本发明涉及母线回收,尤其涉及一种金刚线的退镀装置。
背景技术:
1、金刚线作为硅片切割环节的核心耗材,在硅片薄片化和硅料价格高的背景下,金刚线细线化趋势越来越明显。随着碳钢母线逐步接近材料的物理极限,线径缩小已接近极限,非碳钢母线突破线径瓶颈且性能优异,成为新一代金刚线母线材料。
2、由于非碳钢母线(尤其是钨丝母线)的价格比较高,其金刚线的成本一直高居不下,限制了非碳钢母线电镀金刚线的发展空间,因此,如何降低非碳钢母线电镀金刚线的成本成为亟待解决的难题。现有技术中降低非碳钢母线电镀金刚线成本的方式之一是将非碳钢母线旧线二次利用,非碳钢母线旧线二次利用可以扩大金刚线母线来源,从而间接降低金刚线的母线成本。
3、母线旧线二次利用的关键技术之一是母线表面镀层退镀,常见的退镀方法包括化学退镀和电解退镀,化学退镀是将母线浸入含有多种成分的退镀液中浸泡,以除去镀层,化学退镀的优点是操作方便,缺点是成本高,污染大。电解退镀是将母线作阳极,放入退镀溶液中进行通电处理,以除去镀层。电解退镀的优点是退镀快、成本低、污染小,缺点是需要一定设备。
4、有鉴于此,急需研究出一种金刚线的退镀装置,批量完成非碳钢金刚线退镀。
技术实现思路
1、本发明通过提供一种金刚线的退镀装置,解决了现有技术中母线批量退镀问题,实现了母线退镀及二次回收。
2、本发明提供了一种金刚线的退镀装置,包括:
3、对旧金刚线退镀的金刚线退镀机构,所述金刚线退镀机构内盛放有退镀液,旧金刚线放置在退镀液中进行退镀作业,退镀液退镀掉旧金刚线的镀层,旧金刚线上固定于镀层的金刚石随镀层一并脱落到所述金刚线退镀机构,旧金刚线的母线出所述金刚线退镀机构;
4、对母线进行中和反应的碱洗中和机构,所述碱洗中和机构内盛放有碱溶液,从所述金刚线退镀机构出来的母线进入所述碱洗中和机构进行中和反应得到碱洗中和母线;
5、对碱洗中和母线进行后处理的后处理单元,从所述碱洗中和机构出来的碱洗中和母线进入所述后处理单元处理成再利用母线;
6、对再利用母线进行收线的母线收线机构,从所述后处理单元出来的再利用母线进入所述母线收线机构,所述母线收线机构将再利用母线收卷处理;
7、配合所述母线收线机构促使旧金刚线、母线、碱洗中和母线和再利用母线处于张紧状态的母线放线机构,所述母线放线机构位于所述金刚线退镀机构的前端,所述母线放线机构和所述母线收线机构共同向旧金刚线提供张力,经所述母线放线机构张紧的旧金刚线进入所述金刚线退镀机构;
8、所述母线包括钨丝、不锈钢丝、钼丝、钛丝中的任意一种。
9、作为本发明的进一步改进,还包括:废气处理装置;
10、所述废气处理装置连通所述金刚线退镀机构,所述废气处理装置处理所述金刚线退镀机构的气体;
11、或者,
12、所述废气处理装置连通所述金刚线退镀机构和所述碱洗中和机构;所述废气处理装置和所述碱洗中和机构共同处理所述金刚线退镀机构产生的气体。
13、作为本发明的进一步改进,所述母线放线机构包括n个伺服放线机构和对应n个所述伺服放线机构的n个导线机构,所述金刚线退镀机构包括n条退镀线路,所述碱洗中和机构包括n条碱洗中和线路,所述后处理单元包括n条后处理线路,所述母线收线机构包括n条收线线路,n≥2;
14、1~n路旧金刚线进入所述退镀装置,使得所述退镀装置同一时间处理1~n路旧金刚线,其中,每路旧金刚线绕制于一条伺服放线机构和导线机构,从母线放线模组进入一条退镀线路,从一条退镀线路进入一条碱洗中和线路,从碱洗中和线路进入一条后处理线路,从一条后处理线路进入一条收线线路,以实现一路旧金刚线依次经过绕制-退镀-碱洗中和-后处理-收线处理成再利用母线。
