技术总结
本实用新型公开一种坩锅托盘温度泵，设置在坩锅底面和托盘的接触面下端的支撑柱上，在支撑柱上开小孔，利用温度差自然形成一个吸气泵。当接触面存有缝隙时，因为托盘是一个冷点，此处的压力相对外部低，形成了一个吸气的现象，使蒸镀物易渗入接触面，本实用新型利用巴斯卡定理，在托盘接触面的下端制造一个吸气泵，把周边的蒸镀物吸进，并在接触面周围形成一个被隔离区，减少蒸镀物渗入接触面。
技术研发人员：叶宏伦;洪天河;张本义;刘崇志;钟其龙
受保护的技术使用者：厦门润晶光电集团有限公司
技术研发日：2018.02.02
技术公布日：2018.11.13