真空镀膜设备的制作方法

本发明涉及真空镀膜领域，特别涉及一种真空镀膜设备。

背景技术：

1、红外镀膜工艺是一种广泛应用于红外技术和光学领域的技术手段，其主要是通过在光学元件表面镀覆一层特殊材料，以改变光学元件的透射、反射和吸收特性，从而实现对红外光的传输和控制。

2、溅射镀膜机是一种常用的表面处理设备，通过将材料蒸发并沉积在基底表面形成一层薄膜，以改善基底的物理、化学和光学性质；溅射源是溅射镀膜机的核心部件之一，通常由靶材和阴极组成，靶材是被沉积到基底表面的材料，可以是金属、合金或化合物等，阴极则提供了电子，使得靶材被激发并产生离子；在溅射镀膜过程中，需要一个气体环境来保护靶材和基底，并控制沉积速率和成分。通常使用惰性气体(如氩气)作为保护气体，并通过调节气压和流量来控制沉积速率；当阴极提供电子时，它们会与惰性气体中的原子或分子碰撞产生离子这些离子会被加速并撞击到靶材表面，从而使得靶材中的原子或分子被激发并蒸发；靶材蒸发的原子或分子会向基底表面沉积，并形成一层薄膜，沉积速率可以通过调节气压、流量和离子能量等参数来控制，同时，可以通过更换不同的靶材来改变沉积膜的成分和性质。

3、目前，市面上的红外镀膜设备大多是单开门设计，因此在需要多个靶枪依次进行镀膜时，则需要取出重新放置，而镀膜设备装载和卸载工件，每次更换工件都需要排气和抽真空，此过程时间相对较浪费，而且多个设备占用大量的空间。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种真空镀膜设备，具有多个溅射源依次对工件进行镀膜、节约时间、方便拿取工件、方便根据工件调节溅射源于工件之间距离的优点。

2、本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：

3、真空镀膜设备，包括架台，所述架台的顶部自左向右依次固定放置有过渡腔和四个镀膜腔，所述过渡腔与四个镀膜腔均相连通，所述过渡腔与最左侧的镀膜腔之间设有插板阀；

4、所述过渡腔的腔体内设有工件移栽机构，四个所述镀膜腔的内部上端设有移动小车，每两个相邻的镀膜腔的连接处的下方均设有两个溅射源机构。

5、其中优选方案如下：

6、优选的：所述工件移栽机构包括安装板、两个第一滑行轨道、第一位移板、第二位移板、第一驱动机构、叉臂；

7、所述安装板为方形板，两个所述第一滑行轨道分别呈横向固定位于安装板的顶部前侧与顶部后侧，所述第一位移板滑移连接于两个第一滑行轨道之间，所述第二位移板滑移连接于第一位移板的顶部，所述叉臂转动连接于第二位移板的顶部右侧，所述第一驱动机构位于安装板的底部，所述第一驱动机构与第一位移板传动连接，所述第一位移板与第二位移板传动连接；

8、两个所述第一滑行轨道沿安装板的横向中心轴线镜像对称放置，位于前侧的第一滑行轨道的后侧部的上端与下端分别开设有横向的第一滑槽与第二滑槽，所述第一位移板的纵向竖截面呈“u”形，所述第一位移板的前侧部上端与后侧部上端均设有第一滚轮组件，两组所述第一滚轮组件分别位于其对应的第一滑槽内，所述第一位移板的前侧部下端固定设有横向放置的第一齿条，所述第一位移板通过第一齿条与第一驱动机构传动连接；

9、所述第一位移板的内部前侧壁上端与内部后侧壁上端均设有第二滚轮组件，所述第二位移板与两组第二滚轮组件滑移连接，所述第二位移板的纵向竖截面呈“冂”形，所述第二位移板的前侧部与后侧部均设有呈横向的第三滑槽，两组所述第二滚轮组件分别位于其对应的第三滑槽内。

