本实用新型涉及机械领域，更具体地说，特别涉及一种在半导体材料单晶生长设备中带有减震功能的物料支撑装置。
背景技术：
目前半导体单晶材料被广泛应用在多个领域。随着半导体单晶材料使用范围的不断扩大，对半导体单晶生长设备也提出了更多的要求，不仅从自动化性能和装料量，还对单晶质量及单晶体尺寸提出了更高的要求。在半导体单晶生长过程中，周围环境直接影响着单晶生长的质量。现有单晶生长设备，采用原料静置不动，在长晶过程中车间及周围设施都尽量减少人员及车辆的来往，以避免震动对长晶的影响，避免造成单晶质量的下降。在日常的生产运行中，受工艺环境影响，一些减震器件如空气筏等无法承受长期高温的烘烤，只得尽量减少产生震动及在厂房周围开挖防震沟，但是当某一台设备出现异常时需要维修时人员不得不进入其中，不可避免的会对尚在生长过程中的晶体造成一定影响，所以开发具有减震功能的设备势在必行。
技术实现要素：
(1)技术问题
因此，如何为单晶生长提供一种带有减震功能的设备，成了本领域技术人员亟待解决的问题。
(2)技术方案
针对现有技术中消除单晶生长过程中震动所导致的不良影响，本实用新型的内容是提供一种带有减震功能的物料支撑装置。
一种带有减震功能的物料支撑装置，包含有卡具、卡具面板、减震柱、Y轴连接板、Y轴滑块、Y轴导轨、Y轴调节器、手动刹车器、X轴连接板、X轴滑块、X轴导轨、X轴调节器、底板、地脚。
所述卡具面板上设置有卡具。所述卡具面板采用铝板材质。所述卡具面板的外部轮廓呈正方形，所述卡具面板中心设置有圆形孔，所述圆形孔边缘设置有凸起的边缘，用于放置卡具；所述卡具面板的一边设置有开口。所述卡具面板的四角设置有四个预留孔，用于安装减震柱。所述卡具是接近圆环的圆弧状结构，设置有开口，所述卡具内侧圆弧设置有凸起的边缘。所述卡具的外侧圆弧与所述卡具面板凸起边缘吻合。所述卡具可根据实际生产情况更换不同型号，在生产过程中，方便拆装炉体底部的热偶，从而满足生产需求。
所述减震柱设置有四根，所述Y轴滑块设置有四块，所述X轴滑块设置有四块。所述Y轴导轨设置有两条，两条Y轴导轨相互平行；所述X轴导轨设置有两条，两条X轴导轨相互平行。
所述减震柱的不同位置根据震动波长的传递特性开有等距但角度不同的减震孔进行减震，所述减震柱采用不同于卡具面板的材质。
所述卡具面板连接有四根减震柱，所述减震柱的顶端通过螺栓连接于卡具面板的四个预留孔。所述减震柱的底端通过螺栓固定安装在Y轴连接板上。所述Y轴连接板底部通过螺栓与四块所述Y轴滑块固定，四块所述Y轴滑块分别于两根平行的Y轴导轨内进行滑动连接。在所述Y轴连接板一端设有手动刹车器，所述手动刹车器是长杆和提手组成的一体结构，在所述Y轴连接板和X轴连接板上均均匀设置有圆孔，所述圆孔用于手动刹车器长杆的插入，由此可在设备遇到突然问题时强行进行刹车处理，确保设备正常运转，避免因突发问题造成设备的损伤。
两根所述Y轴导轨固定在所述X轴连接板上。
在所述X轴连接板上设有所述Y轴调节器，可有效使本实用新型在Y轴有效范围内进行调节，从而支撑炉体。所述Y轴调节器调节手柄、底部固定块和顶部固定块组成。所述调节手柄由旋转头和横杆组成，所述横杆外部设置有螺纹结构，所述旋转头与横杆通过螺纹结构拧紧连接。所述底部固定块通过螺栓固定于所述X轴连接板上，所述底部固定块在Y轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述顶部固定块通过螺栓固定于所述Y轴连接板上，所述顶部固定块在Y轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述横杆穿过所述底部连接块和顶部连接块的预留孔，通过拧动旋转头来调节本实用新型在Y轴上的位置。所述底部固定块和顶部固定块形状可根据实际情况任意设置。
