一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺的制作方法

本发明涉及掩膜版生产，特别涉及一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺。

背景技术：

1、相关技术中，oled(有机发光二极管)显示装置具有全固态、主动发光、响应速度快、高对比度、无视角限制及可实现柔性显示等诸多优点，是二十世纪中期发展起来的一种新型显示技术，被广泛应用于人们的日常生产、生活中。oled显示装置将成为下一代最理想的平面显示装置，其优越性能和巨大的市场潜力，吸引全世界众多厂家和科研机构投入到oled显示装置的生产和研发中。蒸镀技术是已有oled器件制备中普遍使用的制备有机薄膜的工艺手段，其具有沉积速度快，成膜均一性好等优点，在掩膜版生产过程中需要进行对掩膜版的进行曝光然后化学蚀刻形成蒸馏孔。

2、现有技术中，大多掩膜版在曝光前没有对掩膜版厚度进行平整调整，导致曝光时不同地方厚度不同，造成化学侵蚀时蒸馏孔不准确。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于掩膜版生产用的喷压设备及其生产工艺，以解决上述问题。

2、有鉴于此，本发明提供一种用于掩膜版生产用的喷压设备，包括：

3、两个支撑架，间隔设置于地面上；

4、传输带，设置于两个支撑架之间；

5、安装架，安装于两个支撑架上且位于传输带的上方；

6、厚度检测装置，固定端安装于安装架底端，输出端朝向于传输带顶端；

7、以及喷压装置，固定端安装于安装架顶端，输出端贯穿安装架朝向于传输带延伸；

8、其中，所述喷压装置内放置侵蚀液，当研磨板在所述传输带上移动时，所述厚度检测装置进行对研磨板检测，然后所述喷压装置根据掩膜版的厚度情况进行喷淋侵蚀液，从而达到研磨板的厚度统一。

9、通过采用上述技术方案，通过支撑架的设置，能够使得传输带得到安装，通过安装架的设置，能够使得厚度检测装置与喷压装置得到安装，通过传输带的设置，能够使得掩膜版被输送至厚度检测装置下方进行检测厚度，并且厚度检测装置将检测的厚度传输至喷压装置上，然后喷压装置根据研磨板测得的厚度情况进行喷出侵蚀液，从而首先使研磨板顶端的部分加工成平整状态，然后将掩膜版翻面，放置在传输带上，再次移动至厚度检测装置上，厚度检测装置在根据测得研磨板的顶端厚度情况输送至喷压装置上，这次喷压装置根据掩膜版的厚度再加上平整情况进行喷出侵蚀液，从而使得加工得到的研磨板整体平整及厚度达到需求，上述厚度检测装置为现有技术。

10、在上述技术方案中，进一步的所述喷压装置包括；

11、储液箱，设置于安装架顶端；

12、过滤收集机构，固定端设置于储液箱顶端，输出端连通于储液箱内，输入端位于储液箱上方；

13、喷液机构，固定端安装于安装架顶端内，输入端连通于连接于储液箱内，输出端贯穿安装架朝向于传输带延伸；

14、其中，所述安装架顶端设有供喷液机构安装的安装槽，所述过滤收集机构用于将侵蚀液进行过滤然后排放至储液箱内。

15、本技术方案中，通过储液箱的设置，能够存放侵蚀液，通过过滤收集机构的设置，能够将侵蚀液进行过滤后存入储液箱内，通过喷液机构的设置，能够将需要的侵蚀液的量喷在掩膜版上，上述喷液机构可根据需求可多个陈排设置，使得不同长度方向上的掩膜版也能够进行厚度调节达到最佳。

16、在上述技术方案中，进一步的所述过滤收集机构包括：

17、排滤抽液结构，设置于储液箱顶端，且排滤抽液结构的输出端连通于储液箱内，输入端位于背离储液箱的一侧；

18、连接管，套置于排滤抽液结构的输出端上，另一端背离排滤抽液结构延伸；

19、收集斗，连接于连接管背离排滤抽液结构的一端；

20、挡板，设置于连接管内壁上，且挡板上设有进液孔，

21、以及过滤板，设置于进液孔内壁上；

22、其中，所述收集斗方便侵蚀液投入，所述挡板用于挡住没有过滤的侵蚀液，所述过滤板用于过滤侵蚀液，所述排滤抽液结构用于将过滤完的侵蚀液抽送至储液箱内并且可定期排出过滤板上的杂质。

23、本技术方案中，首先侵蚀液通过收集斗进入连接管内，然后通过挡板的进液孔，再经过过滤板过滤流入连接管与排滤抽液结构之间，此时排滤抽液结构进行将过滤后的侵蚀液抽取输送至储液箱内并且定期将过滤板上的杂质抽取排出防止堵塞。

24、在上述技术方案中，进一步的所述排滤抽液结构包括：

25、承载体，一端连接于储液箱顶端，另一端连接于连接管内壁上；

26、抽取腔，设置于承载体内；

27、排杂腔，设置于承载体内；

28、抽取塞，活动连接于抽取腔内；

29、抽杂塞，活动连接于排杂腔内；

30、抽取通道，一端开口位于承载体端部并且位于连接管内，另一端连接于抽取腔内；

31、排出通道，一端连通于储液箱内，另一端贯穿承载体连通于抽取腔内；

32、抽杂通道，一端贯穿承载体连通于排杂腔内，另一端贯穿挡板连通于进液孔内壁内；

33、以及排杂通道，一端贯穿承载体连通于排杂腔内，另一端贯穿至连接管外部；

34、其中，所述抽杂通道与排杂通道均连通于排杂腔朝向于挡板的一侧，所述抽杂塞朝向于挡板的一侧与排杂腔内壁之间设有两个相对设置的弹性件。

35、本技术方案中，当需要抽取侵蚀液进入储液箱内时，抽取塞进行活动，从而使得抽取通道产生负压对侵蚀液进行抽取，然后排入排出通道进入储液箱内，当需要抽杂排出时，抽杂塞进行活动，从而使得抽杂通道产生负压，将过滤板上的杂质抽取然后排入排杂通道内，最终排出，通过弹性件的设置，能够使得排杂。

