技术特征：
技术总结
一种氢化物气相外延生长系统，包括生长区和气路系统，气路系统中进气管路包括氨气管路、氧气管路和氯气管路，在生长氮化镓时使用氨气作为反应气体，在生长氧化镓时使用氧气作为反应气体；外延生长系统的生长区包括低温生长区和高温生长区，高温生长区的外侧为废气排出管路；低温生长区附近还设有Ga舟，氯气管路伸进Ga舟；该系统既用于氧化镓薄膜的生长、用于氮化镓薄膜的生长或用于氮化镓/氧化镓复合结构薄膜的生长。
技术研发人员：修向前;李悦文;熊则宁;张荣;华雪梅;谢自力;陈鹏;韩平;陆海;施毅;郑有炓
受保护的技术使用者：南京大学
技术研发日：2017.08.14
技术公布日：2018.01.12