15、作为本发明的进一步改进,所述母线放线机构包括:放置于地面的安装架、安装于所述安装架的n个伺服放线机构、连接n个所述伺服放线机构的导线机构;
16、所述伺服放线机构包括:滚轮和驱动所述滚轮转动的放线伺服电机;旧金刚线缠绕于所述滚轮上;
17、所述导线机构包括:竖直设置的安装板和设置于所述安装板侧壁上的若干个导线轮和摆杆伺服机构;
18、其中,若干个所述导线轮间隔设置;
19、所述摆杆伺服机构沿竖直方向设置于相邻的所述导线轮之间,并能够沿竖直方向摆动;
20、旧金刚线由所述伺服放线机构驱动送线,依次缠绕于若干个所述导线轮和所述摆杆伺服机构并沿所述导线轮和所述摆杆伺服机构移动到所述金刚线退镀机构。
21、作为本发明的进一步改进,n个所述伺服放线机构和n个所述导线机构平行于第一方向设置为两排,且放线伺服电机沿第二方向远离所述安装板设置;
22、旧金刚线由所述伺服放线机构沿所述第二方向出线至所述导线机构;旧金刚线经所述导线机构传导后,沿所述第一方向导出至所述金刚线退镀机构;
23、所述第一方向和所述第二方向相交。
24、作为本发明的进一步改进,所述金刚线退镀机构包括:盛放有退镀液的退渡槽、延长母线在退镀槽内浸泡时间的绕线模块、安装于退镀槽的入口过线轮和出口过线轮;
25、旧金刚线从所述入口过线轮进入所述退镀槽,在所述退镀槽内退镀并绕过所述绕线模块来到所述出口过线轮,母线从所述出口过线轮进入所述碱洗中和机构。
26、作为本发明的进一步改进,退镀槽包括:盛放有退镀液供旧金刚线退镀的上层槽、盛放有退镀液用来加热退镀液的下层槽、将所述下层槽内热退镀液输送到所述上层槽以及将所述上层槽内降温退镀液输送到所述下层槽继续加热的循环输送系统、安装于所述下层槽的加热模块;
27、所述绕线模块安装于所述上层槽内,所述入口过线轮和所述出口过线轮均安装于所述上层槽的槽壁。
28、作为本发明的进一步改进,所述碱洗中和机构包括:用于盛放碱洗液的碱洗槽、设置于碱洗槽的进线轮和出线轮;
29、从所述金刚线退镀机构出来的母线通过所述进线轮进入所述碱洗槽,经所述碱洗槽碱洗中和反应的碱洗中和母线从所述出线轮出所述碱洗槽。
30、作为本发明的进一步改进,所述碱洗槽包括碱洗主槽和碱洗副槽,所述碱洗副槽内装入有碱洗溶液,所述碱洗副槽内安装有磁力泵;
31、所述磁力泵将碱洗溶液通过进液管注入所述碱洗主槽,所述碱洗主槽内安装有挡液溢流板,通过所述挡液溢流板溢流的碱洗溶液通过管道回到所述碱液副槽。
32、作为本发明的进一步改进,所述后处理单元包括:
33、对碱洗中和母线进行水洗处理的水洗机构,所述水洗机构内存储有水,从所述碱洗中和机构出来的碱洗中和母线进入所述水洗机构水洗成水洗母线;
34、对水洗母线干燥处理的烘干机构,从所述水洗机构出来的水洗母线进入所述烘干机构干燥处理成再利用母线。
35、作为本发明的进一步改进,所述母线收线机构包括:收线过线轮、收线摆杆机构、收线伺服模组机构;
36、再利用母线通过收线过线轮、收线摆杆机构到收线伺服模组机构,对再利用母线进行收线。
37、本发明中提供的一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果或优点:
38、本发明通过退镀液将金刚线镀层退镀掉,然后将母线回收重新利用,有效解决了现有技术中母线批量退镀问题,进而实现了低成本退镀母线及母线二次回收降低金刚线生产成本。