件为驱动电机230，如图5所示，每个所述可变电阻111均对应一个所述驱动电机230，以方便所述驱动电机230对每个所述可变电阻111进行单独的控制，所述可变电阻111为滑动变阻器。
[0044]在本实用新型的其它实施例中，阻值调节方向一致的所述可变电阻111共用一个所述驱动电机230，例如，所述坩祸10—端和另一端的温度一般高于中部的温度，所以，所述第一侧面11和所述第二侧面12的一端和另一端位置的所述可变电阻111的阻值的调节方向一致，所述第一侧面11和所述第二侧面12的一端和另一端位置的所述可变电阻111可以共用一个所述驱动电机230。或者，阻值调节方向不一致的所述可变电阻111通过变向单元共用一个所述驱动电机230，通过所述变向单元使得一个所述驱动电机230可以分别控制阻值调节方向不一致的所述可变电阻111，有利于减少所述驱动电机230的使用数量。
[0045]在本实施例中，当所述测温仪120检测到所述预定位置的温度不均匀时，工程师看到所述测温仪120反馈的温度，则手动调节所述驱动电机230，以调节对应的所述可变电阻111的阻值。本实施例的控温系统亦可以通过进行分段控制，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩祸10内部各个位置的温度的均匀性。
[0046]第三实施例
[0047]请参阅图6，图6为本实用新型第三实施例的控温系统的示意图。所述第三实施例的控温系统与所述第二实施例的控温系统基本相同，其区别在于:所述手动控制部件为手动旋钮330，操作者可以直接通过所述手动旋钮330手调所述可变电阻111的阻值，有利于降低成本。在图6中，每个所述可变电阻111均对应一个所述手动旋钮330，以方便所述手动旋钮330对每个所述可变电阻111进行单独的控制。
[0048]在本实施例中，当所述测温仪120检测到所述预定位置的温度不均匀时，工程师看到所述测温仪120反馈的温度，则手动调节所述手动旋钮330，以调节对应的所述可变电阻111的阻值。本实施例的控温系统亦可以通过进行分段控制，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩祸10内部各个位置的温度的均匀性。
[0049]本实用新型的较佳实施例如上所述，但是，本实用新型的加热设备的控温系统并不限于上述公开的内容，例如，所述坩祸10并不限于为长方体，例如，所述坩祸10还可以为点源，即所述坩祸10为圆柱体，则可以根据所述坩祸10内部的温度分布布局所述可变电阻111，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，根据本实用新型的上述描述，此为本领域的技术人员可以理解的，在此不作赘述。
[0050]综上所述，本实用新型提供一种加热设备的控温系统，用于控制所述加热设备中坩祸的温度，所述控温系统包括:用于对所述坩祸进行加热的加热部件，所述加热部件包括多个用于对所述坩祸内部的预定位置进行加热的可变电阻，多个所述可变电阻分布于所述坩祸的外侧；多个用于测量所述预定位置的温度的测温仪，多个所述测温仪位于所述坩祸内；以及用于控制所述可变电阻的阻值的控制系统，所述控制系统连接所述可变电阻。与现有技术相比，本实用新型提供的加热设备的控温系统具有以下优点:
[0051]根据所述测温仪测得的预定位置的温度，通过所述控制系统控制所述可变电阻的阻值，进行分段加热，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩祸内部各个位置的温度的均匀性。
[0052]显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
【主权项】
1.一种加热设备的控温系统，用于控制所述加热设备中坩祸的温度，其特征在于，所述控温系统包括: 用于对所述坩祸进行加热的加热部件，所述加热部件包括多个用于对所述坩祸内部的预定位置进行加热的可变电阻，多个所述可变电阻分布于所述坩祸的外侧； 多个用于测量所述预定位置的温度的测温仪，多个所述测温仪位于所述坩祸内；以及 用于控制所述可变电阻的阻值的控制系统，所述控制系统连接所述可变电阻。2.如权利要求1所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述加热部件还包括用于对所述坩祸加热的固定电阻，所述固定电阻连接于多个所述可变电阻之间，所述可变电阻和固定电阻共同构成一整段式加热部件。3.如权利要求2所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述加热部件缠绕于所述坩祸的侧面，多个所述加热部件沿所述坩祸的高度方向排列。4.如权利要求1-3中任意一项所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述坩祸为长方体，所述坩祸包括第一侧面，所述第一侧面为所述坩祸的长所在的侧面，所述预定位置包括在所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端，每个所述加热部件中至少三个所述可变电阻分布于所述坩祸的第一侧面，并位于沿所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端依次设置。5.如权利要求4所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述坩祸还包括与所述第一侧面相对设置的第二侧面，所述加热部件中至少三个所述可变电阻分布于所述坩祸的第二侧面，并位于沿所述坩祸的长度方向的一端、中部和另一端依次设置。6.如权利要求5所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述坩祸还包括第三侧面以及与所述第三侧面相对设置的第四侧面，所述第三侧面和第四侧面为所述坩祸的宽所在的侧面，所述第三侧面和第四侧面上分别分布有所述可变电阻。7.如权利要求1所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述控制系统为用于手动调节所述可变电阻的阻值的手动控制部件。8.如权利要求7所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述手动控制部件为驱动电机或手动旋钮。9.如权利要求8所述加热设备的控温系统，其特征在于，每个所述可变电阻均对应一个所述驱动电机或手动旋钮；或，阻值调节方向一致的所述可变电阻共用一个所述驱动电机；或，阻值调节方向不一致的所述可变电阻通过变向单元共用一个所述驱动电机。10.如权利要求1所述加热设备的控温系统，其特征在于，所述控制系统为用于根据所述测温仪自动调节所述可变电阻的阻值的自动控制单元，所述自动控制单元分别连接所述测温仪和可变电阻，所述自动控制单元接收所述测温仪的温度信号，并向与所述测温仪对应的所述可变电阻发出一控制信号。
【专利摘要】本实用新型公开了一种加热设备的控温系统，用于控制所述加热设备中坩埚的温度，所述控温系统包括：用于对所述坩埚进行加热的加热部件，所述加热部件包括多个用于对所述坩埚内部的预定位置进行加热的可变电阻，多个所述可变电阻分布于所述坩埚的外侧；多个用于测量所述预定位置的温度的测温仪，多个所述测温仪位于所述坩埚内；以及用于控制所述可变电阻的阻值的控制系统，所述控制系统连接所述可变电阻。在本实用新型中，根据所述测温仪测得的预定位置的温度，通过所述控制系统控制所述可变电阻的阻值，进行分段加热，以分别对各个所述预定位置进行独立的温度控制，有利于提高所述坩埚内部各个位置的温度的均匀性。
【IPC分类】C23C14/54, C23C14/26
【公开号】CN204714896
【申请号】CN201520393706
【发明人】林俊宏, 何麟
【申请人】昆山国显光电有限公司
【公开日】2015年10月21日
【申请日】2015年6月9日...