用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英连接的工艺的制作方法

本公开总体涉及紫外线透射窗口制造的领域。更具体地说，本公开涉及用于将不透明的熔凝石英周边附接到透明的熔凝石英窗口的工艺。所得到的结构可用作热绝缘体或光学绝缘体，特别是在半导体晶片制造的紫外光固化阶段期间。

背景技术：

在半导体晶片制造过程中，介电膜(例如，uv敏感的无定形复合物或氧化物)沉积在晶片表面上。介电膜使用紫外(uv)光进行固化。在较新近的工艺中，高能uv(例如，紫外准分子灯)用于提高固化速度。

uv光从光源穿过透射窗口，并进入固化室中，其中光与介电膜形成接触。总体上，透射窗口在两个板之间的uv室内保持在适当的位置。此外，在每个板的连接处与透射窗口的相邻面之间放置o形环。o形环防止在固化工艺过程中产生的气体从板-窗口连接处排气/泄漏，并进一步防止空气泄漏到室内。

但由于uv灯生成的较高的热量和光强度，尤其是通过更加现代的高能量uv灯，这种o形环密封件快速分解。损坏的密封件存在排气、颗粒生成和透射窗口周围泄漏的风险。此外，更快的分解意味着为维护固化室以更换o形环而频繁停机，其产生随之而来的成本并造成生产力损失。因此，本领域需要更好地保护o形环免于受到uv辐射。

技术实现要素：

一种用于将不透明的熔凝石英周边与透明的熔凝石英锭熔合的工艺，其包括：提供不透明的熔凝石英套筒，所述套筒围绕具有第一宽度的空隙并且从所述套筒的所述顶部平面延伸直到所述套筒的所述底部平面；将具有第二宽度的透明的熔凝石英锭插入所述空隙中，其中所述第二宽度比所述第一宽度略窄，使得在所述套筒的所述内侧壁与所述锭的所述外侧壁之间基本上不存在间隙；将所述透明的熔凝石英锭和套筒放置在模具中；在熔炼炉中加热包含所述锭和周围套筒的所述模具，所述加热在真空下进行，直到所述不透明的熔凝石英与所述透明的熔凝石英锭熔合，以形成包括不透明的熔凝石英周边的透明的熔凝石英锭；以及将所述透明的熔凝石英锭退火，所述透明的熔凝石英锭包括不透明的熔凝石英周边。所述套筒可包括一体式套筒。所述套筒可包括多个不透明的熔凝石英环状物。

所述不透明的熔凝石英可包括om^®100不透明的熔凝石英(贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)gmbh＆co.kg)。所述不透明的熔凝石英可具有约2.12至约2.19g/cm³的密度和每单位体积约2%至约4.5%的孔隙率，并且所述不透明的熔凝石英中的至少约80%的所述孔的气泡大小可以是约15微米至约45微米，并且优选地是少于约20微米。所述不透明的熔凝石英可具有约54kn/mm²的杨格模量和约84n/mm²的三点抗弯强度。所述不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内具有大约0.2%至3%的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。

所述工艺可进一步包括沿着垂直于所述熔凝锭的所述竖直轴线的轴线切割包括不透明的熔凝石英周边的所述透明的熔凝石英锭，以形成所述熔凝锭的切片。所述切片可任选地进行机加工、抛光或机加工并抛光，所述进一步加工步骤可用于形成uv光透射窗口。

在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约10%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约5%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约3%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约1%的从uv光源透射的所述uv光。所述uv光源可以是高强度uv光源。所述uv光源可以是准分子uv光源。

一种用于将不透明的熔凝石英周边与透明的熔凝石英单元熔合的工艺，其包括：围绕透明的熔凝石英单元的所述周边的至少一部分机加工凸缘；加热不透明的熔凝石英焊条至少到其转变温度以软化或液化所述不透明的熔凝石英；然后将所述经软化的或所述经液化的不透明的熔凝石英沉积在所述凸缘中；并且然后在所述凸缘内将所述经软化的或所述经液化的不透明的熔凝石英退火，从而将所述不透明的熔凝石英与所述透明的熔凝石英熔合。所述凸缘可被机加工成(经测量距所述透明的熔凝石英单元的所述顶部或所述底部的所述水平平面)约3mm的深度。所述热源可包括熔炉或焊接枪。