所述X轴连接板底部通过螺栓与四块所述X轴滑块固定，四块所述X轴滑块与固定在底板上平行的两根X轴导轨滑动连接。
两根所述X轴导轨固定在所述底板上。
在所述底板上设有所述X轴调节器，可有效使本实用新型在X轴有效范围内进行调节。所述X轴调节器调节手柄、底部固定块和顶部固定块组成。所述调节手柄由旋转头和横杆组成，所述横杆外部设置有螺纹结构，所述旋转头与横杆通过螺纹结构拧紧连接。所述底部固定块通过螺栓固定于所述底板上，所述底部固定块在X轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述顶部固定块通过螺栓固定于所述X轴连接板上，所述顶部固定块在X轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述横杆穿过所述底部连接块和顶部连接块的预留孔，通过拧动旋转头来调节本实用新型在X轴上的位置。所述底部固定块和顶部固定块形状可根据实际情况任意设置。
所述底板上装有四个所述地脚，所述地脚高度可调，所述地脚通过膨胀螺栓与地面进行固定。
优选的，所述Y轴连接板和所述X轴连接板形状相同，均为长方形铝板。
优选的，所述底板也是长方形铝板，其面积是所述X轴连接板的2～3倍。
所述Y轴滑块是在Y轴方向上设置有圆柱形空缺的长方体结构。所述X轴滑块是在X轴方向上设置有圆柱形空缺的长方体结构。
所述X轴导轨和所述Y轴导轨结构相同。所述X轴导轨沿X轴布置，所述Y轴导轨沿Y轴布置。所述X轴导轨是由圆柱滑杆和支撑腿组成的一体结构，所述X轴导轨通过螺栓穿过支撑腿固定于所述底板上。所述Y轴导轨通过螺栓管过支撑腿固定于所述X轴连接板上。
本实用新型通过卡具面板上可根据实际生产跟换的卡具连接保温体，从而达到支撑的作用。
(3)有益效果
本实用新型通过X轴调节器和Y轴调节器的设置可以实现X轴和Y轴方向上任意一点的位置调整，调整动力手动和自动可根据需求配置，同时本实用新型的卡具面板由四根减震柱所支撑，减震柱本体上不同位置根据震动波长的传递特性开有等距但角度不同的减震孔进行减震，且减震柱采用了不同于卡具面板的材质，通过利用材料本身所具有的高阻尼特性以及不同材料之间对震动传递的不同进行减震。此外，卡具面板还具有一定的通用性，满足不同尺寸之间卡具的放置。本实用新型结构简单、设计合理、使用方便、便于更换、可有效减震，提升单晶生长质量。
附图说明
图1为本实用新型的装配示意图，图2是本实用新型的结构示意图，图3是卡具面板俯视图，图4是卡具面板立体图，图5是卡具俯视图，图6是卡具立体图，图7是Y轴滑块纵截面示意图，图8是X轴导轨纵截面示意图。
图中：1是炉体，2是保温体，3是卡具面板，31是卡具，4是减震柱，5是手动刹车器，6是Y轴滑块，7是Y轴导轨，8是Y轴调节器，9是X轴导轨，10是X轴滑块，11是X轴调节器，12是地脚，13是Y轴连接板，14是X轴连接板，15是底板，16是螺栓。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
在本实用新型的描述中，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
一种带有减震功能的物料支撑装置，包含有卡具31、卡具面板3、减震柱4、Y轴连接板13、Y轴滑块6、Y轴导轨7、Y轴调节器8、手动刹车器5、X轴连接板14、X轴滑块10、X轴导轨9、X轴调节器11、底板15、地脚12。
如图1所示，炉体1作用在本实用新型上方，其中炉体1底部的保温体2伸出炉体1，并作用在卡具面板3上，从而达到支撑炉体的作用。
如图2所示，所述卡具面板3连接四根减震柱4，所述减震柱4固定安装在所述Y轴连接板13上，所述Y轴连接板13底部与四块Y轴滑块6固定，所述四块Y轴滑块6分别于两根平行的所述Y轴导轨7进行滑动连接，在所述Y轴连接板13一端设有所述手动刹车器5，可在设备遇到突然问题时强行进行刹车处理，确保设备正常运转，避免因突发问题造成设备的损伤。
