一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置的制作方法

本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置。

背景技术：

清洁能源成为了当前时代发展的必然趋势。对于太阳能电池行业，目前已大批量量产的技术是高效晶硅钝化发射极和背面电池，即PERC(Passivated Emitterand Rear Cell)电池。可量产达到的效率也仅22%，遇到了效率的瓶颈阶段。随着晶硅行业的不断发展，追求高效低成本的产品成为必然趋势。新型产品如PERC、N型、IBC 等高效电池，对于扩散设备需求较高，需具有高精准度等特点，而高精准度的需求需高配置进而提升了成本，违背低成本的理念。故需提升扩散产能进而达到单片成本降低的目的。目前常规上使用的石英舟侧面图如附图1所示，内部是由左右舟托、四根舟杆、 若干卡槽所组成，其中石英舟长度100控制在1320-1350mm范围内；石英舟左部分放大图如附图2所示，其中卡槽间距200控制在2.3-2.6mm，角度300控制在4°。

本发明在原来的石英舟基础上进行改造，采用改造后的石英舟，可提升产能50%，且有效地改善均匀性，大大提高了产能及电性能良率。

技术实现要素：

本发明公开了一种改善扩散均匀性并提升产能的石英舟装置，该新型石英舟装置结构为内部由10-13个石英舟花篮（标识222）、若干支杆（标识333）、左右舟托、四根舟杆所组成，其中舟长111控制在2000-2300mm；其中新型石英舟花篮放由65-75个齿槽组，其花篮齿距上部10宽度控制在10-15mm，距下部宽度40——控制在15-20mm，左边两齿距离20——控制在2-3mm，右边两齿间距30——控制在1-2mm，花篮长度50——控制在200-220mm，花篮提手60——半径控制在20-30mm；另外，花篮的上部顶盖边长a1、a2——控制在170-190mm，花篮边卡口a4——宽度控制在10-12mm，花篮提手a3宽度——控制在10-20mm；花篮的下部顶盖边长1、2——控制在170-190mm，定位点3——半径控制在7-10mm，花篮边卡口4——宽度控制在10-12mm，两定位点间距5——控制在120-140mm，大定位点8——半径控制在10-12mm，定位点8距花篮边水平间距6——控制在85-95mm，距花篮边垂直间距7——控制在60-70mm；新型石英舟底部是由10-13个底座A4组成，可有效的固定住花篮，防止被气流吹偏，其中大定位点A1——半径控制在8-9mm，高度控制在4-6mm，定位点A2和A3——半径控制在4-6mm，高度控制在4-6mm。

本发明主要目的是提升扩散产能并改善扩散均匀性，采用新型设计的石英舟，可有效地解决产能低，扩散均匀性差，大大提高了产能及电性能良率。本发明有以下效果：

1）提升了产能可达到1400-1600片/管；

2）改善了扩散均匀性，从4%降低至2-3%；

3）提高了产品的可利用率。

附图说明

图1 石英舟侧面图 100-石英舟长度。

图2石英舟座部分放大图 200-卡槽间距；300-斜角。

图3新型石英舟侧面图 111-石英舟长度；222-石英舟花篮；333-若干支杆。

图4新型石英舟花篮及其顶部（a）和底部（b）局部放大图 1、2-花篮的下部顶盖边长；3-定位点；4-花篮边卡口；5-两定位点间距；6-定位点8距花篮边水平间距；7-距花篮边垂直间距；8-大定位点；10-花篮齿距上部；20-左边两齿距离；30-右边两齿间距；40-距下部宽度；50-花篮长度；60-花篮提手；a1、a2-上部顶盖边长；a3-花篮提手宽度；a4-花篮边卡口。

图5 新型石英舟俯视图A1-大定位点；A2、A3-定位点；A4-底座。

具体实施方式

本具体实施例仅仅是对本发明的解释，其并不是对本发明的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。

实施例1

新型石英舟装置结构见图3-5所示。石英舟装置内部由10个石英舟花篮222、50个支杆333、左右舟托、四根舟杆所组成，其中舟长111控制在2000mm；其中新型石英舟花篮放由70齿槽组，其花篮齿距上部10宽度控制在13mm，距下部宽度40控制在15mm，左边两齿距离20控制在3mm，右边两齿间距30控制在2mm，花篮长度50控制在200mm，花篮提手60半径控制在20mm；另外，花篮的上部顶盖边长a1、a2控制在180mm，花篮边卡口a4宽度控制在10mm，花篮提手a3宽度控制在10mm；花篮的下部顶盖边长1、2控制在180mm，定位点3半径控制在10mm，花篮边卡口4宽度控制在12mm，两定位点间距5控制在120mm，大定位点8半径控制在10mm，定位点8距花篮边水平间距6控制在90mm，距花篮边垂直间距7控制在60mm；新型石英舟底部是由10个底座A4组成，可有效的固定住花篮，防止被气流吹偏，其中大定位点A1半径控制在8mm，高度控制在5mm，定位点A2和A3——半径控制在5mm，高度控制在5mm。