所述焊条的所述不透明的熔凝石英可包括om^®100不透明的熔凝石英(贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)gmbh＆co.kg贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)verwaltungsgesellschaftmbh)。所述不透明的熔凝石英可包括om^®100不透明的熔凝石英(贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)gmbh＆co.kg贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)verwaltungsgesellschaftmbh)。所述不透明的熔凝石英可具有约2.12至约2.19g/cm³的密度和每单位体积约2%至约4.5%的孔隙率，并且所述不透明的熔凝石英中的至少约80%的所述孔的气泡大小可以是约15微米至约45微米，并且优选地是少于约20微米。所述不透明的熔凝石英可具有约54kn/mm²的杨格模量和约84n/mm²的三点抗弯强度。所述不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内具有大约0.2%至3%的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。

所述工艺还可包括至少机加工和/或抛光所述不透明的熔凝石英周边，所述进一步加工步骤可用于形成uv光透射窗口。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约10%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约5%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约3%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约1%的从uv光源透射的所述uv光。所述uv光源可以是高强度uv光源。所述uv光源可以是准分子uv光源。

所述不透明的熔凝石英焊条可包括不透明的熔凝石英条，所述不透明的熔凝石英条已被加热和牵拉，以便将所述条的所述原始宽度或直径减小约3倍、约4倍或约5倍。所述条可包括任何合适的形状，包括圆柱形形状、三角形形状或其他多边形形状。

一种用于将不透明的熔凝石英周边与透明的熔凝石英锭熔合的工艺，其包括将透明的熔凝石英锭放置在模具中，以及用不透明的熔凝石英颗粒围绕所述透明的熔凝石英锭。然后可将涂覆有不透明的熔凝石英颗粒的所述透明的熔凝石英锭从所述模具移除，并且所述已移除的复合物可在所述模具外烧结，或者可替代地可在所述模具内烧结，直到所述不透明的熔凝石英颗粒彼此熔合并与所述透明的熔凝石英锭熔合以形成包括不透明的熔凝石英周边的透明的熔凝石英锭，以及将包括不透明的熔凝石英周边的所述透明的熔凝石英锭退火。所述围绕步骤可包括围绕所述锭沉积包含所述颗粒的液体浆料，并且移除所述浆料的所述流体部分。移除所述浆料的所述液体部分包括促进所述液体的蒸发。

所述不透明的熔凝石英可包括om^®100不透明的熔凝石英(贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)gmbh＆co.kg贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)verwaltungsgesellschaftmbh)。所述不透明的熔凝石英可具有约2.12至约2.19g/cm³的密度和每单位体积约2%至约4.5%的孔隙率，并且所述不透明的熔凝石英中的至少约80%的所述孔的气泡大小可以是约15微米至约45微米，并且优选地是少于约20微米。所述不透明的熔凝石英可具有约54kn/mm²的杨格模量和约84n/mm²的三点抗弯强度。所述不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内具有大约0.2%至3%的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。

所述工艺可进一步包括沿着垂直于所述熔凝锭的所述竖直轴线的轴线切割包括不透明的熔凝石英周边的所述透明的熔凝石英锭，以形成所述熔凝锭的切片。所述切片可任选地进行机加工、抛光或机加工并抛光，所述进一步加工步骤可用于形成uv光透射窗口。

在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约10%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约5%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约3%的从uv光源透射的所述uv光。在所述窗口中，所述熔凝石英周边优选地能够透射少于约1%的从uv光源透射的所述uv光。所述uv光源可以是高强度uv光源。所述uv光源可以是准分子uv光源。

附图说明

本发明在结合附图阅读以下详细描述时可得到最佳理解。要强调的是，根据惯例，附图的各种特征不成比例。相反，为清楚起见，各种特征的尺寸任意地放大或缩小。在附图中包括以下各图。

图1示出uv光透射窗口的剖视图，其包括在窗口的顶部面和底部面上的不透明的熔凝石英周边，所述不透明的熔凝石英位于透明的熔凝石英的凸缘上。

图2示出圆形uv光透射窗口的顶视图，其包括围绕透明的熔凝石英中心的不透明的熔凝石英周边。

图3示出包括不透明的熔凝石英周边的圆柱状透明的熔凝石英锭。不透明的熔凝石英与处于中心的透明的熔凝石英锭的外侧壁熔合。不透明的熔凝石英开始作为一体式套筒，在进行用于将套筒熔合到锭上以形成熔凝锭的加热之前将透明的熔凝石英锭放置到所述一体式套筒中。