10、优选的：所述安装板的顶部横向放置有第二齿条，所述第一位移板的内部底壁的中间位置设有第一齿轮和第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮同轴固定连接，第二齿轮位于第一齿轮的后侧，所述第一齿轮与第二齿条相啮合；

11、所述第二位移板的内部顶壁横向放置有第三齿条，所述第一位移板的内部底壁的右侧设有第三齿轮和第四齿轮，所述第三齿轮与第四齿轮同轴固定连接，第四齿轮位于第三齿轮的后侧，所述第四齿轮与第三齿条相啮合，所述第二齿轮与第三齿轮上套设有链条。

12、优选的：所述第一驱动机构包括第一电机、第五齿轮，所述第一电机固定位于架台左侧内部顶壁，所述位于前侧的第一滑行轨道的前侧部开设有第一方形穿孔，所述第一方形穿孔与第二滑槽相连通，所述第五齿轮位于第一方形穿孔内，所述第五齿轮与第一齿条相啮合，所述第五齿轮与第一电机传动连接。

13、优选的：所述工件移栽机构还包括顶升机构，所述顶升机构包括第二电机、第六齿轮、第七齿轮、丝杆、螺母座、两组导向机构，所述螺母座包括外壳与丝杆螺母，所述丝杆螺母转动连接于外壳内部，所述外壳与第二电机均固定位于架台左侧内部顶壁，所述丝杆与丝杆螺母螺纹连接，所述丝杆的顶部与安装板的底部转动连接，所述第六齿轮与第二电机的转动轴固定连接，所述第七齿轮与丝杆螺母固定连接，所述第六齿轮与第七齿轮相啮合；

14、两组所述导向机构分别固定位于安装板的底部前侧与底部后侧，两组所述导向机构沿安装板的横向中心轴线镜像对称放置，每组导向机构均包括两个连接块、两个第四齿条、两个第八齿轮、两个导向杆、两个安装块、转轴，所述安装板的底部右侧的前侧与后侧、两个第一滑行轨道的底部左侧均固定设有连接块，每个所述连接块上均固定设有第四齿条，两个所述转轴分别位于安装板的底部前方与底部后方，每个所述转轴的左端与右端均固定设有第八齿轮，每个所述第八齿轮均与其对应的第四齿条相啮合，所述安装板的四角处均固定设有法兰直线轴承，四个所述导向杆分别呈竖直状滑移连接于四个法兰直线轴承内，四个导向杆的底部均设有安装块，每个安装块分别套设于其对应的转轴上，所述架台的顶部左侧固定设有纵向竖截面呈“冂”形的安装架，四个所述安装块分别固定位于安装架的内部前侧壁与内部后侧壁；

15、所述安装架的顶部开设有第二方形穿孔，所述安装板位于第二方形穿孔内。

16、优选的：所述移动小车包括两组丝杆导轨滑台、放置板、第三电机、第九齿轮、第十齿轮、放置腔、工件盘，两组所述丝杆导轨滑台分别固定位于四个镀膜腔的内部顶壁的前侧与后侧，所述放置板与两组丝杆导轨滑台滑移连接，所述第九齿轮与第十齿轮均转动连接于放置板的顶部，所述第九齿轮与第十齿轮相互啮合，所述第十齿轮位于放置板中间位置，所述放置腔位于放置板正下方，所述第十齿轮与放置腔固定连接，所述第三电机固定位于放置板底部，所述第三电机与第九齿轮传动连接，所述工件盘固定位于放置腔内。

17、优选的：所述工件盘呈圆柱形，所述工件盘的顶部设有圆形槽，所述圆形槽的底部设有圆形穿孔，所述圆形槽内部设有压块，所述压块与圆形槽内部底壁之间设有工件；

18、所述工件盘的外侧壁上端设有圆环状的卡环，所述卡环的顶部与工件盘的顶部平齐，所述卡环的左侧与右侧均设有定位孔，所述卡环的前侧部设有贯穿前侧部至后侧部的第三方形穿孔；

