一种散热用电子陶瓷基板的制备工艺的制作方法

文档序号:16342938发布日期:2018-12-21 18:59阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种散热用电子陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:包括如下步骤:

1)复合烧结助剂的制备

将三聚氰胺、铝粉、高岭土粉、氟化钙分散于无水乙醇中;然后在通风橱中边搅拌、边用热风吹,直至无水乙醇完全烘干而得到混合粉体,即制得复合烧结助剂;按质量份数计,三聚氰胺10~30份、铝粉50份、高岭土粉10~20份、氟化钙5~15份;

2)陶瓷浆料的制备

依次加入氧化铝粉、羟甲基纤维素、去离子水、硅粉和步骤1)制得的复合烧结助剂进行湿法球磨,制成可凝胶陶瓷浆料,对该陶瓷浆料进行真空搅拌除泡;按质量份数计,氧化铝粉50份、羟甲基纤维素3~6份、去离子水15~20份和复合烧结助剂15~25份;

3)陶瓷成型

将步骤2)制得的陶瓷浆料由模具底部压入模具中,自然放置完成凝胶过程;取出陶瓷坯片进行干燥处理,放入热压模具中置于热压炉中进行烧结压制,再降温冷却得到陶瓷基板。

2.根据权利要求1所述的一种散热用电子陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:步骤3)中陶瓷坯片采用至少2层层叠后进行高温烧结,烧结温度为1280~1540℃,烧结时间2~5小时,干燥处理温度为60~95℃,干燥时间2~12小时。

3.根据权利要求1所述的一种散热用电子陶瓷基板的制备工艺,其特征在于:所述的氧化铝粉为平均粒度1~4μm微观晶型呈片状或短柱状高温煅烧α-氧化铝粉。

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