图4示出包括不透明的熔凝石英周边的圆柱状透明的熔凝石英锭。不透明的熔凝石英与处于中心的透明的熔凝石英锭的外侧壁熔合。不透明的熔凝石英开始作为堆叠在彼此的顶部上以形成套筒的多个环，在进行用于将套筒熔合到锭上以形成熔凝锭的加热之前将透明的熔凝锭放置到所述套筒中。在这个图中，不透明的熔凝石英被示出为经堆叠的环，以示出经堆叠的环起初用于形成套筒，但是应理解的是，在熔合工艺过程中，环本身也与透明的熔凝石英锭熔合在一起，使得在熔合和退火工艺之后，分界线和接缝不一定是肉眼可见的，到了他们保持为整体的程度。线(如果可见)可划定切割点，其中在进一步加工成uv光透射窗口之前可切割熔凝锭。

图5示出包括不透明的熔凝石英周边的圆柱状透明的熔凝石英锭。不透明的熔凝石英与处于中心的透明的熔凝石英锭的外侧壁熔合。不透明的熔凝石英在进行用于熔合以形成熔凝锭的加热之前开始作为放置在透明的熔凝石英锭周围的颗粒或粉末。在这个图中，不透明的熔凝石英被示出为具有点画，以示出起初使用了颗粒，但是应理解的是，在熔合工艺过程中，颗粒本身也与透明的熔凝石英锭熔合在一起，使得在熔合和退火工艺之后，颗粒与未经熔凝的颗粒之间的分界线(如果有的话)不一定是肉眼可见的。

图6示出uv光透射窗口的剖视图，其包括在窗口的边缘上的不透明的熔凝石英周边，例如像，通过将不透明的熔凝石英套筒或颗粒与透明的熔凝石英锭熔合产生的。

具体实施方式

根据本公开内容已观察到，不透明的熔凝石英可在熔炉中与透明的熔凝石英熔合，其中保持了熔合产物的结构完整性。进一步观察到，可通过在牵拉不透明的熔凝石英以制备焊条时减小直径缩小来增强用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英熔合的传统玻璃焊接技术。据观察，保持不透明的熔凝石英条的较大直径可更好地保持不透明度，使得不透明的熔凝石英在与透明的熔凝石英熔融/焊接和熔合之后具有最小的紫外(uv)光透射。因此，本公开的特征在于用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英熔合的工艺，其中不透明的熔凝石英用于使通过由这些工艺产生的经熔合的(不透明的与透明的)产物的一部分的uv光透射最小化。

在一些方面，用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英熔合的工艺包括将不透明的熔凝石英的套筒与透明的熔凝石英锭的外侧壁表面熔合。在熔合之后，产生熔凝锭，其中透明的熔凝石英中心具有不透明的熔凝石英周边。例如，在图3和4中示出了这种锭。在图3和图4中，熔凝锭20包括透明的熔凝石英12中心(以前是透明的熔凝石英10锭)和不透明的熔凝石英22周边(以前是不透明的熔凝石英22套筒)。

作为熔合的一部分，工艺包括将不透明的熔凝石英套筒放置在模具中。不透明的熔凝石英套筒具有围绕空隙的内侧壁。空隙从套筒的顶部平面延伸直到套筒的底部平面，因为优选情况下，不透明的熔凝石英套筒不具有封闭套筒的顶部或底部中的任一者或两者的盖子。

不透明的熔凝石英套筒可以是具有足够高度以容纳尺寸类似的透明的熔凝石英锭的一体式套筒。在一些方面，套筒可包括多个较小的套筒或环形物，其堆叠在彼此的顶部上以获得期望的高度。在加热和熔合工艺(如下所述)过程中，经堆叠的套筒或环形物还与透明的熔凝石英锭熔合在一起。在图4中示出了经堆叠的套筒或环状物配置，其中多个不透明的熔凝石英22环状物或套筒堆叠成与所述堆叠堆内的透明的熔凝石英12锭的高度相等的高度。在熔合之后，优选情况下不存在接缝，因为堆叠在彼此的顶部上的套筒或环状物熔合在一起。

