技术特征：
技术总结
本发明公开了一种碳化硅单晶生长装置，包括工作腔体、可升降的穿设于工作腔体中的连接杆、用于驱动连接杆升降的第一驱动机构、设于工作腔体中的坩埚和用于为坩埚加热的加热机构；坩埚包括固设于连接杆底部的坩埚盖、可拆卸的连接在坩埚盖下方的坩埚本体；连接杆包括杆本体、开设于杆本体上的用于通入通出冷媒的第一通道、开设于杆本体上的用于通入工艺气体的第二通道；第一通道与第二通道相互隔断，第二通道与工作腔体连通；连接杆用于通过冷媒和/或工艺气体为坩埚盖降温；工作腔体还包括出气口。本发明一种碳化硅单晶生长装置，优化了热传导路径，使热量只通过坩埚盖传输，更易实现下高上低的温度场要求，提高了碳化硅单晶的生长质量。
技术研发人员：李留臣;周正星;周洁
受保护的技术使用者：江苏星特亮科技有限公司
技术研发日：2019.04.23
技术公布日：2019.06.21