抛光设备及其承载装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型关于一种抛光设备，尤指一种抛光设备的承载装置。
【背景技术】
[0002]现有半导体制程中，晶圆于制造完成后，会进行薄化加工，其包含研磨作业与抛光作业，之后才会进行切单、封装等制程，故藉由抛光作业，以提高晶圆表面的平滑度。
[0003]如图1所示，现有抛光机I包括:一机台本体(图略)、一设于该机台本体上侧的固定装置11、一设于该机台本体下侧的抛光装置12、以及一设于该固定装置11的黏膜13。
[0004]于进行抛光作业时，先将一如晶圆的欲抛光件9粘贴于该粘膜13上，再以该固定装置11吸附(如图所示的箭头的向上方向)该粘膜13，使该粘膜13固定于该固定装置11上。之后，该抛光装置12配合浆液(如图1所示的流入方向F)磨平该欲抛光件9的表面。
[0005]然而，现有抛光机I在进行抛光作业时，浆液会沿该粘膜13的外露表面渗入该欲抛光件9与该粘膜13之间，因而破坏该欲抛光件9下的黏膜13的粘性，使得该欲抛光件9与该抛光装置12所产生的作用力会造成该欲抛光件9的位移，甚至造成该欲抛光件9脱落。
[0006]此外，该粘膜13无法均匀分散前述的作用力于其上所产生的应力，因而该粘膜13容易发生超出预期的形变(如翘曲拉伸扩张)，致使该粘膜13容易发生破裂，导致该欲抛光件9脱落。
[0007]因此，如何克服现有技术的种种问题，实为一重要课题。
【实用新型内容】
[0008]为解决上述现有技术的问题，本实用新型遂揭露一种抛光设备及其承载装置，能避免浆液破坏该欲抛光件下的承载本体的粘性。
[0009]本实用新型的承载装置，包括:承载本体，其用以承载欲抛光件；以及隔离部，其设于该承载本体上并位于该欲抛光件周围。
[0010]本实用新型还提供一种抛光设备，包括:机台本体，其具有相对的第一侧与第二侧，且该第一侧与第二侧之间具有一容置空间；固定装置，其设于该机台本体的第一侧上并位于该容置空间中；前述的承载装置，其结合于该固定装置上；以及抛光装置，其设于该机台本体的第二侧上并位于该容置空间中，且该承载装置位于该固定装置与该抛光装置之间的容置空间中。
[0011]前述的抛光设备及其承载装置中，该承载本体包含用以承载该欲抛光件的承载部、及设于该承载部上的支撑部。例如，该隔离部设于该承载部上。
[0012]前述的抛光设备及其承载装置中，该隔离部为片体或膜体。
[0013]前述的抛光设备及其承载装置中，形成该隔离部的材质为玻璃纤维、碳纤维、塑胶或金属。
[0014]前述的抛光设备及其承载装置中，该隔离部具有至少一开口，以供放置该欲抛光件于该开口中。
[0015]前述的抛光设备及其承载装置中，该隔离部与该欲抛光件之间具有间隙。
[0016]由上可知，本实用新型的抛光设备及其承载装置中，藉由该隔离部设于该承载本体上，以于进行抛光作业时，浆液会留于该隔离部表面上，而不会沿该承载本体渗入该欲抛光件与该承载本体之间，故相较于现有技术，能避免浆液破坏该欲抛光件下的承载本体的粘性。
[0017]此外，本实用新型藉由该隔离部的设计，可控制该承载本体上的应力变化，故相较于现有技术，能避免该承载本体发生超出预期的形变。
【附图说明】
[0018]图1为现有抛光机的剖面示意图；
[0019]图2A为本实用新型的承载装置的第一实施例的上视示意图；
[0020]图2B为图2A的承载装置设于抛光设备上的剖面示意图；
[0021 ]图3A为本实用新型的承载装置的第二实施例的上视示意图；
[0022]图3B为图3A的承载装置设于抛光设备上的剖面示意图；以及
[0023]图4A及图4B为本实用新型的承载装置的第三实施例的上视示意图。
[0024]其中，附图标记说明如下:
[0025]I抛光机
[0026]11、81固定装置
[0027]12,82抛光装置
[0028]13黏膜
[0029]2、3、4承载装置
[0030]20、30承载本体[0031 ]21,41 隔离部
[0032]210、410、410， 开口
[0033]30a承载部
[0034]30b支撑部
[0035]8抛光设备
[0036]80机台本体
[0037]80a第一侧
[0038]80b第二侧
[0039]9欲抛光件
[0040]S容置空间[0041 ]F 流入方向
[0042]T间隙。
【具体实施方式】
[0043]以下藉由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域普通技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。
[0044]须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供本领域普通技术人员的了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“第一”、“第二”及“一”等的用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当也视为本实用新型可实施的范畴。
[0045]图2A及图2B为本实用新型的承载装置2的第一实施例及其应用的示意图。
[0046]如图2A及图2B所示，该抛光设备8包括:一机台本体80、一固定装置81、一抛光装置82、以及一用于承载至少一欲抛光件9的承载装置2。
[0047]所述的承载装置2包括:一承载本体20以及覆盖于该承载本体20上并位于该欲抛光件9周围的隔离部21。
[0048]于本实施例中，该承载本体20为具粘性的圆形贴膜，其用以粘结该欲抛光件9，但应可理解地，用以承载该欲抛光件9的结构种类繁多，故该承载本体20的结构不限于上述。
[0049]此外，该隔离部21具有多个开口 210，以供放置各该欲抛光件9于各该开口 210中，其中，该开口 210的壁面与该欲抛光件9之间紧密靠合。具体地，该隔离部21为片体或膜体，且该隔离部21由玻璃纤维、碳纤维、塑胶或金属等材质所制成，并无特别限制。
[0050]又，该欲抛光件9的表面为齐平(如图2B所示)或凸出(图略)该隔离部21的表面。[0051 ]所述的机台本体80具有相对的第一侧80a与第二侧80b，且该第一侧80a与第二侧80b之间具有一容置空间S。
[0052]于本实施例中，该第一侧80a为上侧，且该第二侧80b为下侧。
[0053]此外，图中为简化绘示该机台本体80，而非表示该机台本体80的实际机构。
[0054]所述的固定装置81设于该机台本体80的第一侧80a上并位于该容置空间S中，以设置该承载装置2于该固定装置81与该抛光装置82之间的容置空间S中。
[0055]于