一种多晶硅生产用还原炉的制作方法

技术特征：

1.一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：包括底座(1)和安装在所述底座(1)上端的壳体(2)，所述底座(1)上端设置有行星环绕装置(3)，所述行星环绕装置(3)包括有驱动环(4)、第一固定环(5)、第二固定环(6)、硅芯安装盘(7)和驱动电机(8)，所述第一固定环(5)内侧开有齿面，所述第二固定环(6)外侧开有齿面，所述驱动环(4)内外两侧均开有齿面，所述驱动环(4)与所述驱动电机(8)机械连接，且与所述第一固定环(5)之间、第二固定环(6)之间分别啮合有若干所述硅芯安装盘(7)，所述硅芯安装盘(7)上均安装有一对紧固件(9)，所述紧固件(9)上固定有U形加热器(10)。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：所述驱动电机(8)安装于所述底座(1)底部。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：所述壳体(2)包括内隔热筒(11)和外保温罩(12)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：所述壳体(2)上开设有观察窗(13)。

5.根据权利要求1和2任一所述的一种多晶硅生产用还原炉，其特征在于：所述驱动电机(8)输出端连接有两级以上的传动结构。