一种多晶硅还原炉进气结构的制作方法

文档序号:17675375发布日期:2019-05-15 23:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多晶硅还原炉进气结构,包括进气主管,其特征在于,所述进气主管端部连接有盘型空腔,所述盘型空腔上方设有不少于两根进气支管,所述进气支管穿过炉体底部后与设置在炉体内部的喷嘴连通;所述盘型空腔内设有带通孔的缓流板,所述进气主管和进气支管分设在缓流板两侧。

2.如权利要求1所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述盘型空腔和缓流板为圆柱形,所述进气主管在盘型空腔的轴线位置与盘型空腔连接。

3.如权利要求2所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述盘型空腔和缓流板水平设置。

4.如权利要求3所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述通孔在缓流板上关于缓流板的轴线呈轴对称设置。

5.如权利要求4所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述进气支管关于盘型空腔的轴线呈轴对称设置,所述进气支管与通孔错位设置。

6.如权利要求1所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述通孔靠近进气主管一侧的孔径小于靠近进气支管一侧的孔径。

7.如权利要求1所述的多晶硅还原炉进气结构,其特征在于,所述进气主管与盘型空腔连接的端部为内径逐渐变大的漏斗结构。

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