技术总结
本发明涉及通过将液体进给到成形的锭上生长成形的硅锭。一种系统包括布置在基座上的硅籽晶，其中硅籽晶是环形的并且被配置为以进料速率接收熔化的硅以形成锭，并且其中基座被配置成以旋转速度旋转。控制器被配置成在硅籽晶接收熔化的硅的同时并且在形成锭的同时：接收关于锭的直径以及关于锭的弯月面的角度的反馈；以及基于所述反馈控制基座的旋转速度和熔化的硅的进料速率，以控制锭的直径和锭的弯月面的角度。
技术研发人员：乔治·大卫·斯蒂芬·胡代尔森;伊戈尔·佩道斯;哈尔斯·斯里瓦戴恩;史蒂文·M·乔斯林;陈继宏
受保护的技术使用者：希尔福克斯有限公司
技术研发日：2018.04.02
技术公布日：2018.10.23