套筒或环状物可包括任何合适的形状。在图3和图4中，不透明的熔凝石英22示出为呈圆柱形形状，使得用于产生图3和图4所示的熔凝锭20的套筒具有圆柱形形状。但是，套筒或环状物可具有正方形或矩形形状、三角形形状、六边形形状、八边形形状或具有任何期望边数和任何期望配置(例如，梯形、平行四边形、不均匀边长等)的任何其他多边形形状。

在不透明的熔凝石英的空隙内，可插入透明的熔凝石英锭。在一些方面，在将套筒放置在模具内之后，将透明的熔凝石英锭放置在不透明的熔凝石英套筒的空隙内。在一些方面，将透明的熔凝石英锭放置在不透明的熔凝石英套筒的空隙内，并且然后将两个熔凝石英件同时放置在模具内。

优选的是，透明的熔凝石英锭的宽度比不透明的熔凝石英套筒内的空隙的宽度略窄，使得套筒的内侧壁与锭的外侧壁之间基本上没有间隙或存在小间隙。在一些方面中，套筒的内侧壁与锭的外侧壁之间存在约1mm至约10mm、约2mm至约6mm、约3mm至约5mm或约4mm至约6mm的滑动贴合间隙。滑动贴合间隙的宽度可以是约3mm、约4mm、约5mm或约6mm。透明的熔凝石英锭的形状也优选地是与空隙相同的形状，使得锭与套筒匹配。

在一些方面，不透明的熔凝石英可包括多个不透明的熔凝石英颗粒或粉末。当透明的熔凝石英锭位于模具中时，这种颗粒或粉末优选地放置在透明的熔凝石英锭的外侧壁周围。因此，例如，透明的熔凝石英锭由不透明的熔凝石英颗粒或粉末围绕。颗粒或粉末可以干燥形式沉积在透明的熔凝石英锭周围，但是在优选的方面是以浆料(例如，颗粒悬浮在适当的液体载体中)的形式来进行沉积。液体载体然后可通过引流和/或蒸发来移除，这可通过真空和/或热量来促进。

在不透明的熔凝石英套筒或者不透明的熔凝石英颗粒或粉末和透明的熔凝石英锭一起处于模具内之后，所述工艺可包括将涂覆有不透明的熔凝石英颗粒的透明的熔凝石英锭(作为复合物)从模具移除，然后将复合物烧结成均匀主体。烧结可包括在熔炉中加热复合物，直到至少不透明的熔凝石英超过其转变温度，使得至少不透明的熔凝石英软化，并且然后可与透明的熔凝石英熔合。如果不透明的熔凝石英的转变温度与透明的熔凝石英的转变温度相同或比其高，则透明的熔凝石英也可软化。在优选的方面，加热在真空下进行。

颗粒/粉末熔合可包括在熔炉内进行烧结。在熔合之后，优选地在前面的颗粒之间不存在接缝，因为相邻的颗粒熔合在一起。

加热工艺继续进行，直到不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英锭熔合以形成包括不透明的熔凝石英周边的透明的熔凝石英锭(在本文中也称为熔凝锭)。在形成熔凝锭之后，熔凝锭优选地退火。在图3、图4和图5中示出熔凝锭20的非限制性实例，其中透明的熔凝石英12中心由不透明的熔凝石英22周边围绕。在图5中示出剖视图，其中不透明的熔凝石英22围绕透明的熔凝石英12。

在形成熔凝锭20之后，可将熔凝锭20切割成更小的单元。因此，所述工艺可进一步包括沿着垂直于竖直轴线的轴线切割透明的熔凝锭，以形成具有期望厚度的单元。这些单元包括具有不透明的熔凝石英周边的透明的熔凝石英中心。在切割之后，可对这些单元进行进一步机加工和/或抛光以形成成品，所述成品优选地是包括不透明的熔凝石英周边的uv光透射窗口。

uv光透射窗口允许来自uv光源的基本上所有的uv光的透射穿过透明的熔凝石英中心部分。但是不透明的熔凝石英周边阻挡了uv光透射通过周边部分。优选地，来自uv光源的少于约10%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约8%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约5%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约4%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约3%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约2%的uv光穿过不透明的石英周边。在一些方面，来自uv光源的少于约1%的uv光穿过不透明的石英周边。

