用于超大尺寸硅锭的热场结构的制作方法

文档序号:12699649阅读:来源:国知局
技术总结
本发明是一种用于超大尺寸硅锭的热场结构,包括由顶部保温组件2、侧部保温组件3和底部保温组件4围城的隔热笼,在隔热笼的底部设有热交换控制装置5,在热交换控制装置5上方的隔热笼内设有用于放置石墨坩埚的定向凝固块,在石墨坩埚的底部四周与侧保温组件之间设有热区隔离板7;所述顶部保温组件2上设有1‑6个进气管,所述顶部保温组件2上设有顶加热电极,侧部保温组件3上设有侧加热电极和底加热电极。本发明通过对热场内部结构,外形及尺寸重新设计和布局,使其能铸造大尺寸硅锭,大大的提高生产产能,同时结构安全,尤其是对溢流的防护、减少溢流损失,节省使用成本,减少热量损失。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:连云港清友新能源科技有限公司
文档号码:201710268469
技术研发日:2017.04.23
技术公布日:2017.06.20

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