一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉的制作方法

文档序号:12001517阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有垂直度调整功能的晶体生长炉,包括炉体(1)、炉罩(2)和炉座(4),所述的炉体(1)下端设置于炉体座(8)上,所述的炉罩(2)设置在炉座(4)上,所述的炉体(1)之炉口塞端与炉口塞(5)热封式配合,其特征在于:所述的炉体座(8)为可调式结构,炉体座(8)与炉座(4)之间可调式支撑配合;所述的炉座(4)通过平衡调整机构(7)设置于基座(6)上。

2.根据权利要求1所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉体座(8)为水平板式结构,其外圆周上均布设置与炉座(4)调节配合的炉体调节装置(10)。

3.根据权利要求2所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉体调节装置(10)呈三角形分布,所述的炉体调节装置(10)包括支座(10b)和固定杆(10c),所述的支座(10b)通过固定杆(10c)设置于炉体座(8)上,支座(10b)下端与炉座(4)上的调节栓(10a)支撑配合。

4.根据权利要求3所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的支座(10b)呈凹球形和对应其设置且呈凸球形的调节栓(10a)滑动支撑配合。

5.根据权利要求2或3所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉体调节装置(10)包括调节栓(10a)、支座(10b)和固定杆(10c),所述的调节栓(10a)设置于炉体座(8)上,所述的支座(10b)通过固定杆(10c)设置于炉座(4)上,所述的调节栓(10a)与支座(10b)支撑调节配合。

6.根据权利要求1所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的平衡调整机构(7)包括调节丝杆(7a)、顶升螺母(7b)和支撑座(7c),所述的顶升螺母(7b)固定于基座(6)上,调节丝杆(7a)与顶升螺母(7b)螺纹配合,并与固定于炉座(4)上的支撑座(7c)支撑配合。

7.根据权利要求1或6所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的平衡调整装置(7)均布设置三个,对称设置于基座(6)外圆周上。

8.根据权利要求1或2所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉座(4)上的螺口通道(9)与炉口塞(5)间隙配合,有至少0.5cm的间距。

9.根据权利要求8所述的具有垂直度调整功能的晶体生长炉,其特征在于:所述的炉口塞(5)与炉体座(8)之炉口塞通道密封配合。

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