一种多晶硅铸锭炉的制作方法

文档序号:12913885阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及多晶硅生产设备技术领域,且公开了一种多晶硅铸锭炉,包括铸锭炉,铸锭炉的顶部设置有拉杆,拉杆的一端固定连接有炉胆,炉胆一侧的内壁固定连接有横向红外线加热器,炉胆的底部设置有保温托板,保温托板的表面开设有通孔,保温托板的顶部固定连接有支杆,支杆的顶部固定连接有石墨底板。本发明,通过氩气管的出口与硅液层水平面夹角为35至45度,氩气管中的氩气既可以使硅液层转动,从而使硅液层中含有的杂质在硅液层中得到充分扩散,避免凝固后的铸锭中存在杂质富集区,保证铸锭的电阻率分布均匀,通过通孔、导热孔和抽真空泵可以将铸锭炉中的氧气和水蒸气排出,防止氧气或者水蒸气与硅液层产生化学反应。

技术研发人员:张靖;田晓军;姚兴平;李素琴;张何;严磊
受保护的技术使用者:江苏新潮光伏能源发展有限公司
技术研发日:2017.09.14
技术公布日:2017.11.14
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