两根所述Y轴导轨7固定在所述X轴连接板14上。
在所述X轴连接板14上设有所述Y轴调节器8，可有效使本实用新型在Y轴有效范围内进行调节，从而支撑炉体1。所述Y轴调节器调节手柄、底部固定块和顶部固定块组成。所述调节手柄由旋转头和横杆组成，所述横杆外部设置有螺纹结构，所述旋转头与横杆通过螺纹结构拧紧连接。所述底部固定块通过螺栓固定于所述X轴连接板上，所述底部固定块在Y轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述顶部固定块通过螺栓固定于所述Y轴连接板上，所述顶部固定块在Y轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述横杆穿过所述底部连接块和顶部连接块的预留孔，通过拧动旋转头来调节本实用新型在Y轴上的位置。所述底部固定块和顶部固定块形状可根据实际情况任意设置。
所述X轴连接板14底部通过与四块X轴滑块10固定，所述四块X轴滑块10与固定在所述底板15上平行的两根X轴导轨9滑动连接。
两根所述X轴导轨9固定在所述底板15上。
在所述底板15上设有所述X轴调节器11，可有效使本实用新型在X轴有效范围内进行调节。所述X轴调节器调节手柄、底部固定块和顶部固定块组成。所述调节手柄由旋转头和横杆组成，所述横杆外部设置有螺纹结构，所述旋转头与横杆通过螺纹结构拧紧连接。所述底部固定块通过螺栓固定于所述底板上，所述底部固定块在X轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述顶部固定块通过螺栓固定于所述X轴连接板上，所述顶部固定块在X轴方向上设置有圆形预留孔，所述预留孔直径等于所述横杆直径，所述预留孔设置有螺纹结构，与横杆的螺纹结构相吻合。所述横杆穿过所述底部连接块和顶部连
接块的预留孔，通过拧动旋转头来调节本实用新型在X轴上的位置。所述底部固定块和顶部固定块形状可根据实际情况任意设置。
所述底板15上装有四个地脚12，所述地脚12高度可调，所述地脚12通过膨胀螺栓与地面进行固定。
所述卡具面板3上设置有卡具31。如图3和图4所示，所述卡具面板3的外部轮廓呈正方形，所述卡具面板3中心设置有圆形孔，所述圆形孔边缘设置有凸起的边缘，用于放置卡具；所述卡具面板的一边设置有开口。所述卡具面板的四角设置有四个预留孔，用于安装减震柱。如图5和图6所示，所述卡具31是接近圆环的圆弧状结构，设置有开口，所述卡具内侧圆弧设置有凸起的边缘。所述卡具的外侧圆弧与所述卡具面板凸起边缘吻合。所述卡具可根据实际生产情况更换不同型号，在生产过程中，方便拆装炉体底部的热偶，从而满足生产需求。
如图7所示，所述Y轴滑块是在Y轴方向上设置有圆柱形空缺的长方体结构。所述X轴滑块是在X轴方向上设置有圆柱形空缺的长方体结构。
所述X轴导轨和所述Y轴导轨结构相同。所述X轴导轨沿X轴布置，所述Y轴导轨沿Y轴布置。如图8所示，所述X轴导轨是由圆柱滑杆和支撑腿组成的一体结构，所述X轴导轨通过螺栓16穿过支撑腿固定于所述底板上。所述Y轴导轨通过螺栓管过支撑腿固定于所述X轴连接板上。
本实用新型的使用流程为：①先将物料支撑与炉体大致对中；②将该机构使用膨胀螺栓同地表固定连接；③利用X轴和Y轴微调具体的对中位置，进一步保证炉体中心同卡具面板的中心在同一点上；④耐温刹车器，紧固。
本实用新型不局限于上述实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可以得出其他各种形式的产品。凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属于本实用新型的涵盖范围。