石英舟表面处理炉的制作方法

文档序号:19365840发布日期:2019-12-10 20:49阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种石英舟表面处理炉,其特征在于,包括炉体、石英管以及惰性气体保护系统;所述石英管设置于所述炉体内,所述石英管具有开口端与封闭端,所述石英管的开口端与所述惰性气体保护系统连通,所述石英管与所述炉体同轴设置。

2.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,还包括于所述炉体内设置的保温托盘,所述石英管固定于所述保温托盘上。

3.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,还包括设置于所述炉体上的温度控制系统,所述炉体温度控制系统用于控制所述炉体内外的温度。

4.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,所述炉体的长度为700-900mm,内径为100-150mm。

5.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,所述石英管的长度为1000-1500mm,壁厚为2-4mm,外径为100-120mm。

6.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,所述石英管的开口端与所述惰性气体保护系统通过法兰盘连通。

7.根据权利要求1所述的石英舟表面处理炉,其特征在于,所述石英管的两相对内侧壁分别设置卡紧件,石英舟卡设于所述卡紧件之间。

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