进气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及薄膜沉积或蚀刻领域，特别是涉及一种进气装置。
【背景技术】
[0002]薄膜沉积速率或蚀刻速率的均匀性，是大尺寸产品在生产过程中面临的问题。一般地，进气装置包括进气板和单层筛板，进气板上开设有进气口。气体经进气口进入并由单层筛板分散开来。
[0003]上述进气装置由于气体分散不均匀，边缘和中间的沉积或刻蚀速率往往差别较大，导致产品均匀性较差。
【实用新型内容】
[0004]基于此，有必要提供一种气体分散均匀、产品均匀性好的进气装置。
[0005]一种进气装置，包括至少一个气体分散单元，所述气体分散单元包括:
[0006]第一层筛板，设有多个第一进气孔；
[0007]第二层筛板，设置于第一层筛板下方，与所述第一层筛板平行，所述第二层筛板设有多个第二进气孔，所述第一进气孔在所述第二筛板上形成正投影，所述第一进气孔的正投影被所述第二进气孔围绕；以及
[0008]进气管，包括多个支管，所述第一层筛板包括远离所述第二层筛板的第一表面以及靠近所述第二层筛板的第二表面，所述支管的端部靠近所述第一表面，所述支管与所述第一进气孔连通。
[0009]在其中一个实施例中，所述第一进气孔的直径沿着靠近所述第二层筛板的方向依次增大。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一进气孔均匀设置在所述第一层筛板上。
[0011 ] 在其中一个实施例中，所述第二进气孔的形状与所述第一进气孔的形状相同。
[0012]在其中一个实施例中，所述第二进气孔均匀分布在所述第一进气孔的正投影的周围。
[0013]在其中一个实施例中，所述气体分散单元还包括第三层筛板，所述第三层筛板设有多个第三进气孔，所述第三层筛板与所述第二层筛板平行，所述第二层筛板位于所述第一层筛板与所述第三层筛板之间。
[0014]在其中一个实施例中，所述第三进气孔的形状与所述第一进气孔的形状相同。
[0015]在其中一个实施例中，所述第一进气孔、所述第二进气孔、所述第三进气孔的个数依次增多。
[0016]在其中一个实施例中，所述第三进气孔均匀设置在所述第三层筛板上。
[0017]在其中一个实施例中，所述第一层筛板与所述第二层筛板之间的距离为0.3-5cm0
[0018]上述进气装置，气体经由进气管输送出来，然后经由支管输入到第一进气孔中并穿过所述第一层筛板，然后进入第一层筛板和第二层筛板之间，当第一进气孔进入第一层筛板和第二层筛板之间时，多个第一进气孔对气体进行第一次分散，由于第二进气孔是围绕着第一进气孔在第二层筛板上的正投影进行设置的，即第二进气孔与第一进气孔的位置不对应，因此，当气体从第一进气孔逸出时受到第二层筛板的阻挡，从而返回第一层筛板和第二层筛板之间，然后气体经第二进气孔逸出，第二进气孔对气体进行再次分散，最后再进入腔室进行沉积或刻蚀流程。经过两次分散的气体，使得腔室内气体分散均匀，产品的边缘和中间的沉积或刻蚀速率差别较小，得到的产品均匀性好。
【附图说明】
[0019]图1为第一实施例的进气装置的结构示意图；
[0020]图2为图1所示的进气装置的第一层筛板的结构示意图；
[0021]图3为图1所示的进气装置的第二层筛板的结构示意图；
[0022]图4为第二实施例的进气装置的结构示意图；
[0023]图5为图4所示的进气装置的第三层筛板的结构示意图；
[0024]附图标记:
[0025]10-气体分散单元；100-第一层筛板；110-第二层筛板；120-第三层筛板；130_进气管；102_第一进气孔；112_第二进气孔；122_第三进气孔；132_支管。
【具体实施方式】
[0026]为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的【具体实施方式】做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
[0027]如图1和图2所示，一实施方式的进气装置，包括至少一个气体分散单元10，气体分散单元10包括第一层筛板100、第二层筛板110和进气管130，第二层筛板110设置于第一层筛板100下方，并与第一层筛板100平行。如图2所不，第一层筛板100设有多个第一进气孔102，进气管130包括多个支管132，支管132与第一进气孔102连通，即，当气体从进气管130进入后，经由支管132输送到第一进气孔102中并进入第一层筛板100和第二层筛板110之间。可以理解的是，第一进气孔102的数量与支管132的数量是相等的，即每个第一进气孔102均对应一个支管132。第一层筛板100包括远离第二层筛板110的第一表面以及靠近第二层筛板110的第二表面，支管132的端部靠近第一表面，即支管132是与第一进气孔102的上端连通。在本实施例中，第一进气孔102均匀设置在第一层筛板100上，气体从进气管130进入，经由支管132进入第一进气孔102分散到第一层筛板100和第二层筛板110之间，均匀设置的第一进气孔102可以使得气体的分散更加均匀。
[0028]如图3所示，第二层筛板110设有多个第二进气孔112，第一进气孔102在第二层筛板110上形成正投影，第一进气孔102的正投影被第二进气孔112围绕。气体分散单元10的个数可以为一个、两个或三个。例如，当工作腔室较大时，可以将多个气体分散单元10组合形成进气装置。当工作腔室较小时，可以仅使用一个气体分散单元10。气体分散单元10的形状可以根据实际情况进行选择，例如，当工作腔室为正方体时，可以将气体分散单元10的形状也设计成正方体以匹配工作腔室的形状。在其他实施例中，气体分散单元10的形状也可以为圆柱形。
[0029]请同时参阅图1、图2和图3，在本实施例中，第一层筛板100与第二层筛板110平行且尺寸相同，第一层筛板100和第二层筛板110均为长方形。第一层筛板100上开设有多个第一进气孔102，气体经由第一进气孔102穿过第一层筛板100并进入第一层筛板100和第二层筛板110之间。第一进气孔102的作用是用于引导气体，其形状和大小可以根据实际情况进行选择。例如，第一进气孔102的形状可以为圆形、方形或者其它形状。在本实施例中，第一进气孔102的形状为“八”字形，即第一进气孔102的直径沿着靠近所述第二层筛板110的方向依次增大。这种形状的进气孔利于气体扩散并在第一层筛板100和第二次层筛板之间分散均匀。在本实施例中，第