在一些方面，用于将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英熔合的工艺包括围绕一块透明的熔凝石英的周边的至少一部分机加工凸缘。可围绕透明的熔凝石英的顶部和/或透明的熔凝石英的底部的周边机加工凸缘。在图1中示出凸缘的实例，其示出了uv光透射窗口10的横截面。如图所示，凸缘14已被机加工成窗口10的透明的熔凝石英12部分的顶部和底部。通过将凸缘14机加工成透明的熔凝石英12留下的空隙已用不透明的熔凝石英22填充。

凸缘可被机加工成(距顶部平面和/或底部平面)约1mm至约10mm的深度。凸缘可机加工成约1mm至约5mm、约1mm至约4mm、约1mm至约3mm、约2mm至约8mm、约2mm至约6mm、约2mm至约5mm、约2mm至约4mm、约3mm至约9mm、约3mm至约7mm、约3mm至约5mm或约4mm至约6mm的深度。凸缘可被机加工成约1mm、约2mm、约3mm、约4mm、约5mm、约6mm、约7mm、约8mm、约9mm或约10mm的深度。

在机加工步骤之后，留下了移除了一部分透明的熔凝石英的空隙。然后可用不透明的熔凝石英填充空隙，所述不透明的熔凝石英与凸缘和相邻的透明的熔凝石英侧壁熔合。不透明的熔凝石英优选地焊接到这个空隙中，尽管不透明的熔凝石英也可例如如上所述通过在熔炉中加热或烧结而熔合。在后面的这些情况下，将一个适当尺寸的不透明的熔凝石英片或多个不透明的熔凝石英颗粒放入空隙中，并将组合的单元放置在熔炉中以进行熔合。

在采用焊接的方面，焊接包括加热不透明的熔凝石英焊条直到其转变温度，以软化或液化不透明的熔凝石英，然后将经软化或经液化的不透明的熔凝石英沉积在凸缘的顶部上并沉积到空隙中。不透明的熔凝石英焊条优选地通过加热和拉伸较大直径/宽度的不透明的熔凝石英条而获得，所述拉伸(又称牵拉)将条的原始直径或宽度减小约2倍至约6倍(例如，焊条的牵拉直径是原始直径或宽度的约½至约1/6)。所牵拉的不透明的熔凝石英条的直径可从约0.2倍减小至约8倍，从约0.5倍减小至约10倍，从约1倍减小至约7倍，从约1倍减小至约4倍，从约1倍减小至约5倍，从约2倍减小至约5倍，从约2倍减小至约4倍或，从约2倍减小至约3倍。所牵拉的不透明的熔凝石英条的直径可减小约0.2倍、约0.5倍、约1倍、约2倍、约3倍、约4倍、约5倍、约6倍、约7倍、约8倍、约9倍或约10倍。直径或宽度(通过牵拉)减小3倍是优选的。

当经软化或经液化的不透明的熔凝石英已沉积在凸缘上(并且沉积在经机加工的空隙中)时，不透明的熔凝石英可退火，从而将不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英熔合。在熔合之后，形成具有不透明的熔凝石英周边的透明的熔凝石英单元。所述单元可以是例如uv光透射窗口。所述单元可以机加工和/或抛光，以消除熔合或连接中的缺陷。

在本文描述或例示的任何工艺中，透明的熔凝石英可包括天然或合成的透明的熔凝石英。包括不透明的熔凝石英焊条的不透明的熔凝石英可包括天然或合成的不透明的熔凝石英。在高度优选的方面，包括不透明的熔凝石英焊条的不透明的熔凝石英包括om^®100不透明的熔凝石英(贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)gmbh＆co.kg贺利氏石英玻璃(heraeusquarzglas)verwaltungsgesellschaftmbh)。

不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内并且针对3mm的壁厚具有优选地小于大约5%、并且更优选地小于大约3%、还更优选地小于大约2%的几乎恒定的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。在一些方面，不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内并且针对3mm壁厚具有优选地大约0.2%至3%、还更优选地大约0.2%至1.5%的几乎恒定的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。在一些方面，不透明的熔凝石英在λ=190nm至λ=4990nm的波长范围内并且针对3mm的壁厚具有优选地大约1%的几乎恒定的直接光谱透射，并且在λ=190nm至λ=2500nm的波长范围内具有至少60%的漫反射率。

