技术特征：
技术总结
本发明提供一种多晶硅自动进料系统及其进料方法。多晶硅自动进料系统括：控制装置、驱动装置以及进料装置，所述控制装置分别与所述驱动装置和所述进料装置通讯连接，所述驱动装置与所述进料装置连接，且所述进料装置包括投料口。多晶硅自动进料方法包括：所述控制装置控制所述驱动装置带动所述进料装置运动，以使所述进料装置的投料口对准填料位置；且所述控制装置控制所述进料装置通过所述投料口将多晶硅投放至所述填料位置。本发明，一方面克服了人工填料所带来的填料效率低填料不致密的问题，另一方面也避免了人工填料所造成的待填料容器破损以及物料受到污染的问题。
技术研发人员：汪燕;刘源
受保护的技术使用者：上海新昇半导体科技有限公司
技术研发日：2017.04.18
技术公布日：2018.11.02