19、所述放置腔包括连接杆、两个卡臂，所述连接杆顶部与第十齿轮固定连接，两个所述卡臂均为横向竖截面均成“c”形的板块，两个所述卡臂沿连接杆的轴线镜像对称放置，两个所述卡臂的“c”形开口的内部底壁均固定设有定位销，两个所述定位销分别与卡环的两个定位孔位置相对应。

20、优选的：每个所述溅射源机构均包括两组交叉导轨、升降机构、靶枪、调节机构，每组所述交叉导轨均包括固定轨和滑轨，每个所述固定轨均与架台固定连接，每个所述升降机构均包括固定板、两个三轴气缸、两个导向板、密封板、密封胶条，所述固定板呈“回”形，所述固定板固定位于其对应的两个滑轨的顶部，两个导向板分别固定位于固定板的顶部前侧与后侧，两个所述三轴气缸分别固定位于两个导向板的底部，所述密封板位于两个导向板的正上方，所述密封板的底部与两个三轴气缸的伸缩杆固定连接，所述密封胶条呈“回”形状，所述密封胶条固定位于密封板的顶部；

21、所述调节机构包括调节板、螺纹杆、两根限位杆、两根滑杆、螺纹座、手轮，所述调节板位于密封板的正下方，所述靶枪位于密封板的正上方，所述靶枪的底部固定设有连接板，两根所述限位杆固定位于调节板的顶部前侧与后侧，两根限位杆的顶部穿过密封板与连接板的底部固定连接，所述滑杆固定位于密封板的底部，所述滑杆滑移连接穿插于密封板内，所述螺纹座固定位于调节板底部，所述螺纹杆的顶部与密封板底部转动连接，所述螺纹杆与螺纹座螺纹连接，所述手轮固定位于螺纹杆的底部；

22、每个所述镀膜腔的底部均开设有与靶枪相对应的开口，每个所述密封板顶部均与其对应的镀膜腔的底部相抵。

23、优选的：每个所述镀膜腔底部的开口处均设有呈方环状的护板，所述护板的顶部与靶枪的顶部平齐，每个所述镀膜腔底部的开口处还设有遮挡机构，每个所述遮挡机构分别滑移位于其对应的护板的顶部；

24、所述遮挡机构包括旋转气缸、第十一齿轮、第十二齿轮、第十三齿轮、第五齿条、磁流体密封传动轴、移动板、遮挡板、滑行轨，所述旋转气缸固定位于其对应的镀膜腔的底部，所述第十一齿轮与旋转气缸固定连接，所述磁流体密封传动轴与其对应的镀膜腔固定连接，所述磁流体密封传动轴的底部固定设有第十二齿轮，所述第十二齿轮与第十一齿轮相啮合，所述磁流体密封传动轴的顶部固定设有第十三齿轮，所述第十三齿轮与第五齿条相啮合，所述第五齿条与移动板固定连接，所述滑行轨固定位于其对应的镀膜腔的内部底壁，所述移动板与滑行轨滑移连接，所述遮挡板与移动板固定连接，所述遮挡板位于护板的顶部。

25、综上所述，本发明具有以下有益效果：

26、1.通过工件移栽机构和移动小车的设置，能够起到方便将工件盘通过第三方形穿孔插入在工件移栽机构的叉臂的右侧，工件移栽机构工作，将工作盘放置在移动小车内，随后移动小车在四个镀膜腔内部移动的效果；

27、2.通过四个镀膜腔的设置，能够起到方便移动小车在镀膜腔内部左右移动，方便移动小车带动工件分别依次镀膜的效果；

28、3.通过溅射源机构的设置，能够起到方便调节靶枪高度、方便保持镀膜腔内密封、方便更换靶枪的效果。