不透明的熔凝石英的密度可以是约2至约2.3g/cm³、约2.05至约2.25g/cm³、约2.1至约2.2g/cm³、约2.12至约2.19g/cm³、约2.13至约2.19g/cm³、约2.14至约2.19g/cm³、或约2.15至约2.18g/cm³。不透明的熔凝石英的密度优选地是至少约2.10g/cm³，更优选地是约2.12至2.19g/cm³，还更优选地是约2.13至2.18g/cm³。在一些方面，不透明的熔凝石英的密度是约2.14至2.15g/cm³。

不透明的熔凝石英的孔隙含量(孔隙率)每单位体积优选地不超过约5%，并且优选地在每单位体积约0.1%至约5%的范围内，并且更优选地在每单位体积约0.2%至约4.5%的范围内。在一些方面，不透明的熔凝石英的孔隙率不超过4.7%，并且在每单位体积约2%至约4.5%的范围内。不透明的熔凝石英的孔隙率可以是每单位体积约2%至约3%、约2.1%至约2.8%、约2.1%至约2.6%、约2.1%至约2.5%、约2.2%至约2.4%或约2.2%至约2.3%。孔隙率可以是每单位体积约2%、约2.1%、约2.2%、约2.3%、约2.4%或约2.5%。

不透明的熔凝石英可具有小于约25微米(μm)的气泡大小。不透明的熔凝石英可具有小于约20μm的气泡大小。在一些优选的方面，不透明的熔凝石英的至少约80%的孔的最大孔尺寸是约60μm或更小，并且更优选地是约10至约45μm，还更优选地是约25至约45μm。

不透明的熔凝石英的杨格模量可以是约50至约60kn/mm²、约51至约59kn/mm²、约52至约58kn/mm²或约53至约55kn/mm²。不透明的熔凝石英的杨格模量可以是约50kn/mm²、约52kn/mm²、约53kn/mm²、约54kn/mm²或约55kn/mm²。不透明的熔凝石英的三点抗弯强度可以是约80至约90n/mm²、约81至约89n/mm²、约82至约88n/mm²、约83至约86n/mm²或约83至约85n/mm²。不透明的熔凝石英的三点抗弯强度可以是约80n/mm²、约82n/mm²、约83n/mm²、约84n/mm²、约85n/mm²或约86n/mm²。

本文所述的工艺优选地用于产生uv光透射窗口，所述uv光透射窗口具有(uv光可穿过的)透明的熔凝石英中心和(显著地限制了uv光的通过的)不透明的熔凝石英周边。在图2中示出这种uv光透射窗口的顶视图或底视图。在图2中，uv透射窗口10具有圆形形状，其中透明的熔凝石英12处于中心并且不透明的熔凝石英22围绕着透明的熔凝石英12作为周边。

不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英的比相对较小。不透明的熔凝石英与透明的熔凝石英的比(不透明的熔凝石英:透明的熔凝石英)可以是约1:50至约1:3、约1:40至约1:5、约1:30至约1:5、约1:20至约1:5、约1:25至约1:5、约1:20至约1:5、约1:15至约1:5、约1:10至约1:5、约1:30至约1:3、约1:25至约1:3、约1:20至约1:3、约1:15至约1:3、约1:10至约1:3、约1:30至约1:4、约1:25至约1:4、约1:20至约1:4、约1:15至约1:4、约1:10至约1:4、约1:2至约1:5、约1:2至约1:4、约1:2至约1:3、约1:3至约1:6、约1:3至约1:5、约1:3至约1:4。

根据本文所述工艺产生的uv光透射窗口可包括任何合适的尺寸(高度/厚度、宽度、长度或直径)。优选地，uv光透射窗口包括约100mm至约1000mm、约360mm至约390mm、约365mm至约385mm、约370mm至约380mm、或约372mm至约377mm的(透明的和不透明的熔凝石英总共的)总宽度、长度或直径。在一些方面，不透明的熔凝石英周边部分的宽度是约3mm至约25mm、约6mm至约24mm、约8mm至约15mm、或约9mm至约11mm。uv光透射窗口可包括约20mm至约30mm、约21mm至约29mm、约22mm至约28mm、约23mm至约27mm、约24mm至约26mm、约24mm至约28mm或约22mm至约26mm的厚度。尺寸可根据半导体晶片制造系统的uv光孔径的尺寸而变化。

本公开不限于以上所描述和例示的实施方案，但是能够在所附权利要求的范围内进行改变和修改。