆,所述限位吸盘底端开设有若干连接凹口,所述顶料杆底端与连接凹口内腔顶端通过螺栓安装有顶料弹簧,所述活动顶环顶端活动安装有接触环,所述活动顶环顶端开设有环形滑槽,所述环形滑槽内部活动安装有环形滑条,所述环形滑条顶端通过螺栓与接触环底端连接。

8、优选的,所述拉伸机构还包括收集辊、拉绳、导线框和固定弹簧,所述收集辊活动安装在安装框头内腔,所述单相电机底端贯穿安装框头通过螺栓与收集辊顶端连接,所述拉绳活动缠绕在收集辊外部,两个所述导线框分别通过螺栓安装在安装框头两侧中部底端,所述拉绳且远离收集辊的一端贯穿导线框内部伸在工作框内部,两个所述固定弹簧分别通过螺栓安装在工作框内腔顶端两侧中部。

9、优选的,所述拉绳为双股拉绳,所述安装框头两侧中部底端和工作框顶端两侧位于拉绳的相对位置均开设有活动通孔,所述工作底框前侧上端通过螺栓安装有控制面板,所述单相电机和转动电机分别通过导线与控制面板电性连接,且控制面板外部配设安装有报警器。

10、优选的,所述清理机构还包括收集袋和吹风机,所述收集袋通过螺栓安装在收集管且远离工作框的一端,所述吹风机通过螺栓安装在工作框右侧中部,所述吹风机与控制面板电性连接,所述工作框两侧中部均开设有排风通口。

11、优选的,所述放置机构还包括放置槽口和传动处理机构,两侧所述放置槽口开设在活动放置板顶端两侧中部,所述活动放置板呈矩形结构,所述工作框右侧底端开设有操作通槽,所述放置槽口和限位吸盘俯视均呈圆形结构,两个所述传动处理机构分别活动安装在放置槽口内腔上端,所述限位吸盘均位于放置槽口内部。

12、优选的,所述传动处理机构包括活动环、扇头、安装底槽、喷气通口、磁块、齿轮、传动杆、传动带和齿块,所述安装底槽开设在放置槽口内腔底端,所述活动环活动安装在安装底槽内腔上端,若干个所述磁块分别通过点焊安装在活动环内腔四周,两个所述扇头分别通过转轴杆安装在安装底槽内腔底端,两个所述传动杆分别通过轴承安装在两侧的安装底槽内腔相反一侧中部,两侧所述齿轮分别通过螺栓安装在传动杆顶端,若干个所述喷气通口开设在安装底槽内腔顶端四周,若干个所述齿块通过焊接安装在活动环外部四周,两侧所述齿轮分别与齿块和齿块形成的齿槽相啮合,所述传动杆底端和转轴杆底端均通过螺栓安装有转轮,两个所述传动带分别活动安装在两侧的转轮外部之间。

13、优选的,所述移动打磨机构还包括打磨盘、稳定滑轨、稳定滑架、稳定滑块、稳定环轴、异常保护机构和变速机构,四个所述稳定滑轨分别通过螺栓安装在工作框内腔两侧前端和后端,两个所述稳定滑架通过螺栓安装在两侧的转动电机相反一侧中部上端,四个所述稳定滑块通过螺栓安装在两侧的稳定滑架相反一侧前端和后端,所述稳定滑块均与稳定滑轨内部滑动连接,所述拉绳底端通过螺栓与转动电机和固定架顶端连接,两个所述打磨盘通过螺栓安装在转动电机底端,两侧所述异常保护机构通过螺栓安装在打磨盘顶端右侧,所述变速机构活动安装在左侧前端的稳定滑轨内腔左侧,两个所述稳定环轴分别通过螺栓安装在转动电机外部底端,所述稳定环轴底端通过螺栓与打磨盘顶端连接,两侧所述打磨盘外部四周通过螺栓安装有磁环。

14、优选的,所述变速机构包括导线圈、安装长槽、弹性顶条、安装槽口和弹性导块,所述安装长槽开设在稳定滑轨内腔左侧中部,所述导线圈通过螺栓安装在安装长槽内部,所述导线圈底端与两侧的转动电机电性连接,所述安装槽口开设在稳定滑块左侧中部,若干个所述弹性顶条通过螺栓安装在安装槽口内腔右侧,所述弹性导块通过螺栓安装在弹性顶条左侧,所述弹性导块且远离安装槽口的一侧与导线圈外部接触,所述弹性导块与转动电机电性连接。

15、优选的,所述异常保护机构包括触发筒、活动块、连接气囊、安装环套、接触导块、顶针、保护导块和锌条,所述触发筒通过螺栓安装在打磨盘顶端右侧,所述锌条通过安装在触发筒内腔底端,所述锌条底端与打磨盘底端的打磨层连接,所述活动块活动安装在锌条顶端,两个所述保护导块分别安装在活动块顶端和触发筒内腔顶端,上端与下端所述保护导块与报警器电性连接,两个所述连接气囊通过螺栓安装在两侧的触发筒内腔一侧中部,两个所述安装环套通过螺栓安装在触发筒一侧中部底端,所述连接气囊底端均通过粘接安装有连接杆,两侧所述接触导块分别通过螺栓安装在连接杆底端和触发筒内腔一侧,所述接触导块之间相互接触,两侧所述接触导块与转动电机电性连接。

16、优选的,两侧所述稳定环轴内腔上端分别通过螺栓安装有接触导环,所述转动电机一侧底端通过螺栓安装有接通导块,所述接触导块与接触导环接触,所述接通导块与接触导环分别与接通导块和保护导块电性连接,所述活动环顶端与底端均通过螺栓安装有稳定滑环,所述安装底槽内部位于稳定滑环的相对位置开设有稳定环槽,所述稳定滑环与稳定环槽内部滑动连接。

17、与现有技术相比,本发明的有益效果是:

18、1、本发明在使用的过程中,通过拉伸机构启动移动打磨机构,并通过移动打磨机构启动变速机构,则就会产生意外情况往上移动时,就会使打磨端的转速逐渐变小,增加产生意外情况时对硅片的保护能力,避免在打磨过程中,当打磨端往上移动保护时,打磨端的转速始终保持高速的转动,使硅片产生损毁的情况,且打磨过程中产生异常时,还会触发异常保护机构,就会在第一时间进行保护,停止进行打磨工作,同时对打磨端和硅片进行保护,防止在进行打磨过程中产生异常,而工作人员不能在第一时间发现问题,导致打磨过失使硅片产生破损的情况;

19、2、本发明同时通过移动打磨机构启动传动处理机构,直接把落在放置槽口内腔底端四周的碎屑直接清理掉,增加打磨过程中的稳定性和防护性,避免在打磨的过程中,产生大量的碎屑跑到硅片与放置槽口之间的缝隙里面,随着碎屑积累的越来越多,就会对硅片进行挤压,导致硅片产生偏移或者随时掉落到放置槽口内部不能及时处理掉,导致硅片放置进行不够平整,导致后期加工的硅片达不到合格的标准,后续还需要进行返工;

20、3、本发明通过疏导口使扇头的风气吹送到硅片外部,避免硅片在加工的过程中,温度过高造成损毁的情况,同时还可以对硅片底端粘连上端的杂质进行处理,且进行更换硅片时要么使用外部的工具,要么人工把硅片扣起来进行更换,大大地降低了加工时的效率,且通过顶起换料更加的快捷,并不用任何的工具进行更换操作,大大降低了加工更换时的局限性,防止在更换时需要使用外部的工具,降低更换加工时的效率。

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