一种炉室小型化的悬浮区熔单晶炉的制作方法

文档序号:16761936发布日期:2019-01-29 17:46阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型属于悬浮区熔单晶炉技术领域,具体涉及一种炉室小型化的悬浮区熔单晶炉。针对现有用于生产较长单晶棒的悬浮区熔单晶炉由于炉室过大,导致生产成本较高、占用空间较大的问题。本实用新型的技术方案是:包括炉室,炉室顶部设置有上轴,上轴的末端设置有夹具,炉室底部设置有下轴,炉室中还设置有挂架,挂架一端连接有用于将挂架输送至上轴下方的伸缩轴,伸缩轴通过能够横向滑动的滑动机构与炉室的内壁连接。本实用新型适用于长棒状单晶的生长工艺。

技术研发人员:李小刚
受保护的技术使用者:峨眉山市元素新材料科技有限公司
技术研发日:2018.05.31
技术公布日:2019.01.29

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