砂器13，最后操作人员即可利用喷枪12进行喷砂处理，当然，在喷砂过程中操作人员还可以对产品进行相关的操作，喷砂完毕后，产品由取放窗口 6取出；在喷砂过程中少量的砂料会保留在硅片上，大部分砂料会进入排砂口 5，并经排砂管20进入喷砂器13内循环使用，大大提高了砂料的利用率。
[0018]参见图2，喷砂装置长散使用后需要对喷砂器13进行检修，但是喷砂器13位于下腔3内，即使打开检修门19，在下腔3内对喷砂器13进行检修仍然存在诸多不便，而为了使喷砂器13检修方便就必须将喷砂器13移出下腔3，当然，连接在喷砂器13上的喷砂管21、排砂管20及其它线路应有足够的长度和柔性，以使喷砂器13可以方便地移出下腔3，而不需要频繁地将连接于喷砂器13上的管路、线路拆除，喷砂器13的固定结构可以采用如下结构以使喷砂器13便于检修，所述下腔3内设有固定喷砂器13的固定板14，所述喷砂器13通过螺柱固定于固定板14上，所述固定板14滑动连接在箱体1上，所述箱体1上固定有滑轨15，所述滑轨15可以焊接在箱体1上，所述滑轨15上开设有与固定板14配合的滑槽16，所述滑槽16内涂设有润滑脂，所述滑轨15上固定有将固定板14锁紧在滑槽16内的锁紧螺钉17，该锁紧螺钉17可以避免固定板14由于喷砂器13的振动而自由运动，所述箱体1上还开设有检修口 18，所述检修口 18与下腔3相通，所述箱体1上固定有封闭检修口 18的检修门19，检修门19可以通过连接螺钉固定在箱体1上，为了便于抽出固定板14，所述固定板14上还可以设置把手30 ；
[0019]参见图3，固定板14抽出下腔3以后，位于固定板14上的喷砂器13也同步被抽出下腔3，此时即可方便地对喷砂器13进行检修，但是，此时的固定板14位于下腔3外的一端是悬空的，固定板14与滑轨15之间会产生较大的应力集中，很有可能将滑轨15或固定板14损坏，为了克服固定板14与滑轨15之间的应力集中，所述固定板14上通过转轴26转动连接有至少两根支撑固定板14的支撑柱27，所述固定板14上开设有容纳支撑柱27的槽体28，所述固定板14上还粘接有弹性卡块29，固定板14抽出下腔3以后，可以方便地旋转支撑柱27使其对固定板14进行支撑，喷砂器13检修完毕后，可以地将支撑柱27收拢至槽体28内，利用弹性卡块29对支撑柱27进行卡紧，避免支撑柱27由于重力而自动脱离槽体28，使用十分方便。
[0020]以上仅为本发明的优选实施方式，旨在体现本发明的突出技术效果和优势，并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。
【主权项】
1.一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于:包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔⑵和下腔⑶的隔板(4)，所述隔板⑷上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(8)，所述取放窗口(6)和观察窗口(8)均与上腔(2)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(8)的亚克力板(7)，所述亚克力板(7)通过粘接方式固定在箱体(1)上，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述密封板(9)的上端通过合页(10)转动连接在箱体(1)上，所述密封板(9)上粘接有提高密封板(9)与箱体⑴之间密封性能的密封垫片(11)，该用于硅片的喷砂装置还包括喷枪(12)，所述喷枪(12)位于上腔(2)内，所述下腔(3)内固定有喷砂器(13)，所述下腔(3)内设有固定喷砂器(13)的固定板(14)，所述固定板(14)滑动连接在箱体⑴上，所述箱体⑴上固定有滑轨(15)，所述滑轨(15)上开设有与固定板(14)配合的滑槽(16)，所述滑槽(16)内涂设有润滑脂，所述滑轨(15)上固定有将固定板(14)锁紧在滑槽(16)内的锁紧螺钉(17)，所述箱体(1)上还开设有检修口(18)，所述检修口(18)与下腔⑶相通，所述箱体⑴上固定有封闭检修口(18)的检修门(19)，所述排砂口(5)与喷砂器(13)之间通过排砂管(20)连接，所述喷砂器(13)通过喷砂管(21)与喷枪(12)连接，所述隔板(4)上开设有穿设喷砂管(21)的通孔，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(22)，所述手持窗口(22)上固定有封闭手持窗口(22)的手套(23)，所述手套(23)位于上腔(2)内。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于:所述密封板(9)的下端设有容纳槽，所述容纳槽内粘接有第一磁铁(24)，所述箱体(1)上在位于取放窗口(6)的下端设有与第一磁铁(24)吸附的第二磁铁(25)，所述第二磁铁(25)粘接在箱体(1)上。3.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于:所述固定板(14)上通过转轴(26)转动连接有至少两根支撑固定板(14)的支撑柱(27)，所述固定板(14)上开设有容纳支撑柱(27)的槽体(28)，所述固定板(14)上还粘接有弹性卡块(29)。4.根据权利要求1所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于:所述固定板(14)上还固定有便于将固定板(14)抽出的把手(30)。5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种用于硅片的喷砂装置，其特征在于:所述喷砂器(13)通过螺柱固定于固定板(14)上。
【专利摘要】本发明涉及一种用于硅片的喷砂装置，解决了现有技术中喷砂设备结构不合理、设备检修困难的不足。本发明提供的一种用于硅片的喷砂装置，箱体分为上腔和下腔，在上腔内设置有喷枪、排砂口，下腔内设置喷砂器，排砂口通过排砂管与喷砂器连接，可以方便对砂料进行回收使用，喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，以配合喷枪完成喷砂操作，硅片喷砂操作方便而且砂料利用率高；另外，位于下腔的喷砂器固定在固定板上，并且，固定板滑动连接在滑轨上，也就是说需要对喷砂器进行检修时，可以先将锁紧螺钉松开，然后将固定板抽出下腔，位于固定板上的喷砂器也会被固定板带出下腔，此时，即可方便地对喷砂器进行检修。
【IPC分类】B24C9/00, B24C3/04
【公开号】CN105252423
【申请号】CN201510730968
【发明人】陈小力, 王继根
【申请人】浙江辉弘光电能源有限公司
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2015年10月30日