技术特征：
技术总结
本发明提供了一种降低区熔单晶碳含量的预热装置，包括石墨预热环及石英隔片；石墨预热环为圆柱体结构，其上顶面设有向下凹陷的碗状凹槽，碗状凹槽的底部设有通孔；石墨预热环表面环形上沿上包裹有石英隔片。本发明所述的降低区熔单晶碳含量的预热装置具有良好预热效果的同时能够有效避免多晶母料被石墨预热环碳污染的情况发生，避免单晶硅中的碳含量超标，而且有效改善石墨预热环表面易于吸附杂质进入熔区导致单晶掉苞问题。
技术研发人员：刘凯;郝大维;刘愿;赵闯;吴峰;代长雷;孙晨光;王彦君;孙健
受保护的技术使用者：天津中环领先材料技术有限公司
技术研发日：2018.06.29
技术公布日：2018.12.18