36、在上述技术方案中，进一步的所述抽取通道、排出通道、抽杂通道及排杂通道内均设有单通阀，所述抽杂塞在初始状态下将抽杂腔封闭，当所述抽取塞在不接触抽杂的情况下做往复运动时，所述抽取通道内产生负压对侵蚀液进行抽取，并由排出通道排入储液箱内，当所述抽杂塞在抽取通道与排出通道被抽取塞封闭并接触抽取塞的情况下做往复运动时，所述抽杂腔产生负压通过抽杂通道对过滤孔内的杂质抽取，并通过排杂通道排出。

37、本技术方案中，通过单通阀的设置，能够防止抽取通道、排出通道、抽杂通道及排杂通道内进行回流，抽杂塞在初始状态下将抽杂腔封闭，当抽取塞在不接触抽杂的情况下做往复运动时，抽取通道内产生负压对侵蚀液进行抽取，并由排出通道排入储液箱内，当抽杂塞在抽取通道与排出通道被抽取塞封闭并接触抽取塞的情况下做往复运动时，抽杂腔产生负压通过抽杂通道对过滤孔内的杂质抽取，并通过排杂通道排出设置，能够使得整个工序完整流畅。

38、在上述技术方案中，进一步的所述喷液机构包括：

39、安装箱，设置于安装槽内；

40、传输管，一端位于安装架下方，另一端依次贯穿安装架、安装箱、储液箱底端及连通于储液箱内；

41、空气雾化喷头，连接于传输管底端开口处；

42、以及流量调节结构，输出端连通于传输管外侧壁内并且位于安装箱内，输入端贯穿安装箱连通于储液箱内；

43、其中，所述传输管与储液箱连接处设有第一控制阀，所述流量调节结构用于增加传输管输出侵蚀液的流量。

44、本技术方案中，通过安装箱的设置，能够使得传输管与流量调节结构得到安装，通过传输管的设置，能够将储液箱内的侵蚀液流入空气雾化喷头上，通过流量调节结构的设置，能够使得侵蚀液流出的量得到控制，从而达到喷出的侵蚀液量不同，最终达到不同厚度的研磨板厚度统一。

45、在上述技术方案中，进一步的所述流量调节结构包括：

46、第一活动套管，活动套设于传输管外侧壁上；

47、第二活动套管，活动套设于第一活动套管的外侧壁上；

48、第一伸缩缸，固定端连接于安装箱顶端内壁上，输出端连接于第一活动套管的顶端；

49、第二伸缩缸，固定端连接于安装箱顶端内壁上，输出端连接于第二活动套管的顶端；

50、以及输液组件，输入端贯穿安装箱连通于储液箱内，输出端分别贯穿第一活动套管、第二活动套管及连通于传输管内；

51、其中，当所述第一伸缩液压缸伸出时，所述第一活动套管上的输液组件连通并且慢慢变大，当所述第二伸缩液压缸伸出时，所述第二活动套管上的输液组件连通并且慢慢变大。

52、本技术方案中，初始状态下空气雾化喷头喷出的量根据传输管与第一控制阀打开的量，然后当第一伸缩液压缸伸出时，第一活动套管上的输液组件连通并且慢慢变大，从而增加了全开状态的传输管内流速，伸出的距离越多打开的越多，当完全打开时，第二伸缩液压缸伸出，第二活动套管上的输液组件连通并且慢慢变大，从而再次增加侵蚀液的流速，从而达到控制侵蚀液喷出的量的控制。

53、在上述技术方案中，进一步的所述输液组件包括：

54、两个第一输液管，一端分别贯穿安装箱顶端并且连通于储液箱内，另一端分别贯穿第一活动套管的两侧并且抵触于传输管的外侧壁上；

55、两个第而输液管，一端分别贯穿安装箱顶端并且连通于储液箱内，另一端分别贯穿第二活动套管的两侧并且抵触于第一活动套管两侧外侧壁；

56、以及四个第二控制阀，分别设置于第一输液管和第二输液管内壁上；

57、其中，所述传输管外侧壁上设有用于第一输液管下降后连通的第一输液孔，所述第一活动套管外侧壁上设有用于第二输液管直接连通的第二输液孔，所述传输管的外侧壁上设有用于第一活动套管下降和第二活动套管下降后第二输液管连通的第三输液孔。

58、本技术方案中，通过第一输液管与第二输液孔的配合，能够使得传输管内侵蚀液的流量增加，通过第二输液孔、第三输液孔及第二输液管的配合，能够使得侵蚀液的整体流量再次增加。

59、在上述技术方案中，进一步的包括如下步骤：

60、s1：首先将掩膜版放置在传输带上，传输带将研磨板朝向于厚度检测装置下方移动；

61、s2：厚度检测装置将测得的掩膜版厚度传输至喷压装置上；

62、s3：喷压装置根据掩膜版的厚度情况进行喷出对应的侵蚀液量；

63、s4：将掩膜版翻面进行上述s2和s3步骤从而得到掩膜版两面加工。

64、本技术方案中，通过s1的设置，能够使得掩膜版自动输送，通过s2的设置，能够将掩膜版的厚度检测输送至喷压装置上，通过s3的设置，能够使得喷压装置的顶端面加工成平整状态，通过s4的设置，能够使得掩膜版两面加工成需要的厚度与平整度。