纳米级氧化铟锡粉体的共沉淀制备方法与流程

文档序号:13019728阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种共沉淀法制备纳米级氧化铟锡粉体(ITO)的方法。采用本发明的方法制得的ITO粉体适用于制备高品质的ITO靶材。本发明的共沉淀制备方法,采用缓冲溶液作为前躯体的生长环境,在反应过程中,溶液pH值基本不变,前躯体生长环境稳定,粉体分散效果更好,制得的粉体呈单相,颗粒度均匀,电阻率低。

技术研发人员:刘家祥;张雪利;李敏;雷文
受保护的技术使用者:北京化工大学
文档号码:201610064201
技术研发日:2016.01.29
技术公布日:2017.11.28

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